Trong sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp quang điện và bán dẫn hiện nay, silicon đơn tinh thể là vật liệu cơ bản cốt lõi, hiệu suất của thiết bị chuẩn bị của nó trực tiếp quyết định chất lượng vật liệu và hiệu quả sản xuất. Lò silicon đơn tinh thể (lò tăng trưởng đơn tinh thể kéo trực tiếp hoàn toàn tự động) là thiết bị quan trọng để chuẩn bị silicon đơn tinh thể, cần phải nung chảy nguyên liệu silicon đa tinh thể ở nhiệt độ cao trên 1450 ℃ trong môi trường khí trơ như nitơ và argon, và tạo ra thanh silicon đơn tinh thể không bị sai lệch bằng phương pháp kéo trực tiếp. Nó được sử dụng rộng rãi trong đường tích hợp, pin mặt trời, thiết bị quang điện và các lĩnh vực khác. Để đạt được điều khiển chính xác môi trường khí trong lò, bộ điều khiển lưu lượng chất lượng khí (MFC) đã trở thành thiết bị cốt lõi cho hoạt động ổn định của lò silicon đơn tinh thể. Với sự tích lũy công nghệ trong lĩnh vực đo lường và kiểm soát dòng chảy canh tác sâu, sản phẩm MFC đã trở thành một chương trình hỗ trợ quan trọng trong sản xuất và sản xuất lò silicon đơn tinh thể.

Môi trường làm việc của lò silicon đơn tinh thể có yêu cầu nghiêm ngặt về độ chính xác, ổn định của việc kiểm soát lưu lượng khí: lò cần duy trì khoảng 2,6 kPa chân không, argon và các biến động lưu lượng khí bảo vệ khác sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng kết tinh của thanh silicon đơn tinh thể, thậm chí dẫn đến các khuyết tật của thanh tinh thể. Thiết bị đo lưu lượng truyền thống dễ bị ảnh hưởng bởi áp suất, thay đổi nhiệt độ, cần phải sửa đổi các thông số thường xuyên, và MFC của Tô Châu iTOLI đã phá vỡ nút cổ chai kỹ thuật này - nó kết hợp đo lưu lượng và chức năng điều khiển vòng kín, mạch phát hiện độ chính xác cao tích hợp và van điều chỉnh lưu lượng, có thể tự động theo dõi giá trị lưu lượng thiết lập và duy trì ổn định khi áp suất khí argon, dao động nhiệt độ môi trường xung quanh, mà không cần sửa đổi nhiệt độ bổ sung, về cơ bản đảm bảo tính nhất quán của môi trường khí trong lò silicon đơn tinh thể.

Đối với kịch bản ứng dụng của lò silicon đơn tinh thể, các sản phẩm MFC được nghiên cứu và phát triển tùy chỉnh bởi Suzhou Aitopoli mang cảm biến dòng chảy được phát triển độc lập và van tỷ lệ chính xác cao tự nghiên cứu, có thể linh hoạt phù hợp với nhu cầu đo lường và kiểm soát khí trơ thường được sử dụng trong lò silicon đơn tinh thể như nitơ, argon và heli. Phạm vi thích ứng chênh lệch áp suất làm việc của sản phẩm bao gồm 0-1 MPa, phạm vi có thể linh hoạt lựa chọn từ 1 mL/phút đến 200 L/phút, đồng thời cung cấp tín hiệu tương tự phong phú, phương pháp truyền thông tín hiệu kỹ thuật số, có thể kết nối liền mạch với hệ thống điều khiển máy tính của lò silicon đơn tinh thể, nhận ra truyền dữ liệu lưu lượng theo thời gian thực và điều khiển từ xa.

Về khả năng phù hợp cơ học, các bộ phận kết nối tiêu chuẩn của Suzhou iTOLI MFC hỗ trợ nhiều loại giao diện như ferrule kép, VCR và các loại giao diện khác, cũng có thể tùy chỉnh các bộ phận kết nối đặc biệt theo nhu cầu của các nhà sản xuất thiết bị lò silicon đơn tinh thể, giảm đáng kể độ khó của việc tích hợp thiết bị và bảo trì sau này. Ngoài lò silicon đơn tinh thể, MFC này cũng thể hiện xuất sắc trong thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD) lắng đọng hơi vật lý (PVD), với khả năng thích ứng nhiệt độ cao, độ chính xác cao và khả năng đo lường và điều khiển độ phân giải cao, có thể kiểm soát chính xác lưu lượng khí phản ứng, hỗ trợ sự phát triển tinh khiết cao của vật liệu bán dẫn, linh kiện quang học (tinh thể laser, sợi quang, v.v.).

Với sự gia tăng liên tục của khối lượng lắp đặt PV và nâng cấp liên tục của quy trình sản xuất chip bán dẫn, nhu cầu thị trường của vật liệu silicon đơn tinh thể chào đón sự tăng trưởng bùng nổ, nâng cấp công nghệ của thiết bị lò silicon đơn tinh thể cũng bước vào giai đoạn tăng tốc. Suzhou Aitopoli luôn lấy "đo lường và kiểm soát chính xác" làm cốt lõi, dựa vào công nghệ cảm biến dòng chảy tự phát triển và giải pháp tùy chỉnh, cung cấp hỗ trợ kiểm soát lưu lượng khí ổn định và đáng tin cậy cho các thiết bị cốt lõi trong lĩnh vực quang điện và bán dẫn, trở thành đối tác công nghệ trong chuỗi công nghiệp sản xuất silicon đơn tinh thể. Trong tương lai, Tô Châu Aitouli cũng sẽ tiếp tục cày sâu năng lượng mới và nhu cầu đo lường và kiểm soát thiết bị bán dẫn, giới thiệu nhiều sản phẩm kiểm soát dòng chảy phù hợp với kịch bản sản xuất, hỗ trợ sự phát triển tự chủ của ngành công nghiệp thiết bị trong nước.