Máy đo tọa độ ba chiều bằng cách xây dựng hệ tọa độ góc phải ba chiều, kết hợp với hệ thống thăm dò độ chính xác cao và thuật toán thông minh, để đạt được phép đo chính xác cấp nano về kích thước hình học của phôi. Cơ chế cốt lõi của nó có thể được chia thành ba liên kết chính là thiết lập hệ tọa độ, lấy mẫu đầu dò và xử lý dữ liệu.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Dụng cụ đo áp dụng cấu trúc liên kết ba trục (trục X/Y/Z) để nhận ra phản hồi thời gian thực về sự dịch chuyển của từng trục thông qua thước đo lưới hoặc giao thoa kế laser. Sau khi bật nguồn, hệ thống thiết lập điểm xuất phát (0,0,0) thông qua chương trình hiệu chuẩn và xác định hướng dương của ba trục, tạo thành một hệ tọa độ góc phải. Ví dụ, khi đo cánh quạt hàng không, trục X tương ứng với hướng chiều dài cánh quạt, trục Y tương ứng với hướng chiều rộng và trục Z tương ứng với hướng độ dày để đảm bảo tọa độ ba chiều (x, y, z) tương ứng với mỗi điểm đo. Một số thiết bị sử dụng thước đo lưới bổ sung nhiệt độ, có thể kiểm soát lỗi định vị tọa độ trong phạm vi ± 0,5 μm. Nó vẫn có thể duy trì sự ổn định của hệ tọa độ ngay cả khi nhiệt độ môi trường dao động ± 2 ℃.

II. Lấy mẫu thăm dò: phát hiện hợp tác giữa loại tiếp xúc và không tiếp xúc

Hệ thống thăm dò là trung tâm thu thập dữ liệu, chia làm hai loại tiếp xúc và không tiếp xúc. Các đầu dò tiếp xúc, chẳng hạn như đầu dò ruby, kích hoạt cảm biến bằng cách dịch chuyển nhỏ, ghi lại tọa độ tâm cầu của đầu dò và phù hợp để đo lỗi hình dạng có độ chính xác cao. Ví dụ, khi đo khẩu độ của khối động cơ ô tô, đầu dò được quét dọc theo thành lỗ và hệ thống tính toán lỗi tròn bằng cách lấy mẫu đa điểm. Đầu dò không tiếp xúc, chẳng hạn như đầu dò laser, cho phép đo không tiếp xúc bằng cách phát chùm tia và nhận tín hiệu phản xạ, phù hợp với vật liệu mềm hoặc bề mặt phức tạp. Hai loại đầu dò có thể chuyển đổi sử dụng, chiếu cố độ chính xác và hiệu quả đo lường.

III. Xử lý dữ liệu: Phân tích thông minh từ các điểm tọa độ đến các tính năng hình học

Phần mềm đo lường phù hợp với các điểm tọa độ được thu thập dưới dạng các yếu tố hình học (ví dụ: mặt phẳng, hình trụ, hình nón, v.v.) và tối ưu hóa độ chính xác phù hợp bằng phương pháp bình phương tối thiểu. Ví dụ, hàng trăm điểm tọa độ của thành lỗ hồ làm hình trụ lý tưởng, tính đường kính, độ tròn và độ vị trí. Hệ thống cũng có thể xuất báo cáo dung sai bit hình dạng, chẳng hạn như độ thẳng đứng, độ song song, v.v., trực tiếp kết nối với tiêu chuẩn ISO. Một số thiết bị tích hợp thuật toán AI có thể tự động xác định các tính năng đo lường và tối ưu hóa đường dẫn lấy mẫu, giảm thời gian đo hơn 30%.