Chip kết nối 3D Laser viết trực tiếp thiết bịGia công ba chiều thực sự của các cấu trúc bề mặt tự do dưới micron thông qua công nghệ Polymerization Multi-Photon (MPP), cung cấp một nền tảng sản xuất quan trọng để tích hợp hỗn hợp chip quang silicon, mạch quang tử lithium niobite và quang học lượng tử.
Các tính năng chính:
Mô-đun gia công siêu nhanh, cải thiện đáng kể hiệu quả gia công
Độ chính xác cao 3D gia công, cấu trúc phức tạp Bất kỳ bề mặt miễn phí thiết kế gia công
Hệ thống phát hiện đồng tập trung và huỳnh quang để nhận dạng và căn chỉnh vị trí chính xác cao
Hệ thống định vị căn chỉnh 3D tự động với độ chính xác nano
Hình ảnh và đo lường vi mô HD thời gian thực, gia công và phát hiện hệ tọa độ toàn cầu
Hệ thống ổn định năng lượng laser để đảm bảo tính nhất quán xử lý trong thời gian dài
Bàn mẫu hấp phụ chân không phù hợp với các vật liệu cơ bản khác nhau
kẹp đặc biệt cho sợi quang, mảng sợi quang và chip photon
Tự động bù năng lượng laser để loại bỏ ảnh hưởng của khuyết tật xử lý mặt cuối
Phát hiện độ nghiêng bề mặt tự động và san lấp mặt bằng
Lập trình trực quan, quy trình gia công tùy chỉnh
Chu kỳ bảo trì thành phần chính:
Laser femto giây: phát hiện ổn định công suất đầu ra, hàng tháng, hiệu chuẩn đồng hồ đo điện;
Hệ thống rung: Phạm vi quét và hiệu chuẩn thứ cấp, mỗi nửa năm, 140 × 140 μm²;
Hệ thống điều khiển nhiệt độ: cảm biến hiệu chuẩn nguồn bức xạ vật đen, mỗi quý, ± 0,1 ℃ độ chính xác;
Mô-đun làm lạnh: kiểm tra áp suất môi chất lạnh và độ kín đường ống, hàng tuần (nitơ lỏng), đọc đồng hồ đo áp suất.
Quy trình bảo trì hàng ngày:
Làm sạch hệ thống quang học:
Sử dụng vải không bụi nhúng ethanol khan để lau kính bảo vệ, kính rung và cửa sổ laser để tránh trầy xước lớp phủ.
Khi thay kính bảo vệ cần bịt kín vòi phun để ngăn bụi xâm nhập vào hệ thống đường dẫn ánh sáng.
Hiệu chuẩn nền tảng thể thao:
Kiểm tra độ chính xác định vị lặp lại (± 10nm) của bàn gốm áp điện ba chiều mỗi quý, được xác minh bằng tấm hiệu chuẩn tiêu chuẩn.
Bôi trơn đường ray cần sử dụng dầu bôi trơn nano đặc biệt để tránh các hạt ảnh hưởng đến độ chính xác của chuyển động.