Bàn làm mát bằng kính hiển vi thăm dò là dụng cụ khoa học kết hợp kiểm tra đầu dò với kiểm soát nhiệt độ, chủ yếu được sử dụng để kiểm tra tính chất điện của các thiết bị bán dẫn trong môi trường nhiệt độ cao/thấp. Kiểm soát nhiệt độ chính xác từ -190 ℃ đến+600 ℃, hỗ trợ làm nóng/làm mát nhanh (1-200 ℃/phút), thích hợp cho các thí nghiệm như thiêu kết vật liệu, phân tích điểm nóng chảy, v.v. Được trang bị hệ thống đầu dò chính xác, hỗ trợ kiểm tra DC/RF, có thể đo điện trở chip, kiểm tra độ tin cậy và kiểm tra đặc tính nhiệt độ trong môi trường nhiệt độ cao/thấp. Tương thích với kính hiển vi quang học, nó có thể quan sát các biến thể cấu trúc vi mô như chất lỏng bao bọc, bao bọc nóng chảy, phù hợp với khoáng vật học, khoa học vật liệu và các lĩnh vực khác.
Chức năng cốt lõi của nó là:
Kiểm soát miền nhiệt độ rộng: Điều khiển vùng nhiệt độ rộng từ -190 ℃ đến 1000 ℃ thông qua công nghệ làm lạnh nitơ lỏng, sưởi ấm điện trở hoặc làm lạnh bán dẫn (hiệu ứng Peltier).
Kiểm tra điện thăm dò: Được trang bị nền tảng dịch chuyển chính xác ba trục X/Y/Z (chẳng hạn như độ chính xác dịch chuyển ≤1μm), hỗ trợ đầu dò căn chỉnh với mức micron bề mặt mẫu để đạt được độ dẫn, đường cong IV và kiểm tra hiệu suất điện khác. Ví dụ, trong nghiên cứu thiết bị bán dẫn, các đặc tính điện của mẫu cấp wafer ở các nhiệt độ khác nhau có thể được đo chính xác.
Hợp tác hình ảnh hiển vi: Tích hợp cửa sổ quang học trong suốt (ví dụ như kính sapphire) hoặc thiết kế lỗ truyền ánh sáng, tương thích với kính hiển vi quang học, kính hiển vi huỳnh quang và máy quang phổ Raman và các thiết bị khác để thực hiện quan sát thời gian thực về cấu trúc vi mô của mẫu trong quá trình thay đổi nhiệt độ. Ví dụ, trong khoa học vật liệu, các vật liệu phân tử cao có thể quan sát được sự thay đổi cấu trúc mạng trong quá trình chuyển pha.
Ứng dụng thực tế
Kiểm tra chất bán dẫn: Đánh giá tính ổn định điện của chip ở nhiệt độ *.
Nghiên cứu vật liệu: nghiên cứu hệ số giãn nở nhiệt, nhiệt độ thay đổi pha và các đặc tính vật lý nhiệt khác.
Kiểm tra công nghiệp: Kiểm tra độ tin cậy chịu nhiệt độ của phụ tùng ô tô, linh kiện điện tử.