Máy làm sạch PlasmaKiểm tra hiệu quả làm sạch, cốt lõi là để xác minh mức độ loại bỏ chất gây ô nhiễm bề mặt và hiệu quả nâng hoạt động bề mặt, các phương pháp phổ biến có thể được chia thành phương pháp kiểm tra vật lý và phương pháp kiểm tra hóa học hai loại, hoạt động đơn giản và thực tế mạnh mẽ, các bước cụ thể như sau:
B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)
1. Phương pháp đo góc tiếp xúc
Đây là phương pháp cốt lõi để phát hiện sự thay đổi hydrophilic/hydrophobic của bề mặt, làm sạch plasma sẽ loại bỏ các vết dầu trên bề mặt, tăng các nhóm hoạt động và để cho các tiếp xúc giảm đáng kể.
Công cụ chuẩn bị: Dụng cụ đo góc tiếp xúc, nước khử ion (hoặc chất lỏng thử được chỉ định).
Các bước hoạt động:
Trước khi làm sạch: lấy mẫu để đo, thả 1~2μL nước khử ion trên bề mặt, đo tiếp xúc bằng dụng cụ và ghi lại giá trị.
Sau khi làm sạch: đo giọt trong cùng một khu vực (hoặc liền kề với cùng một khu vực vật liệu) của mẫu bằng cùng một phương pháp.
Tiêu chuẩn đánh giá: giảm đáng kể tiếp xúc sau khi rửa (chẳng hạn như giảm từ trên 80 ° xuống dưới 30 °), cho thấy hiệu quả làm sạch tốt; Nếu giá trị thay đổi nhỏ, có thể là tham số làm sạch không đủ hoặc còn dư.
2. Phương pháp quan sát trực quan/kính hiển vi
Thích hợp cho các mẫu có hạt rõ ràng, vết bẩn, nhanh chóng đánh giá độ sạch bề mặt.
Công cụ chuẩn bị: mắt thường, kính hiển vi quang học (hoặc kính hiển vi cơ thể).
Các bước hoạt động:
Trước và sau khi rửa, hãy quan sát bề mặt của mẫu trong cùng một điều kiện ánh sáng.
Đối với các vết bẩn nhỏ, phóng to 50~200 lần bằng kính hiển vi để quan sát số lượng hạt, thay đổi diện tích vết bẩn.
Tiêu chuẩn đánh giá: không có hạt có thể nhìn thấy, vết dầu, vết nước trên bề mặt sau khi rửa, số lượng tạp chất dưới kính hiển vi giảm đáng kể, đó là làm sạch đủ tiêu chuẩn.
B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)
1. Phương pháp kiểm tra năng lượng bề mặt (dựa trên phương pháp đánh dấu mực, phiên bản đơn giản)
Sử dụng mực thử nghiệm với năng lượng bề mặt khác nhau để đánh giá hoạt động bề mặt của mẫu, phản ánh gián tiếp hiệu quả làm sạch.
Công cụ chuẩn bị: Bề mặt hoàn chỉnh có thể kiểm tra mực (chẳng hạn như loạt 30~70 mN/m).
Các bước hoạt động:
Sau khi rửa, dùng tăm bông chấm mực năng lượng bề mặt thấp vạch thẳng lên bề mặt mẫu.
Nếu đường mực liên tục không co lại, có nghĩa là bề mặt mẫu có thể ≥ bề mặt mực này có thể; Nếu co rút thành bọt nước hoặc đứt dây, chứng tỏ bề mặt có thể không đủ, sạch sẽ không triệt để.
Tiêu chuẩn tham khảo: Sau khi rửa công nghiệp, bề mặt mẫu có thể đạt trên 38 mN/m.
B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)
Thích hợp cho các tình huống có yêu cầu rất cao về độ sạch (ví dụ: chất bán dẫn, linh kiện điện tử chính xác), lượng dư lượng chất gây ô nhiễm.
Công cụ chuẩn bị: cân phân tích (chính xác 0,01mg), lò sấy.
Các bước hoạt động:
Trước khi làm sạch, mẫu được đưa vào lò sấy để sấy khô đến trọng lượng không đổi, cân bằng cân phân tích và ghi lại m1.
Sau khi plasma được làm sạch, nó cũng được sấy khô đến trọng lượng không đổi, trọng lượng được ghi lại m2.
Tiêu chuẩn đánh giá: tính chênh lệch trọng lượng Δm=m1 - m2, Δm càng lớn thì càng loại bỏ nhiều chất gây ô nhiễm; Nếu Δm gần bằng 0, cần điều chỉnh công suất làm sạch, thời gian và các thông số khác.
III. Lưu ý
kiểm traMáy làm sạch PlasmaCần tiến hành trong thời gian ngắn sau khi làm sạch (khuyến nghị trong vòng 30 phút), tránh bề mặt mẫu hấp thụ các chất ô nhiễm trong không khí, ảnh hưởng đến kết quả.
Khi thử nghiệm so sánh, cần đảm bảo rằng môi trường thử nghiệm, vị trí và phương pháp của mẫu trước và sau khi làm sạch phù hợp, giảm lỗi.
Các mẫu vật liệu khác nhau (như kim loại, nhựa, thủy tinh) cần chọn phương pháp phát hiện phù hợp, chẳng hạn như mẫu nhựa được ưu tiên sử dụng phương pháp góc tiếp xúc, các bộ phận kim loại có thể được quan sát bằng kính hiển vi.