Nền tảng cách ly rung nổi không khí là thiết bị chính xác sử dụng khí nén (không khí hoặc nitơ) làm môi trường hỗ trợ và cách ly rung động. Lõi cách ly rung động môi trường thông qua lò xo khí và hệ thống giảm xóc, cung cấp bề mặt làm việc ổn định cho cảnh có độ chính xác cao. Nó được sử dụng rộng rãi trong nghiên cứu khoa học và công nghiệp và các lĩnh vực khác. Kết luận cốt lõi: dòng chính được chia thành thụ động và chủ động, cảnh thường được ưu tiên cho thụ động (tỷ lệ giá cao, bảo trì dễ dàng), độ chính xác nano hoặc môi trường rung động khắc nghiệt chọn chủ động (hiệu quả cách ly rung cao hơn); Các cốt lo@@ ̃i lựa chọn quan tâm đến ba chỉ tiêu lớn là tần suất vốn có, khả năng chịu đựng và độ chính xác của mặt bàn.
Bảo trì nền tảng cách ly rung nổi cần tập trung vào hệ thống nguồn khí, vòng bi nổi, con dấu và làm sạch môi trường, cụ thể bao gồm kiểm tra áp suất không khí hàng ngày, bôi trơn thường xuyên và thay thế các bộ phận lão hóa.
Nền tảng cách ly rung nổi bằng không khí áp suất cao tạo thành màng khí ổn định giữa nền tảng và nền tảng, sử dụng hiệu ứng áp suất tĩnh không khí để đạt được sự lơ lửng và cách ly rung. Quy trình cụ thể như sau:
Hình thành màng khí: nguồn khí nén bơm khí vào khoang khí đặc biệt giữa nền tảng và cơ sở, tạo thành một màng khí mỏng * phân bố đều, làm cho cơ thể nền tảng và cơ sở tách khỏi tiếp xúc rắn, làm suy yếu đáng kể hiệu quả dẫn rung.
Điều chỉnh thông số: Được trang bị mô-đun điều chỉnh áp suất không khí, nó có thể điều chỉnh chính xác độ cứng và các thông số giảm xóc của màng khí theo nhu cầu cách ly rung của kính hiển vi điện tử, giao thoa kế laser và các thiết bị khác.
Bồi thường dịch chuyển: Một số mô hình tích hợp hệ thống giám sát và bồi thường dịch chuyển có độ chính xác cao, thông qua cảm biến thời gian thực để nắm bắt những thay đổi thái độ nhỏ của nền tảng, phối hợp với bộ truyền động khí nén hoặc điện để nhanh chóng điều chỉnh độ lệch dịch chuyển, nâng cao hơn nữa sự ổn định vận hành.
Ứng dụng thực tế
Phạm vi ứng dụng của nền tảng cách ly rung nổi không ngừng mở rộng, hiện đã được áp dụng cho ba lĩnh vực chính:
Lĩnh vực thí nghiệm nghiên cứu khoa học: trong quan sát rối lượng tử, phát hiện kính hiển vi lực nguyên tử, hiệu chuẩn thành phần quang học chính xác và các thí nghiệm khác, nó được sử dụng để cô lập rung động mặt đất trong phòng thí nghiệm và tiếng ồn của thiết bị ngoại vi, để đảm bảo độ chính xác và khả năng lặp lại của dữ liệu thí nghiệm và cung cấp môi trường ổn định cho nghiên cứu khoa học.
Lĩnh vực y tế và hàng không vũ trụ: Trong thiết bị MRI cường độ trường cao, dụng cụ kiểm tra chính xác các thành phần hàng không vũ trụ, sự ổn định hoạt động của thiết bị hỗ trợ cách ly rung, đáp ứng các yêu cầu về hình ảnh y tế có độ phân giải cao và phát hiện chính xác các thành phần không gian.
Lĩnh vực sản xuất chính xác: Trong máy in thạch bản, thiết bị kiểm tra wafer, trung tâm gia công và các thiết bị khác, đảm bảo độ chính xác của quá trình xử lý và tránh lỗi gia công do nhiễu rung.