Là một thiết bị quan trọng trong xử lý nhiệt và tổng hợp vật liệu, sự ổn định của lò ống chân không ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác của dữ liệu thí nghiệm và chất lượng mẫu. Hệ thống bảo dưỡng khoa học có thể kéo dài đáng kể tuổi thọ của thiết bị, sau đây là ba khía cạnh của hoạt động hàng ngày, bảo trì chu kỳ và ứng phó với tình trạng đột ngột để giải thích chi tiết các điểm bảo dưỡng.

I. Chăm sóc ngay lập tức sau khi hoạt động hàng ngày

Sau khi kết thúc mỗi thí nghiệm, cần thực hiện bảo trì cơ bản ngay lập tức: đợi nhiệt độ lò giảm xuống dưới 100 ℃, từ từ nạp nitơ có độ tinh khiết cao để loại bỏ chân không, ngăn chặn oxy đảo ngược ăn mòn các yếu tố làm nóng ở trạng thái nóng. Đeo găng tay cách nhiệt khi tháo ống thạch anh để tránh vỡ do ứng suất chênh lệch nhiệt độ. Dùng vải không bụi chấm cồn không nước lau tường trong lò và bề mặt ngoài ống thạch anh, tập trung vào việc loại bỏ kết tinh dễ bay hơi. Kiểm tra xem vòng chữ O mặt bích kín có tạp chất hạt hay không, nếu có vết lõm nhỏ cần bôi silicon chân không để sửa chữa. Phần mềm điều khiển cần thực hiện quy trình "tắt máy" để thay thế khí còn lại.

II. Chương trình bảo trì sâu theo chu kỳ

(1) Bảo dưỡng thường xuyên hàng tháng

1. Bảo trì hệ thống chân không: tháo rời đường ống giai đoạn trước của bơm khuếch tán và thay thế chất hút ẩm sàng phân tử; Kiểm tra mức dầu máy bơm, nếu màu đậm cần thay dầu máy bơm chân không chuyên dụng.

2. Phát hiện đơn vị sưởi ấm: sử dụng vạn năng để đo điện trở dây điện, độ lệch trên ± 5% cần được thay thế; Hiệu chỉnh thông số PID của mô-đun điều khiển nhiệt độ để đảm bảo đường cong nóng lên và lỗi giá trị cài đặt<± 3 ℃.

3. Kiểm tra hệ thống đường dẫn khí: kích hoạt từng kênh khí liên tiếp, kiểm tra độ kín khí của van điện từ và khớp bằng nước xà phòng, giữ áp suất kiểm tra tốc độ suy giảm áp suất<0,5kPa/phút.

(2) Bảo trì sâu hàng quý

1. Xử lý tái tạo ống thạch anh: ngâm ống thạch anh đã qua sử dụng trong dung dịch axit flohydric (nồng độ 5%) trong 2 giờ, sốc siêu âm loại bỏ trầm tích cứng đầu, sau đó rửa sạch bằng nước khử ion đến pH trung tính.

2. Thay thế linh kiện niêm phong: Thay thế cưỡng bức vòng đệm mặt bích và miếng đệm cao su quan sát cửa sổ, các phụ kiện mới cần được lão hóa trước 8 giờ trong môi trường chân không.

3. Làm sạch hệ thống làm mát bằng nước tuần hoàn: tháo dỡ bộ lọc bể, thay thế chất làm mát và thêm chất bảo quản, kiểm tra lưu lượng bơm nước có đáp ứng giá trị đánh dấu thiết bị hay không.

III. Xử lý khẩn cấp sự cố thường gặp

1. chân không không đủ: ưu tiên kiểm tra hiệu quả bơm chân không, nếu chân không giới hạn thấp hơn 1 × 10 ⁻³ Pa, cần thay dầu bơm và làm sạch cổng xả; Tiếp theo là kiểm tra tình trạng mài mòn vòng kín.

2. Nhiệt độ mất kiểm soát: cắt nguồn điện chính ngay lập tức, kiểm tra xem cặp nhiệt điện có rơi ra hay ngắn mạch hay không, thay thế cặp nhiệt điện loại S cùng loại nếu cần thiết.

3. Rò rỉ khí: sử dụng phương pháp nén áp suất phân đoạn để xác định vị trí điểm rò rỉ, tập trung vào việc kiểm tra giao diện van và quan sát niêm phong cửa sổ, tạm thời có thể chặn khẩn cấp bằng sáp nhiệt độ thấp.

Đề xuất quản lý lâu dài

Tạo thẻ lưu trữ thiết bị để ghi lại mỗi lần bảo trì, thay thế phụ kiện và các điều kiện bất thường. Đề nghị áp dụng chế độ sử dụng luân phiên "ba ca", tránh vận hành quá tải liên tục. Kiểm tra mô phỏng tải đầy đủ được thực hiện mỗi tháng một lần để xác minh sự ổn định của thiết bị trong các điều kiện đặc biệt. Thông qua bảo trì phòng ngừa, chu kỳ đại tu thiết bị có thể được kéo dài hơn ba năm để đảm bảo tính liên tục của nghiên cứu khoa học và sản xuất.