Phổ buồng xả khí VanLà một thành phần quan trọng được sử dụng để kiểm soát dòng khí của hệ thống chân không, chức năng và hoạt động của nó cần kết hợp với các yêu cầu môi trường chân không cao.
Chức năng cốt lõi:
Điều chỉnh áp suất:
Duy trì độ chân không của buồng quang phổ ổn định (thường là ≤1 × 10 ⁻Pa) bằng cách giải phóng khí dư thừa hoặc điều chỉnh dòng chảy.
Bảo vệ an toàn:
Ngăn chặn hệ thống thất bại niêm phong hoặc hư hỏng thiết bị do áp suất quá cao.
Làm thế nào để vận hành van xả khí Spectrum Chamber đúng cách:
Phát hiện hiệu suất niêm phong:
Hiệu suất niêm phong là chìa khóa cho hoạt động an toàn. Kết nối đường dẫn khí nên được kiểm tra trước mỗi lần sử dụng để đảm bảo không có rò rỉ. Phương pháp phát hiện thường bao gồm:
Phương pháp kiểm tra rò rỉ nước xà phòng: Dùng tăm bông thấm nước xà phòng bôi lên các điểm nối của đường khí, quan sát xem có tạo ra bong bóng khí hay không. Nếu phát hiện rò rỉ khí, cần thay thế linh kiện ngay lập tức.
Kiểm tra dụng cụ chuyên nghiệp: Đối với hệ thống khí có độ tinh khiết cao, các thiết bị như máy dò rò rỉ phổ khối helium có thể được sử dụng để đảm bảo tỷ lệ rò rỉ phù hợp với yêu cầu.
Lựa chọn vật liệu:
Chất liệu ảnh hưởng trực tiếp đến độ kín và an toàn:
Tránh vật liệu đồng/bạc: Các phụ kiện bằng đồng đỏ, đồng thau hoặc bạc bị nghiêm cấm trong đường dẫn khí axetylen trong trường hợp gây nổ.
Các vật liệu được đề xuất: Hệ thống khí có độ tinh khiết cao nên chọn thép không gỉ 316L và các vật liệu khác, và cần được ủ chân không để giảm tỷ lệ xả khí. Van nên được ưu tiên lựa chọn van Bellows hoặc van bi không có chất độn, giảm nguy cơ ô nhiễm khí.