1. Tổng quan về công nghệ phún xạ Magnetron

Phún xạ magnetron là một kỹ thuật bắn phá các ion năng lượng cao trên bề mặt mục tiêu, kích thích các nguyên tử hoặc phân tử mục tiêu phún xạ ra và sau đó lắng đọng trên bề mặt bằng cách lắng đọng pha khí để tạo thành một màng mỏng. So với kỹ thuật lắng đọng bay hơi truyền thống, phún xạ magnetron có thể đạt được sự lắng đọng của một bộ phim chất lượng cao ở nhiệt độ thấp hơn, với sự đồng nhất tốt của lớp màng và khả năng kiểm soát độ dày mạnh mẽ.

Máy phún xạ magnetron làm cho các electron trong nguồn phún xạ bị ràng buộc bởi tác động của từ trường, làm tăng số lượng va chạm giữa các electron và các phân tử khí, do đó cải thiện hiệu quả của nguồn ion và tăng tốc độ phún xạ. Ưu điểm của quá trình này là có thể lắng đọng các loại màng khác nhau, chẳng hạn như kim loại, chất bán dẫn, chất cách điện cũng như màng composite, v.v., do đó có lợi thế ứng dụng trong việc chuẩn bị màng quang học.

2. Tác dụng

(1) Kiểm soát chất lượng phim

Chất lượng của bộ phim quang học trực tiếp xác định hiệu suất của nó, đặc biệt là về độ phản xạ, tốc độ truyền, chống phản xạ, chống ô nhiễm, v.v. Nó có thể điều chỉnh chính xác các chỉ số chính như độ dày, mật độ, tính đồng nhất của màng bằng cách kiểm soát chính xác các thông số như công suất phún xạ, lưu lượng khí, áp suất không khí làm việc cũng như nhiệt độ của chất nền. Ví dụ, khi làm phim chống phản xạ, thông qua điều chỉnh chính xác của máy phún xạ magnetron, lớp màng có thể có tính chất quang học tuyệt vời và giảm tổn thất quang học không cần thiết.

(2) Chuẩn bị màng nhiều lớp

Trong các ứng dụng quang học, đặc biệt là trong các lĩnh vực như lớp phủ quang học, bộ lọc, bộ lọc giao thoa, v.v., thường cần phải chuẩn bị màng có cấu trúc nhiều lớp. Nó có thể nhận ra chính xác sự lắng đọng của các vật liệu màng khác nhau bằng cách luân phiên lắng đọng các lớp vật liệu khác nhau, và chất lượng và độ dày của các lớp màng khác nhau có thể được kiểm soát chính xác trong quá trình chuẩn bị. Tính năng này làm cho máy phún xạ magnetron đa chức năng đóng một vai trò không thể thay thế trong việc chuẩn bị màng quang.

(3) Tốc độ lắng đọng cao và hiệu quả

Có tốc độ phún xạ cao hơn, làm cho quá trình lắng đọng của bộ phim hiệu quả hơn và đặc biệt thích hợp cho các ứng dụng sản xuất hàng loạt. Khi sản xuất màng quang học, điều rất quan trọng là nâng cao hiệu quả sản xuất, hiệu suất hiệu quả cao của máy phún xạ magnetron có thể rút ngắn thời gian sản xuất và giảm chi phí.

(4) Điều chỉnh cấu trúc của lớp màng

Không chỉ có thể kiểm soát độ dày và tính đồng nhất của bộ phim, mà còn kiểm soát cấu trúc vi mô của bộ phim bằng cách điều chỉnh các thông số phún xạ, chẳng hạn như bầu không khí, công suất, nhiệt độ, v.v. Ví dụ, bằng cách thay đổi tỷ lệ công suất phún xạ và khí, ứng suất và cấu trúc tinh thể của lớp màng có thể được điều chỉnh, do đó ảnh hưởng đến chỉ số khúc xạ, hấp thụ và độ bền của màng quang học.

(5) Kết hợp lớp màng chính xác

Đối với màng nhiều lớp, công nghệ phún xạ magnetron có thể đạt được sự kết hợp chính xác của các chất khác nhau. Ví dụ, hệ thống màng quang học thường yêu cầu nhiều kết hợp của kim loại, oxit, nitride và các vật liệu khác. Máy phún xạ magnetron có thể kiểm soát chính xác chất lượng giao diện và hiệu suất quang học giữa các lớp màng bằng cách linh hoạt lựa chọn tỷ lệ của các mục tiêu và khí khác nhau.

3. Lĩnh vực ứng dụng

(1) Công nghiệp PV năng lượng mặt trời

Trong sản xuất pin mặt trời, hiệu suất của màng quang học đóng một vai trò quan trọng trong hiệu quả của pin. Nó có thể được sử dụng để chuẩn bị các loại màng khác nhau, chẳng hạn như màng phản xạ, màng chống phản xạ và màng dẫn điện trong suốt, việc chuẩn bị các lớp màng này đòi hỏi tính chất quang học và độ bền cao, trong khi công nghệ phún xạ magnetron có thể cung cấp màng đáp ứng yêu cầu.

(2) Thiết bị laser

Các thành phần quang học trong thiết bị laser, đặc biệt là màng quang học trong laser, cần có hiệu suất truyền quang học tốt và ngưỡng tổn thương laser cao. Công nghệ phún xạ magnetron có thể được sử dụng để chuẩn bị màng phản xạ và màng truyền chất lượng cao, đảm bảo sự ổn định và hiệu quả cao của thiết bị laser.

(3) Công nghệ hiển thị

Các bộ phim quang học được sử dụng trong các màn hình hiện đại, đặc biệt là phim phản chiếu và phim truyền, cũng dựa vào độ chính xác cao và hiệu quả cao của công nghệ phún xạ magnetron. Việc chuẩn bị phim bằng cách phún xạ magnetron có thể đảm bảo màn hình hiển thị có hiệu suất quang học tốt hơn và độ sáng cao hơn.