Là nền tảng của phép đo chính xác, kính hiển vi công cụ truyền thống thường xuất hiện bất lực khi đối phó với hình dạng ba chiều, kích thước đường viền và phát hiện khuyết tật bề mặt của các phôi phức tạp trong ngành công nghiệp hiện đại. Thông qua nâng cấp mô-đun, tích hợp quét laser, đo video và đầu đo tiếp xúc, nó có thể được chuyển đổi từ một dụng cụ quang học thuần túy thành một trung tâm đo tổng hợp đa cảm biến mạnh mẽ, đạt được bước nhảy vọt về năng lực và hiệu quả.

I. Kiến trúc tích hợp mô-đun

Cốt lõi của việc nâng cấp là một giao diện phần cứng mở, tiêu chuẩn hóa và nền tảng phần mềm xử lý dữ liệu thống nhất. Cơ thể thiết bị trở thành "cảng nhà" mang các mô-đun chức năng khác nhau:

Mô-đun đo video đóng vai trò là nền tảng, giữ lại khả năng hình ảnh quang học có độ phóng đại cao để thực hiện các phép đo kích thước 2D nhanh chóng và quan sát sơ bộ các khuyết điểm bề mặt.

Đầu dò quét laser được gắn vào tháp pháo mục tiêu hoặc lắp đặt độc lập thông qua giao diện chuyên dụng. Nó thu được dữ liệu đám mây điểm ba chiều của bề mặt phôi ở tốc độ cao không tiếp xúc thông qua nguyên tắc tam giác laser, đặc biệt thích hợp cho việc tái tạo hình dạng bề mặt thô, vật liệu mềm hoặc đường viền phức tạp.

Đầu đo kích hoạt tiếp xúc, chẳng hạn như đầu dò Renishaw, có thể thay thế bộ giữ kim của kính hiển vi. Nó cho phép đo một điểm chính xác, đặc biệt tốt trong việc phát hiện các lỗ sâu, độ sâu của đáy rãnh mà quang học không thể tiếp cận, và các kích thước chính với dung sai nghiêm ngặt, và các phép đo của nó là nguồn gốc tốt.

B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

Ba mô-đun lớn dưới sự điều phối phần mềm thống nhất, lợi thế bổ sung, tạo thành dây chuyền lắp ráp đo liền mạch:

Định vị nhanh so với kiểm tra trước 2D: Đầu tiên sử dụng mô-đun video để lấy nét nhanh và định vị trường nhìn, thực hiện đo kích thước 2D của cơ sở và xác định các khu vực quan trọng cần phát hiện 3D.

Quét hình dạng ba chiều: Mô-đun quét laser sau đó được gọi để quét bề mặt tốc độ cao của khu vực nhận dạng, thu được chính xác các đặc điểm hình học ba chiều như bề mặt, cạnh và vát, tạo ra bản đồ đám mây điểm mật độ cao.

Kiểm tra lại chính xác kích thước chính: Đối với các đặc điểm của khoảng cách trung tâm lỗ, độ sâu và các yêu cầu khác về độ chính xác tuyệt đối, đầu đo tiếp xúc được lái để đo lường chạm một điểm chính xác, kết quả của nó có thể được sử dụng làm điểm chuẩn chính xác và cơ sở hiệu chuẩn cho dữ liệu quét laser.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Giá trị của chương trình tích hợp này là

Mở rộng chức năng: Đạt được độ phủ sóng đầy đủ của các phép đo 2D, 3D, tiếp xúc và không tiếp xúc, một máy được sử dụng đa năng, ứng phó với các nhiệm vụ phát hiện phức tạp rất thành thạo.

Kết hợp dữ liệu và tăng độ chính xác: dữ liệu đo của các cảm biến khác nhau được kết hợp dưới một hệ thống tọa độ thống nhất, xác minh và bù đắp lẫn nhau, nâng cao hiệu quả độ tin cậy và độ chính xác của phép đo tổng thể.

Tỷ lệ hoàn vốn đầu tư cao: Với chi phí thấp hơn nhiều so với máy đo tổng hợp hoàn toàn mới, tài sản kính hiển vi công cụ hiện có đã được làm sống lại, mở rộng đáng kể phạm vi ứng dụng và tuổi thọ công nghệ, là con đường hiệu quả cao hướng tới phát hiện chính xác thông minh.