Máy đo độ dày màng vi quang là một dụng cụ đo quang học có độ chính xác cao, chủ yếu được sử dụng để đo độ dày của màng, wafer, vật liệu quang học và màng nhiều lớp mà không phá hủy và không tiếp xúc, và để phân tích các hằng số quang học của chúng (như chỉ số khúc xạ, hệ số tuyệt chủng). Dựa trên nguyên tắc giao thoa và quang phổ của ánh sáng. Khi ánh sáng chiếu vào bề mặt của bộ phim, nó phản xạ nhiều lần giữa mặt trước và mặt sau của bộ phim, tạo thành các sọc giao thoa. Bằng cách phân tách các sọc giao thoa này thành phổ của các bước sóng khác nhau và đo phân bố cường độ của chúng, các thuật toán liên quan được sử dụng lại để tính toán độ dày của màng, chỉ số khúc xạ và các thông số khác.
Máy đo độ dày microspectrometry đo độ phản xạ tuyệt đối trong một khu vực nhỏ thông qua microspectrometry. Hiện tượng phản xạ và truyền xảy ra khi ánh sáng chiếu vào bề mặt của bộ phim và ánh sáng phản xạ nhiều lần trên bề mặt phía trước và phía sau của bộ phim để tạo thành các sọc giao thoa. Kỹ thuật quang phổ phân tách các sọc giao thoa này thành phổ của các bước sóng khác nhau và đo phân bố cường độ của chúng, do đó tính toán các thông số như độ dày của màng, chỉ số khúc xạ (n) và hệ số tuyệt chủng (k).
đặc điểm
Đo lường độ chính xác cao: Sử dụng thuật toán chính xác để đạt được phép đo độ dày màng subnanomet, đảm bảo độ chính xác và độ tin cậy của kết quả. Đáp ứng nhu cầu đo lường của các bộ phim có độ dày khác nhau.
Đo lường không tiếp xúc: Không cần tiếp xúc trực tiếp với mẫu trong quá trình đo, tránh thiệt hại do các lực bên ngoài gây ra cho mẫu và bảo vệ tính toàn vẹn của mẫu. Thích hợp để đo các vật liệu màng mỏng có giá trị hoặc mong manh như wafer bán dẫn, lớp phủ quang học.
Đo nhanh và hiển thị thời gian thực: Thời gian đo ngắn đến 1 giây/điểm, hỗ trợ quét tự động tốc độ cao, nâng cao hiệu quả phát hiện. Hiển thị dữ liệu độ dày màng trong thời gian thực để phân tích nhanh và dễ dàng.
Phạm vi bước sóng rộng và độ phân giải màng nhiều lớp: Hệ thống quang học bao phủ các dải cực tím đến gần hồng ngoại (chẳng hạn như 230-1600nm), thích ứng với các đặc tính phổ của các vật liệu khác nhau. Hỗ trợ phân tích cấu trúc màng nhiều lớp, có thể đo độ dày và hằng số quang học của màng nhiều lớp cùng một lúc.
Thiết kế thân thiện với người dùng: Với trình hướng dẫn phần mềm dễ phân tích, phân tích hằng số quang học có thể được thực hiện nhanh chóng ngay cả với người dùng lần đầu tiên. Đầu đo độc lập hỗ trợ nhu cầu tùy chỉnh hóa và thích nghi với các kịch bản giám sát trực tuyến của các dây chuyền sản xuất khác nhau.