MFC(Bộ điều khiển lưu lượng khối khí) là một công cụ chính xác có khả năng đo lường và kiểm soát lưu lượng khối khí chính xác. Nguyên tắc cốt lõi của nó dựa trên công nghệ đo dẫn nhiệt hoặc chênh lệch áp suất. Nó đạt được độ chính xác cao và điều chỉnh lưu lượng phản ứng nhanh thông qua cảm biến và van điều khiển. Nó được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, hóa chất, dược phẩm, giám sát môi trường và các lĩnh vực khác.

　　MFCLĩnh vực ứng dụng:

Sản xuất Semiconductor

Kiểm soát chính xác lưu lượng khí trong quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), khắc, khuếch tán và các quy trình khác để đảm bảo chất lượng chip. Ví dụ, kiểm soát lưu lượng khí phản ứng như silane và đảm bảo tính đồng nhất của lắng đọng màng.

Sản xuất hóa chất

Tối ưu hóa điều kiện phản ứng và nâng cao hiệu quả sản xuất. Ví dụ, kiểm soát lượng hậu cần phản ứng để kiểm soát tốc độ và hiệu quả của phản ứng hóa học.

Ngành dược phẩm

Đảm bảo tính chính xác và độ tin cậy của việc cung cấp khí vô trùng. Ví dụ, kiểm soát dòng chảy của thuốc hoặc khí và đảm bảo hoạt động bình thường của thiết bị y tế.

Giám sát và quản trị môi trường

Theo dõi lưu lượng khí trong khí quyển trong thời gian thực, cung cấp hỗ trợ dữ liệu để đánh giá chất lượng không khí, theo dõi nguồn ô nhiễm và kiểm soát ô nhiễm. Trong xử lý khí thải, lọc không khí và các thiết bị bảo vệ môi trường khác, kiểm soát chính xác lưu lượng khí trong quá trình xử lý để đảm bảo hiệu quả xử lý đạt tối ưu.

Lĩnh vực khác

Kiểm soát đo lưu lượng khí nhiên liệu cho nồi hơi, lò nứt; Hóa dầu, khai thác dầu, đo lưu lượng khí đốt; Kiểm soát đo lưu lượng không khí cho lò đốt; Chế biến thực phẩm, kiểm soát clo trong nhà máy nước, v.v.