Bài viết này mô tả phương pháp phân tích để xác định một số nguyên tố tạp chất trong các mẫu cát thạch anh có độ tinh khiết cao bằng máy quang phổ phát xạ plasma kết hợp điện cảm Perkin Elmer Avio 200 (ICP-OES) và xác minh có hệ thống phương pháp này. Kết quả cho thấy phương pháp này có độ chính xác tuyệt vời và độ chính xác tốt, với các giá trị kết quả của cả hai mẫu đáp ứng các yêu cầu giới hạn của 13 nguyên tố tạp chất theo tiêu chuẩn GB/T 32649-2016 về cát thạch anh có độ tinh khiết cao cho quang điện, do đó đạt được xác định chính xác các nguyên tố dấu vết trong các mẫu cát thạch anh có độ tinh khiết cao.