Phổ khối plasma ghép nối tự cảm (ICP-MS) là một công nghệ phát hiện đa nguyên tố, có ưu điểm là độ nhạy cao, loại mẫu linh hoạt (khí, lỏng và rắn), tốc độ đo nhanh và dải động tuyến tính rộng.ICP-MS (SP-ICP-MS), hoạt động ở chế độ hạt đơn, đã được chứng minh là một kỹ thuật mạnh mẽ để phát hiện và đo lường các hạt nano (NP), có khả năng xác định nhiều đặc điểm hạt nano như thành phần vô cơ, nồng độ, kích thước hạt, phân bố kích thước hạt và tập hợp.