Máy tính để bàn tự động độ dày màng lõi là thông qua các phương pháp vật lý hoặc quang học để phát hiện sự khác biệt đặc điểm của lớp màng và cơ sở, tự động tính toán và đầu ra giá trị độ dày màng, các mô hình nguyên tắc khác nhau phù hợp với các kịch bản lớp màng khác nhau, sau đây là giới thiệu đơn giản về 3 nguyên tắc làm việc phổ biến nhất:
1. Loại tiếp xúc (Phương pháp thăm dò cơ khí)
Đây là nguyên tắc cơ bản nhất. Đầu dò có độ chính xác cao của thiết bị từ từ chạm vào bề mặt của mẫu, di chuyển từ cơ sở lên trên lớp màng, đo trực tiếp độ dày thực tế của lớp màng thông qua sự khác biệt về chiều cao được cảm nhận bởi đầu dò. Ưu điểm là độ chính xác cao, phù hợp với màng dày (như màng kim loại, lớp phủ), nhưng có thể làm hỏng bề mặt mẫu nhẹ.
2. Loại quang học (phương pháp phản xạ/khúc xạ)
Sử dụng các thuộc tính phản chiếu hoặc giao thoa của ánh sáng để làm việc, cũng là loại hình màn hình để bàn rất thường được sử dụng. Sau khi ánh sáng chiếu vào bề mặt của lớp màng, sẽ xảy ra phản xạ bề mặt trên của lớp màng và phản xạ bề mặt của lớp màng và bề mặt cơ bản cùng một lúc, hai chùm ánh sáng phản xạ tạo ra các sọc giao thoa. Dụng cụ tự động tính toán độ dày màng bằng cách phân tích khoảng cách, cường độ và các thông số khác của các sọc giao thoa, kết hợp với chỉ số khúc xạ quang học của lớp màng. Thích hợp cho phim (ví dụ như phim quang học, phim bán dẫn), không tiếp xúc sẽ không làm hỏng mẫu.
3. Phương pháp cảm ứng dòng xoáy
Chủ yếu nhắm vào lớp màng dẫn điện (như màng kim loại). Đầu dò của thiết bị tạo ra từ trường biến đổi chéo, khi nó ở gần lớp màng dẫn điện, một xoáy sẽ được tạo ra bên trong lớp màng, lần lượt ảnh hưởng đến cường độ từ trường của đầu dò. Độ dày màng khác nhau, cường độ xoáy cũng khác nhau. Dụng cụ tự động chuyển đổi độ dày lớp màng bằng cách phát hiện lượng thay đổi từ trường. Thích hợp cho việc phát hiện nhanh màng kim loại, lớp phủ dẫn điện, không tiếp xúc và hiệu quả cao.