Ngành công nghiệp bán dẫn dựa trên silicon và các vật liệu bán dẫn khác, bao gồm mạch tích hợp, thiết bị quang điện và các lĩnh vực khác, trong đó mạch tích hợp chiếm hơn 80%. Ngành công nghiệp này có nhu cầu nghiêm ngặt về nước siêu tinh khiết, chất lượng nước ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản xuất và hiệu suất, giám sát nước siêu tinh khiết trở thành một liên kết quan trọng.
Tiêu chuẩn nước siêu tinh khiết bán dẫn hiện nay vượt xa yêu cầu cao nhất của tiêu chuẩn quốc gia về nước điện tử, các chỉ số cốt lõi bao gồm: điện trở suất cần đạt trên 18,2 megaeuros (25 ℃), đảm bảo hàm lượng ion cực thấp; TOC (Total Organic Carbon) được kiểm soát dưới 0,5ppb để tránh ảnh hưởng đến độ chính xác in thạch bản; Vật chất hạt lớn hơn 0,05 micron không quá 100 hạt mỗi lít; Oxy hòa tan cần ít hơn 1 ppb để ngăn chặn quá trình oxy hóa ion kim loại.
Nước siêu tinh khiết được áp dụng cho toàn bộ quá trình sản xuất như rửa wafer, quá trình in thạch bản, làm mát khắc, đánh bóng cơ học, cũng được sử dụng để làm mát thiết bị và nghiên cứu và phát triển trong phòng thí nghiệm. Trên phương pháp giám sát, các hạt nhỏ được phát hiện bằng bộ đếm hạt lỏng, TOC、 Điện trở suất, oxy hòa tan, vv Thông qua giám sát thời gian thực của các dụng cụ điện hóa trực tuyến, kết hợp với hệ thống tích hợp để đạt được quản lý năng động chất lượng nước.
Chu kỳ giám sát phụ thuộc vào nhu cầu sản xuất và thay đổi chất lượng nước, yêu cầu phân tích mẫu định kỳ. Nước siêu tinh khiết được xử lý bằng nước máy thông qua nhiều giai đoạn như ACF, UF, RO, EDI trước khi giảm TOC xuống dưới 1ppb thông qua thiết bị đèn TOC-UV.
Khi kích thước của các thành phần bán dẫn giảm và độ chính xác tăng lên, các yêu cầu về chất lượng nước tiếp tục được cải thiện. Ngành công nghiệp đang giải quyết những thách thức khắc nghiệt hơn bằng cách nâng cao độ chính xác của phát hiện và áp dụng giám sát từ xa và các công nghệ mới khác để giảm tổn thất sản xuất do các vấn đề về chất lượng nước và đảm bảo tỷ lệ sản phẩm tốt.