1. Chuẩn bị trước khi thao tác (5 phút xong, an toàn là trên hết)

Kiểm tra an ninh:

Xác nhận rằng thiết bị được nối đất tốt (tránh rò rỉ điện) và điện áp cung cấp đáp ứng các yêu cầu định mức (ví dụ: AC220V ± 10%);

Kiểm tra xem đường dẫn khí (ví dụ: argon, oxy, nitơ) có được kết nối chặt chẽ và không bị rò rỉ (có thể được phát hiện bằng cách áp dụng nước xà phòng tại khớp, không có bong bóng là bình thường);

Mở tủ hút (nếu xử lý các mẫu dễ bay hơi) hoặc thiết bị xả để tránh ô nhiễm môi trường với một lượng nhỏ khí từ phản ứng plasma.

Chuẩn bị mẫu:

Làm sạch các tạp chất lớn (như bụi, dầu bẩn) trên bề mặt của mẫu cần làm sạch (như chip, thủy tinh, bộ phận nhựa, bộ phận kim loại) trước (lau bằng ethanol khan sau khi sấy khô), tránh tạp chất ảnh hưởng đến hiệu quả làm sạch;

Cố định mẫu trên giá đỡ mẫu để đảm bảo bề mặt mẫu không bị che khuất (plasma cần được phủ đều) và giá đỡ mẫu được đặt ở vị trí trung tâm của khoang phản ứng (tránh gần điện cực).

Tiêu thụ và môi trường xác nhận:

Kiểm tra áp suất xi lanh khí (thường cần duy trì 0,2-0,5MPa) để đảm bảo đủ khí;

Xác nhận rằng miếng đệm cửa khoang phản ứng sạch sẽ và không bị hỏng (đảm bảo hiệu ứng niêm phong chân không), môi trường thí nghiệm không có rung động mạnh hoặc bụi (tránh ảnh hưởng đến hoạt động của thiết bị).

Hai, các bước hoạt động cốt lõi (cài đặt thông minh, không cần can thiệp thủ công)

Khởi động dụng cụ và hút chân không:

Mở tổng nguồn điện của dụng cụ, khởi động hệ thống điều khiển (một số mô hình hoạt động với màn hình cảm ứng), chọn "chế độ thủ công" hoặc "chế độ tự động" (chế độ tự động được khuyến nghị bởi người mới, được xây dựng trong các thông số làm sạch thông thường);

Đóng cửa khoang phản ứng, nhấn nút "hút chân không", thiết bị sẽ tự động khởi động bơm chân không, bơm áp suất bên trong khoang phản ứng đến mức chân không thiết lập (thường là 10-100Pa, điều chỉnh theo loại mẫu), thiết bị sẽ tự động nhắc nhở (đèn báo sáng hoặc bíp) sau khi bơm hoàn thành.

Gas Pass với thiết lập tham số:

Chọn loại khí làm sạch (ví dụ: oxy để làm sạch vết bẩn dầu, argon để kích hoạt bề mặt, argon+oxy để làm sạch hỗn hợp), đặt lưu lượng khí (thường 10-50sccm, lưu lượng quá lớn dễ phá hủy chân không, quá nhỏ thì nồng độ plasma không đủ);

Đặt các thông số làm sạch:

Công suất (50-300W, chọn công suất cao cho mẫu cứng, chọn công suất thấp cho mẫu mềm/nhiệt);

Thời gian làm sạch (30 giây-10 phút, ô nhiễm nhẹ chọn thời gian ngắn, làm sạch sâu chọn thời gian dài);

Một số mô hình hỗ trợ "thông số phân đoạn" (chẳng hạn như tiền xử lý công suất thấp trước, sau đó làm sạch công suất cao), có thể được thiết lập theo yêu cầu.

Bắt đầu làm sạch plasma:

Sau khi các thông số được xác nhận là không thể nhầm lẫn, nhấn nút "bắt đầu làm sạch", thiết bị sẽ tự động thực hiện quy trình: trước tiên duy trì lưu lượng khí và ổn định chân không, sau đó bắt đầu cung cấp năng lượng RF để tạo ra plasma (trong khoang phản ứng sẽ xuất hiện ánh sáng yếu, thuộc về hiện tượng bình thường);

Trong quá trình làm sạch, màn hình hiển thị độ chân không, lưu lượng khí, công suất, thời gian còn lại và các thông số khác trong thời gian thực, không cần điều chỉnh thủ công, nếu có bất thường (chẳng hạn như độ chân không không đạt tiêu chuẩn, rò rỉ khí), thiết bị sẽ tự động báo động và ngừng hoạt động.

III. Kết thúc sau khi hoạt động (3 phút hoàn thành, dụng cụ bảo vệ+mẫu)

Ngừng rửa và giảm áp lực:

Sau khi kết thúc thời gian làm sạch, thiết bị sẽ tự động tắt nguồn RF và van khí, đi vào quy trình "giảm áp" (thông qua một lượng nhỏ khí trơ vào buồng phản ứng, chẳng hạn như nitơ, cân bằng áp suất bên trong và bên ngoài);

Sau khi hoàn thành việc giảm áp suất (áp suất trong khoang phản ứng trở lại áp suất khí quyển), thiết bị nhắc nhở "hoạt động đã hoàn thành", tại thời điểm này cửa khoang phản ứng có thể được mở.

Lấy mẫu và kiểm tra:

Lấy mẫu ra bằng găng tay và quan sát trạng thái bề mặt mẫu (chẳng hạn như khô, không có dư lượng, sức căng bề mặt có được nâng lên hay không, hiệu quả làm sạch có thể được xác minh bằng thử nghiệm góc tiếp xúc giọt nước);

Để xử lý nhiều mẫu liên tục, bạn có thể lặp lại bước "chuẩn bị mẫu → hút chân không → làm sạch" mà không cần tắt tổng nguồn thiết bị.

Tắt máy và bảo trì:

Sau khi tất cả các mẫu được xử lý, đóng van xi lanh khí, nhấn nút "dừng bơm chân không", sau khi máy bơm chân không ngừng hoạt động hoàn toàn (tránh bơm chân không trở lại dầu), tắt tổng nguồn thiết bị;

Lau miếng đệm cửa khoang phản ứng và giá đỡ mẫu bằng giẻ sạch, làm sạch một lượng nhỏ bụi bên trong khoang phản ứng (nếu có), giữ cho dụng cụ sạch sẽ và kéo dài tuổi thọ.

Quy trình vận hành của máy làm sạch plasma được chuẩn hóa và thông minh hóa. Toàn bộ quá trình được chi phối bởi "thao tác nút+cài đặt tham số". Không cần điều chỉnh cơ học phức tạp hoặc kiến thức hóa học, người mới có thể nắm vững các hoạt động cơ bản trong 10 phút. "Độ phức tạp" của nó chủ yếu được phản ánh trong "lựa chọn thông số" (chẳng hạn như các mẫu khác nhau tương ứng với các loại khí, công suất và thời gian khác nhau), chứ không phải trong chính các bước hoạt động - miễn là các thông số phù hợp được lựa chọn theo vật liệu mẫu (cứng/mềm, chịu nhiệt độ) và mục đích làm sạch (loại bỏ dầu, kích hoạt, khắc), bạn có thể đạt được hiệu quả làm sạch.