Máy hút chân không là thiết bị đặc biệt được sử dụng để niêm phong ống thủy tinh, ống kim loại hoặc các thùng chứa khác trong môi trường khí chân không hoặc trơ. Nó được sử dụng rộng rãi trong điện tử, khoa học vật liệu, sản xuất chất bán dẫn, nghiên cứu khoa học và các lĩnh vực khác.
Toàn bộ hệ thống của máy hàn ống chân không thường bao gồm các thành phần cốt lõi sau:
I. Các bộ phận chức năng cốt lõi
1. Hệ thống hút chân không
Bơm chân không: Môi trường áp suất âm được cung cấp, các loại phổ biến bao gồm bơm chân không dạng đĩa xoắn ốc, bơm khuếch tán hoặc bơm phân tử (được lựa chọn theo yêu cầu chân không).
Buồng chân không: Không gian kín để chứa các phụ kiện được niêm phong, thường được làm bằng thép không gỉ hoặc hợp kim nhôm, được trang bị cửa sổ quan sát và cửa kín.
Máy đo chân không: Theo dõi thời gian thực về độ chân không của buồng (ví dụ: máy đo Pilani, máy đo cặp nhiệt hoặc máy đo ion hóa) để đảm bảo đáp ứng các yêu cầu về quy trình.
Van khí nén/điện: Kiểm soát sự ngắt kết nối của buồng chân không với thế giới bên ngoài, hỗ trợ bơm nhanh và bơm hơi (chẳng hạn như lấp đầy khí trơ).
2. Đơn vị đóng gói sưởi ấm
Lò sưởi: Khu vực niêm phong ống sưởi cục bộ hoặc toàn bộ, phạm vi nhiệt độ thường là nhiệt độ bình thường~1000 ℃ (có thể điều chỉnh), hỗ trợ niêm phong nóng chảy của ống thạch anh, ống thủy tinh hoặc ống kim loại.
Bộ điều khiển nhiệt độ: Hệ thống điều khiển nhiệt độ PID, thiết lập nhiệt độ và thời gian sưởi ấm chính xác, tránh quá nóng hoặc tắc nghẽn.
Súng phun lửa (tùy chọn): Một số mô hình được trang bị ngọn lửa hydro-oxy hoặc súng phun lửa axetylen để niêm phong nhiệt độ cao cho ống thủy tinh.
3. Bàn làm việc với cơ chế kẹp
Bàn xoay/Pan: Được sử dụng để sửa chữa và điều chỉnh vị trí của các phụ kiện đường ống được niêm phong, hỗ trợ hoạt động liên tục đa trạm.
Kẹp chính xác: phù hợp với thiết bị kẹp với đường kính ống khác nhau (chẳng hạn như Φ1~50mm), đảm bảo sự ổn định trong quá trình niêm phong ống.
Giá đỡ điều chỉnh ba chiều: điều chỉnh góc và chiều cao của phụ kiện đường ống để phù hợp với nhu cầu bịt kín phức tạp.
Thứ hai, mô-đun chức năng phụ trợ của máy niêm phong ống chân không:
1. Hệ thống xử lý khí
Mô-đun bơm hơi khí trơ: nạp khí bảo vệ như argon, nitơ vào buồng hoặc ống trước khi niêm phong ống để ngăn chặn quá trình oxy hóa hoặc ô nhiễm.
Nhà máy trộn khí (tùy chọn): Trộn nhiều loại khí theo tỷ lệ để đáp ứng nhu cầu quy trình đặc biệt.
Cảm biến áp suất: Theo dõi áp suất bơm hơi và đảm bảo áp suất không khí bên trong ổn định.
2. Hệ thống làm mát
Thiết bị làm mát bằng nước hoặc không khí: Được sử dụng để làm mát nhanh các phụ kiện đường ống sau khi sưởi ấm, giảm thiệt hại do căng thẳng nhiệt và nâng cao hiệu quả niêm phong đường ống.
Bộ trao đổi nhiệt (tùy chọn): Được thiết kế cho quá trình nhiệt độ cao, tăng tốc làm mát buồng.
3. Đơn vị xử lý khí thải
Bộ lọc hấp phụ khí thải: Bắt các chất hữu cơ dễ bay hơi hoặc khí độc hại được tạo ra trong quá trình niêm phong ống.
Bộ thu dầu mỡ chân không: Ngăn chặn sự trở lại của dầu bơm chân không vào buồng.
