Trong số các quy trình chính xác trong sản xuất chất bán dẫn và quang điện, lò khuếch tán là một trong những thiết bị cốt lõi được sử dụng để đạt được sự pha tạp chính xác và tăng trưởng màng. Đồng hồ đo lưu lượng khí Aitoly và bộ điều khiển lưu lượng khí đóng một vai trò quan trọng trong quá trình này, chúng trực tiếp quyết định sự thành công hay thất bại của quá trình khuếch tán và hiệu suất cuối cùng của sản phẩm thông qua đo lường và kiểm soát chính xác khí quá trình.

Trong hệ thống đường dẫn khí phức tạp của lò khuếch tán, Máy đo lưu lượng khối khí (MFM) và Bộ điều khiển lưu lượng khối khí (MFC) của iTOLI chủ yếu được sử dụng trong một số liên kết cốt lõi sau:

Quá trình vận chuyển và kiểm soát khí: iTOLI MFC có thể thực hiện các phép đo chính xác và kiểm soát thời gian thực đối với các khí phản ứng đi vào lò khuếch tán như oxy, nitơ, argon, v.v. Ví dụ, dòng MFC330 có thể cung cấp các thông số kỹ thuật dòng chảy nhỏ từ 0-5 SCCM, đảm bảo nồng độ và phân phối doping đáp ứng các yêu cầu quy trình khắt khe.

Phân phối và trộn đường không khí: Trong những trường hợp cần nhiều loại khí trộn theo tỷ lệ cụ thể, một số bộ EPOLI MFM hoặc MFC có thể làm việc cùng nhau để đo chính xác lưu lượng của các loại khí khác nhau, do đó đảm bảo tính đồng nhất và ổn định của các thành phần khí trộn, tạo ra môi trường lý tưởng cho phản ứng khuếch tán.

An toàn&Xử lý khí thải: Thiết bị lưu lượng iTOLI có khả năng theo dõi lưu lượng khí thải, cung cấp hỗ trợ dữ liệu để tối ưu hóa quy trình và tuân thủ môi trường. Đồng thời, nó cũng có thể đảm bảo cung cấp đáng tin cậy các loại khí an toàn như thanh lọc và nâng cao tính an toàn của toàn bộ hệ thống.

💡 Lợi thế kỹ thuật cốt lõi của các sản phẩm iTOLI

Lý do tại sao đồng hồ đo lưu lượng/bộ điều khiển khối lượng khí iTOLI có khả năng ứng dụng lò khuếch tán là do một số đặc tính kỹ thuật cốt lõi của nó:

Độ chính xác và độ lặp lại cao: Các sản phẩm của iTOLI có độ chính xác cao và đặc tính trôi bằng không rất thấp. Lấy dòng MFC330 làm ví dụ, với độ chính xác lên tới ± 0,5% FS và độ chính xác lặp lại ± 0,2% FS, đảm bảo tính nhất quán trong hiệu suất của từng lô sản phẩm.

Tỷ lệ phạm vi rộng so với phản ứng nhanh: Thời gian đáp ứng của thiết bị nói chung là dưới 1 giây và có thể nhanh chóng theo kịp với việc chuyển đổi các bước quy trình. Phạm vi đo lưu lượng của dòng MFC330 có thể đạt 2%~100% FS, đáp ứng cả điều khiển lưu lượng nhỏ trong điều kiện làm việc ổn định và nhu cầu lưu lượng cao hơn.

Tương thích đa khí và vật liệu sạch cao: Đồng hồ đo lưu lượng Edoli hỗ trợ nhiều phép đo khí, chẳng hạn như dòng MFC300 có thể tương thích với nhiều loại khí như Air, N2, O2, H2. Phần tiếp xúc đường không khí thường sử dụng các vật liệu sạch, chống ăn mòn như thép không gỉ SUS316L và cung cấp một đường chạy được đánh bóng cao, ngăn ngừa ô nhiễm khí một cách hiệu quả và đảm bảo độ tinh khiết của quá trình bán dẫn.

Khả năng giao tiếp và tích hợp linh hoạt: Đồng hồ đo lưu lượng iTOLI hỗ trợ nhiều giao thức truyền thông, chẳng hạn như dòng MFC330 hỗ trợ tín hiệu tương tự RS232, RS485, CAN và 0-5VDC, 4-20mA, có thể dễ dàng tích hợp vào hệ thống điều khiển trung tâm của lò khuếch tán để thực hiện sản xuất tự động và giám sát dữ liệu.

🛠️ Lựa chọn và đề xuất ứng dụng

Khi chọn đồng hồ đo lưu lượng/bộ điều khiển khối lượng khí iTOLI cho lò khuếch tán, bạn nên tập trung vào các điểm sau:

Xác nhận phương tiện và phạm vi: Bắt đầu bằng cách làm rõ thành phần khí cần đo (có ăn mòn hay không) và phạm vi dòng chảy. Nên chọn mô hình có tốc độ dòng chảy tối thiểu và tối đa cần thiết cho quá trình phủ sóng, ví dụ, đối với pha tạp vi lượng, MFM610 có thể được chọn với phạm vi tối thiểu lên đến 0-5 sccm.

Tập trung vào áp suất và kết nối: Kiểm tra chênh lệch áp suất làm việc và chịu áp suất tối đa của thiết bị, chẳng hạn như chênh lệch áp suất làm việc của dòng MFC300 là 0-1MPa và chịu áp suất 1.1MPa. Đồng thời, xác nhận xem các dạng khớp nối đường không (chẳng hạn như ren M8 * 1, vít nhanh, v.v.) có phù hợp với các đường hiện có hay không.

Mô hình điều khiển ưa thích: Nếu quá trình yêu cầu điều chỉnh lưu lượng khí trong thời gian thực, hãy chắc chắn chọn Bộ điều khiển lưu lượng khí (MFC); Nếu chỉ cần theo dõi, đồng hồ đo lưu lượng khối khí (MFM) sẽ ổn.

Đặc điểm kỹ thuật lắp đặt và vận hành: Khi lắp đặt cần đảm bảo rằng đường ống sạch sẽ, chú ý đến hiệu chuẩn hướng lắp đặt ngang và đảm bảo rằng có đủ đoạn thẳng trên thượng nguồn của thiết bị (thường được khuyến nghị không dưới 10 lần đường kính ống) để đảm bảo dòng chảy ổn định và đo lường chính xác.

💎 Tóm tắt

Với độ chính xác cao, phản ứng nhanh, độ ổn định tuyệt vời và khả năng tích hợp hệ thống mạnh mẽ, đồng hồ đo lưu lượng và bộ điều khiển khối lượng khí Aitory đóng vai trò trong việc kiểm soát khí quá trình của lò khuếch tán và là một thành phần quan trọng để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy của thiết bị bán dẫn và quang điện.