Máy hồ sơ bề mặt 3DNó là một dụng cụ đo lường chính xác để đo lường hình dạng ba chiều của bề mặt vật thể với độ chính xác cao. Nó được sử dụng rộng rãi trong điện tử, ô tô, chất bán dẫn, khoa học vật liệu và phát hiện công nghiệp.

　　Máy hồ sơ bề mặt 3DHiệu suất được xác định bởi các thông số kỹ thuật chính, các yêu cầu của các kịch bản ứng dụng khác nhau đối với các thông số khác nhau là đáng kể, khi mua cần tập trung vào các chỉ số sau:

1, Phạm vi đo lường:

Bao gồm phạm vi ngang (trục X/Y, xác định * kích thước lớn của mẫu đo được) và phạm vi dọc (trục Z, xác định * chênh lệch chiều cao lớn của bề mặt đo được).

2. Độ phân giải:

Độ phân giải dọc: đo lường khả năng phân biệt sự khác biệt về chiều cao nhỏ trên bề mặt, là chỉ số cốt lõi;

Độ phân giải ngang: Đo lường khả năng phân biệt các đặc điểm ngang nhỏ trên bề mặt, liên quan đến độ phóng đại mục tiêu của hệ thống quang học, điểm ảnh của máy dò.

3, Độ chính xác đo lường:

Đề cập đến độ lệch của kết quả đo so với giá trị thực, thường bao gồm lỗi tuyến tính (độ tuyến tính của dịch chuyển trục Z), lỗi lặp lại (độ lệch của cùng một vị trí được đo nhiều lần), lỗi độ phẳng (độ lệch đo của mặt phẳng hiệu chuẩn).

4, Tốc độ đo:

Tùy thuộc vào cách quét (quét từng điểm, quét dây, quét khuôn mặt) và hiệu quả xử lý dữ liệu:

Cấu trúc chiếu sáng: quét bề mặt, tốc độ * nhanh (cấp mili giây, thích hợp để phát hiện trực tuyến);

Kính hiển vi lực nguyên tử: quét từng điểm, tốc độ * chậm (cấp phút, thích hợp cho phân tích chính xác ngoại tuyến);

Máy giao thoa ánh sáng trắng: Quét đường, tốc độ trung bình (từ giây đến phút, chiếu cố độ chính xác và hiệu quả).

5, khả năng tương thích mẫu:

Bao gồm vật liệu của mẫu (kim loại, phi kim loại, trong suốt/mờ, dẫn điện/cách điện), kích thước (cho dù nó phù hợp với bảng mẫu), trạng thái bề mặt (mịn/thô, khô/ẩm).