Đại hội vật liệu cacbon quốc tế lần thứ 9, Trung tâm triển lãm quốc tế mới Thượng Hải N1, N2, 2 nhà triển lãm đầy người nhốn nháo. Trong khu trưng bày sản xuất chính xác và vật liệu năng lượng mới, một thiết bị màu xám dường như không đáng kể đã thu hút sự chú ý của nhiều khán giả chuyên nghiệp - chúng là đồng hồ đo lưu lượng khí.

Sản xuất chính xác của chuỗi công nghiệp vật liệu carbon, từ lắng đọng màng kim cương đến chuẩn bị vật liệu cực âm silicon-carbon, kiểm soát lưu lượng khí chính xác ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất và chất lượng của sản phẩm cuối cùng.

Mở đầu rầm rộ

Hội nghị quốc tế lần thứ 9 về vật liệu carbon và triển lãm công nghiệp bắt đầu vào ngày 9 tháng 12 năm 2025 tại Trung tâm triển lãm quốc tế mới Thượng Hải, với chủ đề "Đổi mới vật liệu thúc đẩy thay đổi công nghiệp", hội nghị dự kiến sẽ thu hút hơn 50.000 khán giả chuyên nghiệp.

Được đồng tổ chức bởi DT New Materials và China Ultra Hard Materials Network.

Gian hàng được chia thành gian hàng vật liệu carbon bán dẫn N1, gian hàng vật liệu carbon năng lượng và thiết bị N2, tập trung vào toàn bộ chuỗi trưng bày vật liệu carbon từ nghiên cứu cơ bản đến ứng dụng công nghiệp hóa.

Trong số gần 400 nhà triển lãm tại địa điểm này, không thiếu các công ty như iTOLI Electronics tập trung vào việc cung cấp các công nghệ đo lường và kiểm soát quan trọng cho sản xuất chính xác.

"Gas Pulse" được sản xuất bằng vật liệu carbon dioxide

Trong chuỗi công nghiệp vật liệu carbon, cho dù đó là tăng trưởng kim cương CVD hay chuẩn bị vật liệu cực âm silicon carbon, kiểm soát lưu lượng khí là liên kết công nghệ cốt lõi.

Sự lắng đọng hơi hóa học (CVD) là một kỹ thuật quan trọng để sản xuất màng kim cương chất lượng cao, trong khi việc kiểm soát chính xác dòng chảy của các nguồn không khí như metan ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng kết tinh và độ tinh khiết của màng kim cương.

Cũng trong lĩnh vực năng lượng mới, tỷ lệ chính xác và điều khiển động của các khí quá trình như silane và axetylen là rất quan trọng trong quá trình chuẩn bị vật liệu âm silicon-carbon.

Tại triển lãm này, hệ thống điều khiển thông minh lưu lượng khí đã trở thành một trong những hướng công nghệ được nhiều nhà triển lãm tập trung trưng bày. Loại hệ thống này đảm bảo tính nhất quán và ổn định của quá trình sản xuất carbon bằng cách kiểm soát chính xác lưu lượng khí.

Sức mạnh kỹ thuật của Triple

Trong lĩnh vực kiểm soát lưu lượng khí, iTOLI đã giới thiệu các sản phẩm đo lưu lượng khối khí từ MFC300, MFC330, MFC350 đến MFC600.

Lấy dòng MFC300 được thiết kế đặc biệt cho các tình huống lưu lượng nhỏ, sử dụng cảm biến lưu lượng MEMS và đi kèm với các tính năng bù nhiệt độ và áp suất. Độ chính xác đo lường của nó có thể đạt tới ± 0,5% FS, trong khi thời gian phản hồi của cảm biến chỉ là 5 mili giây.

Lợi thế cốt lõi của đồng hồ đo lưu lượng etoli là độ chính xác cao và độ ổn định cao. Lấy dòng MFC600 làm ví dụ, độ chính xác có thể đạt ± 0,2% FS, độ tuyến tính ± 0,1% FS và độ chính xác lặp lại là ± 0,05% FS.

Đặc tính chính xác cao này rất quan trọng trong quá trình phân phối khí động và có thể đảm bảo kiểm soát chính xác dòng chảy của từng thành phần, do đó đảm bảo độ chính xác của nồng độ khí hỗn hợp cuối cùng.

Bốn ứng dụng Field Focus

Tại khu vực trưng bày vật liệu bán dẫn, iTOLI đã trình bày các trường hợp sử dụng đồng hồ đo lưu lượng khí của mình trong quá trình khuếch tán. Trong sản xuất chất bán dẫn và quang điện, lò khuếch tán là một trong những thiết bị cốt lõi được sử dụng để cho phép pha tạp chính xác và tăng trưởng màng.

Thông qua việc đo lường và kiểm soát chính xác khí quá trình, đồng hồ đo lưu lượng và bộ điều khiển khối lượng khí iTOLI trực tiếp quyết định sự thành công hay thất bại của quá trình khuếch tán và hiệu suất cuối cùng của sản phẩm.

Ví dụ, dòng MFC330 có thể cung cấp các thông số kỹ thuật dòng chảy nhỏ từ 0-5 SCCM, đảm bảo nồng độ và phân phối doping đáp ứng các yêu cầu quy trình khắt khe.

Trong khu vực chuẩn bị vật liệu năng lượng mới, iTOLI đã trình bày các giải pháp cho việc chuẩn bị vật liệu âm silicon-carbon. Các khí quá trình rủi ro cao như silane (SiH₄), axetylen (C₂ H₂) cần được xử lý trong việc chuẩn bị cực âm silica-carbon, đặt ra các yêu cầu đặc biệt đối với đồng hồ đo lưu lượng khí.

5 Xu hướng công nghiệp và triển vọng tương lai

Tầm quan trọng của việc kiểm soát lưu lượng khí trong chuỗi công nghiệp vật liệu carbon ngày càng nổi bật. Với sự gia tăng liên tục của các yêu cầu về độ chính xác của hỗn hợp khí trong quá trình công nghiệp, công nghệ đo lưu lượng khí cũng tiếp tục tiến bộ.

Xu hướng trong tương lai cho thấy đồng hồ đo lưu lượng thông minh sẽ có thể thực hiện giám sát từ xa, bảo trì dự đoán và điều khiển thích ứng, nâng cao hơn nữa mức độ thông minh của máy phân phối khí động.

Dòng sản phẩm đồng hồ đo lưu lượng iTOLI cung cấp một loạt các giao diện truyền thông, bao gồm tín hiệu tương tự, RS232, RS485, RS422 và CAN-BUS, giúp tích hợp dễ dàng với hệ thống điều khiển chính và thực hiện giám sát từ xa và điều khiển tự động. Các chức năng này phù hợp với xu hướng phát triển thông minh trong tương lai.

Hội nghị vật liệu carbon cũng sẽ tổ chức hội nghị thường niên kim cương 2025, hội nghị sản xuất thiết bị sợi carbon, hội nghị vật liệu carbon năng lượng mới và hội nghị pin và các ứng dụng cuối khác, đi sâu vào sự phát triển sáng tạo của vật liệu carbon trong chất bán dẫn, năng lượng mới, thiết bị và các lĩnh vực khác.