Cao chân không magnetron phún xạ bay hơi Coater là thiết bị được sử dụng để chuẩn bị màng trong môi trường chân không bằng cách kết hợp công nghệ phún xạ magnetron và phương pháp bay hơi. Nó chủ yếu được sử dụng để chuẩn bị màng trong vật liệu bán dẫn, các thành phần quang học và các lĩnh vực khác.
Tính năng hiệu suất
Chất lượng phim cao: bộ phim dày đặc và bám dính mạnh mẽ được lắng đọng bởi magnetron phún xạ, có thể kiểm soát chính xác độ dày và thành phần của bộ phim; Sự bay hơi chân không có thể đạt được sự lắng đọng của bộ phim có độ tinh khiết cao, và cả hai kết hợp để tạo ra một bộ phim có hiệu suất tốt, chẳng hạn như bộ phim quang học, bộ phim thiết bị điện tử và các hiệu ứng ứng dụng tốt khác.
Vật liệu phủ rộng: có thể xử lý nhiều loại vật liệu như kim loại, hợp kim, hợp chất, chất bán dẫn, cả kim loại nóng chảy cao, hợp kim và màng hợp chất có thể được lắng đọng bằng cách phún xạ magnetron, cũng như kim loại tinh khiết, chất hữu cơ và màng khác bằng cách bốc hơi chân không.
Tính linh hoạt của quá trình: có thể đạt được một loạt các quá trình sơn, chẳng hạn như phún xạ mục tiêu đơn, đồng phún xạ mục tiêu đa mục tiêu, phản ứng phún xạ, lớp phủ bay hơi và quá trình kết hợp của chúng, v.v. bằng cách điều chỉnh công suất phún xạ magnetron, áp suất khí, khoảng cách cơ sở mục tiêu, cũng như nhiệt độ gia nhiệt, tốc độ bay hơi và các thông số khác của bay hơi chân không.
Lĩnh vực ứng dụng
Lĩnh vực điện tử: điện cực, lớp kết nối, lớp chặn để chuẩn bị chip bán dẫn, cũng như màng dẫn trong suốt, màng phương tiện quang học, v.v. cho màn hình phẳng, chẳng hạn như chuẩn bị điện cực trong suốt indium oxide thiếc, lớp kết nối đồng, v.v.
Lĩnh vực quang học: Nó có thể chuẩn bị màng khuếch đại, màng lọc, màng phản chiếu và các màng quang học khác để cải thiện hiệu suất quang học của các thành phần quang học, chẳng hạn như ứng dụng trong thiết bị laser, pin mặt trời, ống kính quang học, v.v.
Lĩnh vực máy móc: lớp phủ chống mài mòn cứng, lớp phủ tự bôi trơn, vv được lắng đọng trên khuôn, vòng bi và các bề mặt khác để cải thiện độ cứng, khả năng chống mài mòn và tuổi thọ.
Lĩnh vực trang trí: Được sử dụng để mạ màng kim loại, màng hợp kim, màng màu, v.v. trên bề mặt của trang trí bên trong và bên ngoài ô tô, vỏ sản phẩm điện tử, đồ trang sức và các bề mặt khác để nâng cao tính thẩm mỹ và trang trí của sản phẩm.