Lò vi sóng nhiệt độ cao chân không dựa trên nguyên tắc sưởi ấm lò vi sóng, và kết hợp với công nghệ thiết kế lò nhiệt độ cao chân không, hình thành một loại sản phẩm nhiệt độ cao vật liệu mới, xem xét hai lợi thế của lò vi sóng nhiệt độ cao nhanh chóng sưởi ấm và xử lý môi trường chân không, theo ý tưởng thiết kế của hệ thống chân không khác nhau, chia thành chân không hộp và chân không thiết bị, trước đây thường là cấu trúc lò vi sóng nhiệt độ cao chân không, sau này thường là cấu trúc lò vi sóng nhiệt độ cao chân không.