Pluto30Là hệ thống plasma đầy đủ chức năng được thiết kế đặc biệt cho nghiên cứu và phát triển,13,56 MHzMáy phát tần số vô tuyến và nguồn điện mạng tự động phù hợp tạo ra plasma đồng nhất trong toàn bộ khu vực quá trình.Pluto30Máy hút bụi có thể hỗ trợ tối đa7Một giá mẫu có thể điều chỉnh để chứa các mẫu có kích thước hình dạng khác nhau.Pluto30Với một loạt các thiết lập điện cực, nó có thể được cấu hình đểRIEvàPECVDMô hình, từ đó mở rộng phạm vi ứng dụng của hệ thống này, cung cấp sự linh hoạt tốt cho người dùng.

Giáo viên khoa polymer của Đại học Fudan hy vọng sẽ sử dụng thiết bị này để thực hiện các thí nghiệm về phản ứng hóa học plasma, tức là sử dụng plasma được tạo ra từ thiết bị để phản ứng hóa học với các chất bên trong khoang chân không với máy bơm chân không và van khí đóng lại, sau đó thu được các chất mới được tạo ra sau phản ứng hóa học. Thí nghiệm này, đối với yêu cầu thiết bị plasma có điều khiển chính xác, đối với khả năng giữ áp suất của khoang chân không có yêu cầu rất cao. Sau một thời gian nghiên cứu, cuối cùng khách hàng đã chọn chúng tôi.Diêm tinhLoạtPluto30Hệ thống xử lý bề mặt plasma.

Lĩnh vực ứng dụng:

Kích hoạt bề mặt

Cải thiện năng lượng bề mặt để cải thiện độ bám dính vật liệu: liên kết khuôn ép trước; Pre-hàn dây ngoại quan

Tăng cường dòng chảy keo bề mặt: tiền hình thành; Tràn chip trước

Độ nhám bề mặt và khắc

Giảm căng thẳng bề mặt và cải thiện độ bám dính bề mặt

Xám và làm sạch bề mặt

Plasma Plasma Etch (với cấu hình RIE)

Vật liệu điện môi/III-IV

Lớp phủ nano (được trang bị thiết bị vận chuyển tiền chất lỏng)

Lớp phủ nano chống nước: Xử lý bề mặt bảng mạch in

Chống ăn mòn Nano Coating: Thiết bị y tế, cấy ghép y tế