Máy phân tích AMC bán dẫnĐặc điểm kỹ thuật như sau:
Công nghệ phát hiện độ nhạy cao
Công nghệ quang phổ hấp thụ tăng cường khoang (CEAS): Đạt được độ nhạy ppb (phần tỷ) thông qua bể hấp thụ khí tầm xa tự nghiên cứu và trình điều khiển laser có độ ồn cực thấp, cho phép phát hiện chính xác các thành phần khí dấu vết như CO₂, CH₄ và tuân thủ các tiêu chuẩn của Tổ chức Khí tượng Thế giới (WMO) và Hệ thống Quan sát Carbon Tích hợp (ICOS).
Công nghệ quang phổ khối thời gian bay: chẳng hạn như màn hình Vocus ABC sử dụng phương pháp quang phổ khối thời gian bay ion hóa hóa học thời gian thực, kết hợp với tính cực điện áp nhanh và chuyển đổi ion thuốc thử, hỗ trợ chế độ ion hóa học lên đến sáu ion thuốc thử cùng một lúc, trong chu kỳ 2 giây có thể bao phủ phổ cho nhiều AMC, đạt được giới hạn phát hiện ở mức ppt đơn (phần nghìn tỷ).
Giám sát thời gian thực và phản hồi nhanh
Phép đo phổ mili giây với thiết bị đo giây: Hệ thống có thể hoàn thành phép đo phổ trong mili giây, phản ứng với sự thay đổi nồng độ trong giây, thích hợp để nắm bắt các dao động tức thời của AMC và đáp ứng các yêu cầu khắt khe của sản xuất chất bán dẫn về thời gian thực.
Hoạt động ổn định 24 giờ liên tục: Thông qua các cảm biến chính xác cao và các thuật toán tiên tiến, đảm bảo dữ liệu hoạt động lâu dài trong môi trường công nghệ phức tạp ổn định và đáng tin cậy, tránh các vấn đề về hiệu quả của chế độ lấy mẫu nhân tạo.
Khả năng phát hiện đồng bộ đa khí
Khả năng phân tích đa thành phần: Hàng chục AMC như khí axit (ví dụ HCl, H₂SO₄), khí kiềm (ví dụ NH₃), chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) có thể được theo dõi đồng thời, bao gồm các tính chất hóa học khác nhau và các chất dễ bay hơi, tránh những hạn chế của kỹ thuật truyền thống đòi hỏi nhiều phát hiện.
Toàn bộ quá trình tự động hóa và tích hợp: từ lấy mẫu, cô đặc đến phân tích, lưu trữ, hoạt động tự động hóa toàn bộ quá trình, giảm sự can thiệp của con người và nâng cao hiệu quả phát hiện.
Phân tích dữ liệu thông minh và quản lý vòng kín
AI và hỗ trợ dữ liệu lớn: Bằng cách khai thác sâu vào khối lượng dữ liệu khổng lồ, tự động tạo bản đồ xu hướng ô nhiễm và báo cáo theo dõi nguồn ô nhiễm, các nhà quản lý hỗ trợ tối ưu hóa quy trình và chiến lược quản lý.
Giám sát từ xa và cảnh báo ngưỡng: Hệ thống có chức năng giám sát từ xa, có thể thông báo ngay lập tức các bất thường, tránh tổn thất lương thực và hình thành quản lý vòng kín "giám sát - phân tích - quản trị - xác minh", liên tục tối ưu hóa môi trường sản xuất.
Thiết kế chống nhiễu và khả năng thích ứng với môi trường
Mô phỏng chất lỏng chuyên nghiệp và hệ thống nạp: giảm sự bất ổn do luồng không khí gây ra, đảm bảo phạm vi động đo rộng, phù hợp với môi trường có sự thay đổi lớn về độ rung, nhiệt độ, độ ẩm và các điều kiện khác.
Hệ thống chân không bơm phi cơ: loại bỏ các thành phần quay tốc độ cao, giải quyết các vấn đề không thể phát hiện hoạt động trong rung động lớn đa chiều và nâng cao khả năng phù hợp với môi trường.