Máy đo độ dày màng vi quang là một dụng cụ đo lường có độ chính xác cao dựa trên nguyên tắc giao thoa và quang phổ của ánh sáng, chủ yếu được sử dụng để đo độ dày của màng, wafer, vật liệu quang học và màng nhiều lớp không phá hủy và không tiếp xúc, và để phân tích các hằng số quang học của chúng (ví dụ: chỉ số khúc xạ, hệ số tuyệt chủng).
Đo phản xạ quang phổ trong các khu vực nhỏ bằng phương pháp quang phổ vi mô, khi ánh sáng phản xạ nhiều lần trên bề mặt phía trước và phía sau của màng để tạo thành các sọc giao thoa, kỹ thuật quang phổ phá vỡ các sọc giao thoa thành phổ có bước sóng khác nhau và đo phân bố cường độ của chúng, tính toán độ dày màng và các thông số quang học bằng thuật toán.
Máy đo độ dày màng quang phổ vi mô đạt được phép đo không phá hủy, không tiếp xúc thông qua nguyên tắc giao thoa và quang phổ của ánh sáng. Khi ánh sáng chiếu vào bề mặt của bộ phim, phản xạ nhiều lần trên bề mặt phía trước và phía sau của bộ phim để tạo thành các sọc giao thoa, công nghệ quang phổ phá vỡ các sọc này thành phổ với các bước sóng khác nhau, các thông số như độ dày màng (1nm-35μm), chỉ số khúc xạ (n), hệ số tuyệt chủng (k) có thể thu được chính xác bằng cách đo phân bố cường độ phổ và kết hợp với các tính toán thuật toán.
Thường bao gồm các bộ phận như hệ thống quang học, hệ thống phát hiện, hệ thống điều khiển và bàn mẫu. Hệ thống quang học bao gồm nguồn sáng, bộ tách, vật kính phản xạ, v.v., được sử dụng để tạo và truyền ánh sáng và tập trung ánh sáng vào bề mặt mẫu; Hệ thống phát hiện thường bao gồm máy dò, vv, được sử dụng để phát hiện cường độ phản xạ hoặc truyền ánh sáng; Hệ thống điều khiển chịu trách nhiệm vận hành và xử lý dữ liệu của thiết bị; Bàn mẫu được sử dụng để đặt mẫu và có thể nhận ra sự di chuyển và định vị của mẫu.

Thận trọng khi sử dụng
Kiểm soát môi trường: Tránh ánh sáng mặt trời trực tiếp, nhiệt độ cao và môi trường ẩm ướt, ngăn ngừa độ ẩm hoặc ô nhiễm của hệ thống quang học.
Hiệu chuẩn&Bảo trì: Thường xuyên sử dụng hiệu chuẩn mẫu, làm sạch các bộ phận quang học để kéo dài tuổi thọ.
Xử lý mẫu: Đảm bảo bề mặt mẫu phẳng trước khi đo, tránh độ nhám ảnh hưởng đến dữ liệu phản xạ.
Bảo mật dữ liệu: Chọn mô hình hỗ trợ lưu trữ và truyền dữ liệu (ví dụ: USB, Bluetooth) để phân tích tiếp theo dễ dàng hơn.