Trong các lĩnh vực thí nghiệm quang học chính xác, kính hiển vi thăm dò quét (SPM), kính hiển vi điện tử, nếp nhăn nano, giao thoa laser và đo lường độ chính xác cao, rung động là chìa khóa ảnh hưởng đến độ chính xác của dữ liệu. Nền tảng cách ly rung nổi bằng cách sử dụng khí nén để tạo thành màng khí micron giữa nền tảng và đế, cô lập hiệu quả rung tần số thấp (1-30Hz) từ mặt đất, thiết bị hoặc người đi bộ xung quanh, cung cấp môi trường ổn định cho các dụng cụ chính xác. Tuy nhiên, hiệu suất của nó chơi phụ thuộc rất nhiều vào cài đặt chính xác và phương pháp hoạt động. Nắm vững kỹ thuật sử dụng khoa học của nền tảng cách chấn khí phù, là mấu chốt để khống chế nó.

I. Lựa chọn môi trường
Nền tảng nên được đặt trong khu vực phòng thí nghiệm cách xa các nguồn chấn động mạnh như máy móc lớn, thang máy và máy nén khí. Mặt đất cần kiên cố, bằng phẳng, không nghiêng rõ rệt. Tránh ánh sáng mặt trời trực tiếp hoặc gió ra của điều hòa không khí thổi trực tiếp, ngăn ngừa sự xáo trộn không khí do gradient nhiệt độ. Đảm bảo có đủ không gian hoạt động xung quanh để dễ dàng kết nối đường dẫn khí và bố trí dụng cụ.
II. Điều chỉnh ngang
Sử dụng mức độ chính xác cao (giá trị lập chỉ mục ≤ 0,02mm/m) để điều chỉnh chân có thể điều chỉnh ở dưới cùng của nền tảng, để mặt bàn đạt đến mức chính xác theo cả hướng X và Y. Độ lệch ngang quá lớn dẫn đến độ dày màng khí không đồng đều, ảnh hưởng đến chiều cao nổi và hiệu ứng cách ly rung, thậm chí gây ra nền tảng tiếp xúc một bên.
III. Chuẩn bị nguồn khí
Nền tảng nổi cần khí nén sạch, khô và ổn định (thường là áp suất 0,4-0,7 MPa). Phải được trang bị bộ lọc ba giai đoạn (loại bỏ nước, loại bỏ dầu, loại bỏ bụi) và van điều chỉnh áp suất để ngăn tạp chất làm tắc nghẽn các lỗ khí nhỏ hoặc gây ra biến động áp suất. Nên sử dụng máy nén khí không dầu để tránh làm ô nhiễm bề mặt chính xác bằng dầu bôi trơn.
IV. Tải và phân phối
Khi đặt dụng cụ, hãy đảm bảo rằng tổng trọng lượng không vượt quá khả năng chịu tải định mức của nền tảng. Các thiết bị nên được bố trí ở giữa cố gắng, tránh do tải xếp làm nghiêng mặt bằng. Thiết bị hạng nặng thích hợp đặt ở khu vực trung tâm, phụ kiện hạng nhẹ phân bố bốn phía, duy trì cân bằng phân bố chất lượng.
V. Khởi động và nâng
Mở nguồn khí đầu tiên và từ từ mở van nạp, cho phép nền tảng nâng lên một cách trơn tru đến độ cao nổi thiết kế (thường là 5-20μm). Quan sát xem nền tảng có trôi nổi ổn định hay không, có lắc lư hay đụng chạm cục bộ hay không. Đợi nền tảng ổn định (khoảng 1-2 phút), sau đó khởi động dụng cụ chính xác để đo.
VI. Vận hành bảo trì và an toàn
Sau khi thí nghiệm kết thúc, trước tiên tắt nguồn thiết bị, sau đó từ từ giải phóng nguồn khí, để nền tảng hạ cánh ổn định;
Định kỳ kiểm tra xem có rò rỉ không khí ở đầu nối không khí, làm sạch phần tử lọc;
Mặt bàn được giữ sạch sẽ để tránh các mảnh kim loại hoặc chất lỏng chảy vào lỗ khí;
Nghiêm cấm các thao tác gõ, khoan, v. v. trên nền tảng.