PLUTO-30 (30L) Máy làm sạch Plasma đa chức năng - Xem video trực tuyến

PLUTO-30 là một hệ thống plasma đầy đủ chức năng được thiết kế đặc biệt cho nghiên cứu và phát triển, với máy phát tần số vô tuyến 13,56 MHz và nguồn điện mạng kết hợp tự động tạo ra plasma đồng nhất trong toàn bộ khu vực quá trình. Khoang chân không của Pluto30 có thể hỗ trợ lên đến 7 giá đỡ mẫu có thể điều chỉnh để chứa các mẫu có kích thước khác nhau. Pluto30 có một loạt các cài đặt điện cực có thể được cấu hình thành chế độ RIE và PECVD, do đó mở rộng phạm vi ứng dụng của hệ thống, cung cấp cho người dùng sự linh hoạt tốt.