[Động lực công nghiệp lưới dụng cụ hóa học] Giao thoa đo laser đề cập đến phương pháp đo lường chính xác bằng cách sử dụng laser làm nguồn sáng, bước sóng laser hoặc tần số laser làm cơ sở, sử dụng nguyên lý giao thoa của ánh sáng, có ưu điểm là đo không tiếp xúc, độ nhạy cao và độ cao. Dụng cụ giao thoa laser thường được sử dụng để đo độ dịch chuyển, chiều dài, góc, cơ sở bề mặt, thay đổi chỉ số khúc xạ của môi trường và các phép đo khác, giao thoa kế thường được sử dụng là giao thoa kế Michelson, giao thoa kế Mach-Zedd, giao thoa kế Fisso, giao thoa kế Taiman-Green và các giao thoa kế laser khác là một trong những phương tiện hiệu quả để thực hiện đo lường siêu chính xác và đo lường quy mô vi na, trong nhiều lĩnh vực có vai trò cực kỳ quan trọng. Gần đây, với sự hỗ trợ của dự án "Thiết bị sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn và bộ quy trình hoàn chỉnh" và các dự án khác, dự án "Công nghệ và dụng cụ giao thoa laser độ phân giải cao đa trục đo tốc độ cao" do Đại học Thanh Hoa thuê giáo sư và giám đốc Ủy ban học thuật của Khoa dụng cụ chính xác Li Yan Nhóm nghiên cứu đã hoàn thành, phá vỡ một loạt các nút thắt công nghệ quan trọng và hình thành các phương pháp, hệ thống và dụng cụ đo lường mới. Theo Giám đốc Lee, dự án đã đạt được tốc độ cao, phạm vi lớn đa trục và hệ thống giao thoa đo laser có độ phân giải cao được phát triển bởi toàn bộ chuỗi tự nghiên cứu và phát triển từ cụm giao thoa kế, giải điều chế phát hiện tín hiệu đến thiết kế chương trình phát hiện đa độ tự do. Hiện nay, hệ thống giao thoa kế laser tần số kép được phát triển bởi nhóm dự án này đã được áp dụng cho quá trình nghiên cứu và phát triển của máy in thạch bản tự nghiên cứu của Trung Quốc, tích lũy hơn 50 bộ. Kết quả nghiên cứu này đáp ứng nhu cầu đo lường chính xác của nguyên mẫu bàn máy photocopy, giảm sự phụ thuộc vào giao thoa kế nước ngoài, giảm rủi ro nghiên cứu và phát triển do hạn chế xuất khẩu của sản phẩm sang Trung Quốc và đóng vai trò tích cực trong việc đảm bảo việc thực hiện trơn tru nghiên cứu và phát triển bàn máy photocopy ở Trung Quốc. Ngoài ra, dự án phát triển giao thoa kế ngoại sai có độ phân giải subnanomet, cũng được áp dụng trong nghiên cứu kiểm tra tỷ lệ của nghiên cứu và phát triển hệ thống đo lường đa chiều laser. Giao thoa kế ngoại sai có thể theo dõi độ phân giải subnanomet có thể tìm ra nguyên nhân gây ra lỗi phi tuyến tính của hệ thống đo lường đa chiều laser và được điều chỉnh bằng mạch đặc biệt, cải thiện hiệu suất của hệ thống đo lường đa chiều laser của các đơn vị liên quan. Phương pháp mới của nhóm phát triển về giao thoa có thể truy xuất nguồn gốc đã góp phần vào việc định nghĩa lại các đơn vị Moore bằng hằng số Avogadro. Điều đáng nói là trong quá khứ, Trung Quốc không nắm vững công nghệ cốt lõi của việc nghiên cứu và phát triển thiết bị giao thoa đo laser, nhưng thành công của dự án đã phá vỡ các hạn chế và độc quyền của nước ngoài đối với thiết bị giao thoa đo laser của Trung Quốc, làm phong phú thêm lý thuyết và công nghệ giao thoa đo laser của Trung Quốc, có nghĩa là sau này nghiên cứu và phát triển thiết bị và dụng cụ của Trung Quốc sẽ có hiệu suất ổn định và không phải tuân theo khả năng đo lường và tìm nguồn của nước ngoài. Tóm lại, kết quả nghiên cứu có những lợi ích kỹ thuật, kinh tế và xã hội rất quan trọng. Công nghệ giao thoa laser là một cách quan trọng để đảm bảo các phép đo nano có thể truy xuất nguồn gốc và cũng là công nghệ thử nghiệm đo lường quan trọng thúc đẩy Trung Quốc tiến tới một cường quốc về đo lường và sản xuất. Tôi tin rằng với đội ngũ R&D tiếp tục nghiên cứu sâu, công nghệ giao thoa đo laser của Trung Quốc sẽ tiếp tục tiến bộ, mang lại nhiều lợi ích hơn cho đất nước chúng ta.