Pluto-MD (8L) Máy khử keo plasma nhỏ - Xem video trực tuyến

Quá trình khử keo là một quá trình quan trọng trong quá trình vi xử lý, sau khi phơi sáng chùm điện tử, phơi sáng UV và các quá trình xử lý vi nano khác, tất cả đều phải loại bỏ hoặc xử lý màng nền. Các vấn đề như keo quang có loại bỏ sạch sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến việc hoàn thành thuận lợi công nghệ tiếp theo hay không. Máy khử keo nhỏ PLUTO-MD sử dụng các thành phần và phần mềm hoạt động tuyệt vời để kiểm soát chính xác các thông số quy trình. Phần mềm giám sát quy trình và thu thập dữ liệu của nó cho phép kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt. Công nghệ này đã được áp dụng thành công trong các bóng bán dẫn công suất, thiết bị mô phỏng, cảm biến, quang học, quang điện, EMS/MOEMS、 Thiết bị sinh học, LED và các lĩnh vực khác.