Là thiết bị quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, đóng gói vi điện tử và xử lý vật liệu chính xác, sự ổn định và lặp lại quá trình liên quan trực tiếp đến tỷ lệ tốt và chi phí của sản phẩm. Để đảm bảo thiết bị trong điều kiện làm việc tốt nhất trong một thời gian dài, kéo dài tuổi thọ và đảm bảo sự ổn định và đáng tin cậy của kết quả quá trình, việc thực hiện một hệ thống bảo dưỡng khoa học và nghiêm ngặt là rất quan trọng. Sau đây sẽ giải thích chi tiết về cách bảo dưỡng của máy khử keo plasma chân không từ bốn khía cạnh hàng ngày, định kỳ, các bộ phận quan trọng và ngừng hoạt động lâu dài.

))) Xem thêm: Cách chữa bệnh trĩ ngoại giai đoạn đầu (((

Bảo dưỡng hàng ngày là tuyến phòng thủ đầu tiên để duy trì sự ổn định của thiết bị và được thực hiện chủ yếu bởi người vận hành thiết bị trong khoảng thời gian sản xuất.

1. Làm sạch với kiểm tra trực quan:

Bên ngoài thiết bị: Trước và sau khi sử dụng hàng ngày, hãy lau bề mặt bên ngoài của thiết bị bằng cách nhúng một lượng nhỏ cồn isopropyl (IPA) hoặc nước khử ion bằng vải không bụi, cửa sổ quan sát và bảng điều khiển hoạt động, loại bỏ bụi và vết bẩn và giữ sạch sẽ. Đồng thời kiểm tra vỏ thiết bị có tổn thương rõ rệt hay không, thiết bị khóa có bình thường hay không.

Vòng đệm cửa phòng thủ công: Kiểm tra và làm sạch vòng đệm fluororubber hoặc silicone trên cửa khoang trước mỗi lần mở. Nhẹ nhàng lau bằng vải không bụi nhúng IPA, loại bỏ các hạt nhỏ khỏi nó và đảm bảo không có dư lượng, không bị hỏng hoặc biến dạng. Niêm phong tốt là cơ sở để duy trì độ chân không cao.

2. Giám sát tình trạng hoạt động:

Hệ thống hút chân không: Ghi lại thời gian hút chân không cho mỗi quá trình. Nếu phát hiện thời gian hút chân không kéo dài đáng kể, có thể có nghĩa là có rò rỉ chân không hoặc giảm hiệu suất bơm cơ học, cần báo cáo kịp thời.

Thông số quá trình: Chú ý chặt chẽ đến việc phản xạ công suất tần số vô tuyến (RF), lưu lượng khí, áp suất buồng và các thông số chính khác trong quá trình xử lý có ổn định hay không. Biến động bất thường thường là tiền thân của sự lão hóa của các thành phần.

Hệ thống làm mát: Kiểm tra đồng hồ đo áp suất và đồng hồ đo lưu lượng của hệ thống tuần hoàn nước làm mát, đảm bảo các giá trị trong phạm vi bình thường và chạm để xác nhận rằng không có sự nóng lên bất thường của ống nước, đảm bảo tản nhiệt hiệu quả của nguồn RF và buồng.

))) Xem thêm: Cách chữa bệnh trĩ ngoại giai đoạn đầu (((

Bảo trì định kỳ cần được thực hiện bởi các kỹ sư bảo trì chuyên nghiệp dựa trên thời gian hoạt động của thiết bị và chu kỳ đề xuất của nhà sản xuất (thường là hàng quý hoặc hàng năm).

1. Làm sạch sâu phòng thủ công:

Tần suất: được thực hiện mỗi 200-400 giờ chạy hoặc khi kết quả quá trình (ví dụ: tốc độ khử keo, tính đồng nhất) được tìm thấy giảm.

Phương pháp: Tháo rời các bộ phận có thể di chuyển trong khoang, chẳng hạn như tấm điện cực, bàn mang, che chắn, v.v. Loại bỏ dư lượng polymer bám vào bề mặt và các sản phẩm phụ của phản ứng bằng cách sử dụng dán mài đặc biệt, giấy nhám hoặc plasma để làm sạch chính nó. Đối với các vết bẩn cứng đầu, có thể sử dụng ngâm hóa học (chẳng hạn như sử dụng N-methylpyrrolidone và các chất tẩy rửa đặc biệt khác, cần chú ý đến sự an toàn), sau đó rửa sạch và sấy khô bằng nước khử ion. Nguyên tắc cốt lõi: Tránh trầy xước vật cứng và ngăn ngừa trầy xước trên tường bên trong buồng và các điện cực có thể trở thành nguồn ô nhiễm hạt và ảnh hưởng đến tính đồng nhất của plasma.

2. Bảo trì hệ thống chân không:

Bơm cơ khí:

Kiểm tra và thay thế dầu bơm: Kiểm tra màu sắc và mức dầu của dầu bơm cơ khí hàng tháng. Màu hổ phách rõ ràng là bình thường và nếu nó chuyển sang màu nâu sẫm hoặc trắng sữa, nó cho thấy dầu đã bị ô nhiễm hoặc nước vào và phải được thay thế ngay lập tức. Tùy thuộc vào tần suất sử dụng, thường thay thế dầu bơm và bộ lọc dầu mỗi 500-1000 giờ hoạt động hoặc nửa năm một lần.

Thay thế bộ lọc khí thải: Thay thế bộ lọc khí thải của máy bơm cơ khí thường xuyên để ngăn chặn sự lây lan của dầu khí và hạt vật chất gây ô nhiễm môi trường hoặc đường chân không.

Máy đo chân không: Máy đo màng điện dung (CMG) được hiệu chuẩn định kỳ để đảm bảo đọc áp suất chính xác.

Phát hiện rò rỉ: Toàn bộ hệ thống chân không được phát hiện theo chu kỳ bằng cách sử dụng máy phát hiện rò rỉ phổ khối helium, đảm bảo độ kín khí của hệ thống.

3. Bảo trì hệ thống đường dẫn khí:

Bộ lọc khí: Thay thế phần tử lọc hạt ở lối vào nguồn không khí và trước van điện từ tần số cao để ngăn tạp chất xâm nhập vào buồng và van, thường là nửa năm một lần hoặc hàng năm.

Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC): MFC là một thành phần quan trọng để kiểm soát dòng chảy chính xác của khí quá trình. Cần định kỳ thông qua khí tiêu chuẩn để hiệu chuẩn, đảm bảo độ chính xác của nó. Nếu nó không được sử dụng trong một thời gian dài, nó nên được giữ với nitơ thổi bên trong để ngăn chặn tắc nghẽn.

4. Kiểm tra hệ thống tần số vô tuyến (RF):

Bảo trì phù hợp: Kiểm tra các điện cực của tụ điện biến đổi trong phù hợp để tìm dấu vết hoặc ô nhiễm và làm sạch chúng. Đảm bảo rằng động cơ của nó hoạt động tốt và có thể đạt được kết hợp trở kháng nhanh chóng và chính xác.

Cáp RF và đầu nối: Kiểm tra cáp RF và đầu nối cho các dấu hiệu lỏng lẻo, lão hóa hoặc hư hỏng để đảm bảo kết nối đáng tin cậy và ngăn chặn phản xạ năng lượng làm hỏng máy phát RF.

III. Chăm sóc đặc biệt và thay thế các bộ phận chính

Một số bộ phận thuộc về vật tư tiêu hao, trạng thái của chúng trực tiếp quyết định chất lượng công nghệ, cần được giám sát tập trung và thay thế kịp thời.

1. Vòng đệm chân không: Dưới nhiệt độ cao, chiếu xạ plasma và áp suất cơ học trong một thời gian dài, vòng đệm sẽ lão hóa và mất độ đàn hồi. Nên thay thế một cách có hệ thống tất cả các vòng đệm chính (cửa khoang, cửa sổ quan sát, nguồn cấp dữ liệu điện cực, v.v.) cứ sau 1-2 năm hoặc khi chân không được tìm thấy là không thể duy trì.

2. Cửa sổ quan sát: Cửa sổ quan sát thạch anh hoặc nhôm oxit sẽ dần dần trở nên mờ khi bắn phá plasma, ảnh hưởng đến độ chính xác của hệ thống phát hiện điểm cuối. Khi truyền ánh sáng giảm đáng kể, nó cần được đánh bóng hoặc thay thế.

3. Bơm dầu với bộ lọc: theo đúng chu kỳ thay thế, đó là "máu" và "thận" của hoạt động lành mạnh của hệ thống chân không.

IV. Bảo dưỡng trong thời gian ngừng hoạt động lâu dài

Nếu thiết bị cần để trống hơn một tháng, cần phải tiến hành xử lý niêm phong.

1. Bảo vệ buồng: Sau khi làm sạch và sấy khô buồng quá trình, hãy nạp nitơ có độ tinh khiết cao khô hơi cao hơn áp suất khí quyển và đóng tất cả các van để ngăn không khí và độ ẩm xâm nhập.

2. Bảo vệ hệ thống chân không: tắt máy bơm cơ khí, xả dầu bơm và tiêm dầu mới sau khi rửa sạch bằng dầu mới. Hoặc, thường xuyên (chẳng hạn như hai tuần một lần) bắt đầu hoạt động của máy bơm cơ khí trong nửa giờ để giữ cho nó được bôi trơn và niêm phong.

3. Tắt nguồn và chống bụi: Ngắt kết nối nguồn điện chính (ngoại trừ các hệ thống con được hỗ trợ cần thiết) và che thiết bị bằng nắp bụi.