Gần đây, Công ty TNHH Công nghệ Điện tử Thanh Đảo Core Sênh Microna(gọi tắt là "Qingdao Core Sanh") trong bộ điều khiển lưu lượng chất lượng khí (Mass Flow Controller, MFC) đã đạt được một bước đột phá lớn, phá vỡ các rào cản kỹ thuật quan trọng từ lâu đã cản trở sự phát triển của MFC cấp bán dẫn trong nước, phát triển thành công hai sản phẩm MFC cấp bán dẫn dựa trên van tỷ lệ áp điện tốc độ cao, sản phẩm có độ chính xác, độ tin cậy và ổn định gấp 5 lần so với các sản phẩm hiện có.

　　Tại sao phải phát triển lớp SemiconductorMFC?

MFC， Đó là bộ điều khiển lưu lượng khối, một dụng cụ chính xác có khả năng đo lường và kiểm soát chính xác lưu lượng khối chất lỏng, là đơn vị chức năng quan trọng để đảm bảo độ chính xác của quá trình xử lý và tính nhất quán của sản phẩm. MFC hoạt động trong tất cả các khâu của quá trình bán dẫnQuan trọngVai trò, ví dụ, trong quá trình xử lý quá trình (khắc, lớp phủ, vv) liên kết, được sử dụng cho các thành phần khác nhau của dòng chảy hỗn hợp khí, cũng như thiết bị chân không để theo dõi thời gian thực hoặc điều chỉnh, để đảm bảo tỷ lệ khí hỗn hợp là chính xác; Trong liên kết làm sạch vật liệu, nó được sử dụng để kiểm soát lưu lượng nitơ trong quá trình công nghệ, đảm bảo hiệu quả làm sạch và sấy khô; Trong cơ sở hạ tầng, chẳng hạn như siêu sạch, được sử dụng để kiểm soát ổn định lâu dài độ sạch khí môi trường và tốc độ gió. Để đảm bảo sự ổn định của quá trình sản xuất chất bán dẫn và chất lượng sản phẩm, các sản phẩm MFC thường được yêu cầu có độ chính xác cao, ổn định cao, độ tin cậy cao và phản ứng nhanh.

Những năm gần đây, Nhật BảnHoriba、 Brooks và các doanh nghiệp khác của Mỹ đã liên tục giới thiệu van tỷ lệ gốm áp điện và các sản phẩm MFC bán dẫn dựa trên van tỷ lệ áp điện, trong khi cải thiện tốc độ phản ứng đồng thời giảm đáng kể các vấn đề như suy thoái hiệu suất, nhiệt và rò rỉ khí trong sử dụng lâu dài. Một số công ty trong nước mặc dù đã đạt được sự phát triển tốt, nhưng các sản phẩm của họ vẫn sử dụng công nghệ van tỷ lệ điện từ truyền thống làm chủ đạo, lực lượng sản phẩm không đủ để đáp ứng nhu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn về độ chính xác cao, độ tin cậy cao và phản ứng nhanh. Gần đây, công nghệ đo lường và điều khiển dòng chảy Piezo Driver chất lượng cao, đáng tin cậy và đáp ứng nhanh đã được độc quyền ở nước ngoài, với giá cao và nguy cơ ngắt nguồn bất cứ lúc nào, dẫn đến mối đe dọa an ninh thành phần cốt lõi quan trọng trong thiết bị bán dẫn quốc gia.

Trong sáu năm chiến tranh thương mại Trung-Mỹ, ngành công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc đã đạt được sự phát triển nhanh chóng thông qua các biện pháp như tăng cường đổi mới độc lập, thúc đẩy phát triển hiệp đồng chuỗi công nghiệp, tích cực tham gia hợp tác quốc tế và nhận được hỗ trợ chính sách và đầu tư vốn. Đồng thời, với việc nâng cao quy trình sản xuất chất bán dẫn và nhu cầu thị trường ngày càng tăng, nhu cầuNhu cầu nội địa hóa của MFC cũng sẽ không ngừng tăng lên. Do đó, việc phát triển MFC cấp bán dẫn và thúc đẩy nội địa hóa thành phần cốt lõi này là rất quan trọng để đảm bảo an ninh chuỗi công nghiệp bán dẫn quốc gia.

　Sơ đồ cấu trúc bên trong S700

　　Thanh Đảo Tâm Sanh thực lực bao nhiêu?

Thanh Đảo tập trung vàoCông nghệ đo lưu lượng khí, mục tiêu trở thànhTốtNhà cung cấp linh kiện bán dẫn. Đội ngũ nòng cốt của công ty đến từ SingaporeA*STAR、 Các trường nghiên cứu khoa học trọng điểm trong và ngoài nước như KIT, Đại học Thanh Hoa, Viện Khoa học Trung Quốc, Đại học Đồng Tế, Đại học Sơn Đông, v. v., nắm bắt công nghệ cốt lo@@ ̃i tự chủ toàn chuỗi như chip cảm giác lưu thông cốt lo@@ ̃i, mô - đun, thuật toán, tích hợp hệ thống, v. v. Hiện nay, công ty có 23 phát minh, 14 mô hình tiện ích và hơn 50 chứng chỉ đo lường cấp 1; gánh vác 2 dự án nghiên cứu phát triển trọng điểm quốc gia của Bộ Khoa học và Công nghệ, 1 dự án nghiên cứu phát triển trọng điểm của tỉnh Sơn Đông (công trình sáng tạo khoa học và công nghệ quan trọng); Được xây dựng trên nền tảng R&D của "Qingdao Coresang - Phòng thí nghiệm chung về đo lường và kiểm soát cảm biến của Đại học Sơn Đông", "Phòng thí nghiệm trọng điểm về công nghệ đo và kiểm soát lưu lượng khí của thành phố Thanh Đảo", "Trạm làm việc của chuyên gia công nghệ đo và kiểm soát lưu lượng khí của thành phố Thanh Đảo", và có xưởng R&D 800 mét vuông, xưởng sản xuất 4000 mét vuông và hơn 100 thiết bị hiệu chuẩn lưu lượng; Với IS09001, IS014001 và các chứng nhận quản lý chất lượng khác và sản xuất.

Sự ổn định của thị trường phụ thuộc vào sự đảm bảo mạnh mẽ về chất lượng sản phẩm. Trải qua nhiều năm cày cấy, Tâm Sanh Thanh Đảo đã hình thànhS300 series, UT series, E series và các dòng sản phẩm trưởng thành và ổn định khác, và đã đạt được sự thay thế nội địa hóa trong nhiều lĩnh vực như quang điện, bảo vệ môi trường và y tế, đã được thị trường nhất trí công nhận. Ngày nay, hai sản phẩm đo lưu lượng chuyên dụng bán dẫn S700 và DF500 đã được thêm vào để bắt đầu bố trí thị trường bán dẫn. Khi đề cập đến lợi thế của công ty và sản phẩm, người sáng lập công ty, Tiến sĩ Tao Jifang, cho biết, "Là một công ty cảm biến bản địa, lợi thế của Qingdao CoreSênh chủ yếu bao gồm ba điểm: Thứ nhất, nhóm của chúng tôi là đủ tốt, mọi người đều có khả năng tuyệt vời và kinh nghiệm phong phú; Thứ hai, chúng tôi có môi trường sinh thái tốt, việc cung cấp bảo hành sản phẩm không thể tách rời sự hỗ trợ mạnh mẽ của các đối tác thượng nguồn, và khách hàng hạ nguồn duy trì hợp tác chặt chẽ; Cuối cùng, Qingdao CoreSênh Công ty đã duy trì đầu vào R&D và sản xuất cường độ cao, đầu vào R&D cho phép chúng tôi duy trì công nghệNâng caoĐầu tư chế tạo đảm bảo chất lượng sản phẩm của chúng tôi. Không ở trong thị trường cấp thấp, là mấu chốt phá cục của chúng ta ", tiến sĩ Đào Kế Phương bổ sung.

　　Sản phẩm mới của Samsung sẽ ra mắt2024 "Triển lãm chất bán dẫn và các thành phần cốt lõi"

　　"Điều này là không đủ", đề cập đến các sản phẩm MFC cấp bán dẫn mới của công ty, Tiến sĩ Lin, người đứng đầu trung tâm R&D của Qingdao Coresang cho biết, "Mặc dù công ty đã có một vị trí trong thị trường PV và đã đạt được đơn đặt hàng ổn định, nhưng khả năng và mục tiêu của chúng tôi không chỉ dừng lại ở đó, chúng tôi sẽ khắc phục từng bộ phận cốt lõi của thiết bị bán dẫn, S700 và DF500 lần này là một trong những đột phá lớn".

Cả hai sản phẩm mới được phát triển bởi Qingdao Coresín đều sử dụng công nghệ van tỷ lệ áp điện tốc độ cao, cũng như công nghệ bù áp suất động,"Van tỷ lệ áp điện là bộ phận điều khiển cốt lõi trong MFC, với cảm biến lưu lượng tạo thành vòng kín, nhận ra sự điều chỉnh năng động và nhanh chóng của dòng khí", Tiến sĩ Lin nói, "So với van tỷ lệ điện từ chính thống trong nước hiện nay, van tỷ lệ áp điện đáp ứng nhanh, độ chính xác điều khiển cao và có mức tiêu thụ điện năng và tiếng ồn nhiệt rất thấp. Chúng tôi bắt đầu nghiên cứu và phát triển van tỷ lệ áp điện từ năm 2021, hiện đã thực hiện thiết kế xếp chồng gốm áp điện, tối ưu hóa cấu trúc thiết bị truyền động, niêm phong kim loại đầy đủ và các phương án sản xuất hàng loạt khác, hiệu suất và tính nhất quán của van tỷ lệ là rất tốt".

Để đáp ứng các nhu cầu ứng dụng khác nhau, Qingdao CoreSênh đã phát triển hai sản phẩm khác nhau, với sự khác biệt như sau:

Trọng điểm của hai sản phẩm hơi khác nhau, trong đó,DF500 có lợi thế hơn về độ chính xác và thời gian đáp ứng trong điều khiển lưu lượng nhỏ, phù hợp với quy trình tiên tiến 7nm/14nm; S700 có phạm vi lựa chọn rộng hơn và nhiệt độ hoạt động, phù hợp với quy trình chung. "Cả hai sản phẩm đều sử dụng thuật toán điều khiển động thích ứng được nghiên cứu và phát triển mới nhất của công ty, khách hàng có thể lựa chọn dựa trên nhu cầu thực tế. Cả hai MFC đều sử dụng vật liệu Dual V cấp bán dẫn và xử lý EP, đáp ứng các yêu cầu SEMI", Tiến sĩ Lin nói, "Cả hai sản phẩm sẽ được trưng bày tại triển lãm thiết bị bán dẫn và linh kiện cốt lõi vào ngày 25 tháng 9, chào đón khách hàng cũ và mới đến giao tiếp."

　　Tóm tắt:

Trong lớp SemiconductorTrên đường đua MFC này, Trung Quốc bắt đầu nghiên cứu muộn, công nghệ và sản phẩm bị chi phối bởi các nước phương Tây, đe dọa nghiêm trọng tính toàn vẹn và an toàn của chuỗi ngành công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc. Hiện nay, Tâm Sanh Thanh Đảo đã hoàn thành vấn đề khó khăn từ 0 đến 1, tiếp theo là làm thế nào để thực hiện tốt hơn bước nhảy từ 1 - 100. Sự trỗi dậy của các nhà sản xuất trong nước như Qingdao Coresheng không chỉ đại diện cho việc nâng cao trình độ công nghệ trong nước, mà còn cho thấy Trung Quốc sẽ có sức cạnh tranh mạnh hơn trong lĩnh vực công nghệ cao toàn cầu.