Máy cân bằng keo là wafer bán dẫn, ống kính quang học, cảm biến chính xác và các thiết bị khác trong quá trình chuẩn bị, để nhận ra thiết bị cốt lõi của lớp phủ màng có độ chính xác cao, dựa trên nguyên lý lực ly tâm quay, sơn photoxelate lỏng hoặc lớp phủ chức năng đều trên bề mặt tấm cơ sở, ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất và tỷ lệ tốt của thiết bị.

I. Nguyên tắc làm việc và cấu trúc cốt lõi của máy cân bằng keo

Quá trình làm việc của máy cân bằng keo được chia thành bốn giai đoạn nhỏ giọt, xoay tốc độ thấp, xoay tốc độ cao và thu hồi keo. Giai đoạn nhỏ giọt sẽ nhỏ giọt keo định lượng vào trung tâm của viên cơ sở; Xoay tốc độ thấp làm cho chất lỏng keo trải đều trên bề mặt của tấm cơ sở, tránh bắn keo khi xoay tốc độ cao; Giai đoạn quay tốc độ cao dựa vào lực ly tâm, để chất lỏng keo trên bề mặt tấm cơ sở tạo thành một bộ phim có độ dày đồng đều và tính nhất quán cao, độ dày của bộ phim và tốc độ quay có liên quan tiêu cực; Cuối cùng, chất lỏng keo dư thừa được ném vào thiết bị phục hồi, hoàn thành quá trình phủ.

Cấu trúc cốt lõi của nó bao gồm ba mô-đun lớn: một là mâm cặp xoay, chịu trách nhiệm hấp thụ chân không để cố định các kích thước khác nhau của tấm cơ sở, đảm bảo sự ổn định quay; Thứ hai, hệ thống điều khiển tốc độ, điều chỉnh chính xác gia tốc quay và tốc độ quay, đáp ứng nhu cầu công nghệ của chất lỏng keo khác nhau và độ dày màng khác nhau; Ba là, hệ thống thoát khí và hệ thống thoát khí, hệ thống thoát khí có thể ngăn ngừa ô nhiễm keo bắn tung tóe, hệ thống thoát khí kịp thời thải ra dung môi hữu cơ bay hơi keo, đảm bảo an toàn cho môi trường vận hành.

Thứ hai, ảnh hưởng của các thông số kỹ thuật quan trọng đến hiệu ứng phủ

1. Tốc độ quay và thời gian: Đây là thông số cốt lõi quyết định độ dày của bộ phim. Tốc độ quay càng cao, thời gian càng dài, màng mỏng hơn, độ đồng đều độ dày càng tốt. Ví dụ, trong quá trình in thạch bản bán dẫn, độ dày của màng thạch bản đòi hỏi độ chính xác đến mức nano và đường cong tốc độ quay nhiều đoạn cần được lập trình.

2. Độ nhớt của chất lỏng keo và lượng nhỏ giọt: chất lỏng keo có độ nhớt cao cần tốc độ quay cao hơn để đạt được độ dày mục tiêu, lượng nhỏ giọt cần đảm bảo có thể che phủ toàn diện bề mặt của tấm cơ sở, quá ít dễ bị phủ mù, quá nhiều sẽ làm tăng tổn thất và chi phí tái chế.

3. Nhiệt độ môi trường và độ ẩm: nhiệt độ ảnh hưởng đến độ nhớt của chất lỏng keo và tốc độ bay hơi của dung môi. Độ ẩm cao dễ dẫn đến khuyết tật lỗ kim trên bề mặt chất lỏng keo. Vì vậy, hoạt động keo đồng đều cần được thực hiện trong xưởng sạch với nhiệt độ không đổi và độ ẩm.

III. Thông số kỹ thuật vận hành và bảo trì tiêu chuẩn của máy cân bằng keo

(1) Quy trình hoạt động

1. Tiền xử lý tấm cơ sở: sử dụng vải không bụi để nhúng ethanol khan hoặc acetone, lau bụi và dầu bẩn trên bề mặt tấm cơ sở, tránh tạp chất ảnh hưởng đến độ phẳng của màng;

2. Thiết bị bắt đầu và hiệu chuẩn: bật nguồn máy cân bằng keo, làm nóng khoang trước, kiểm tra độ ổn định quay của chuck thông qua chương trình hiệu chuẩn, đảm bảo lỗi tốc độ quay trong phạm vi ± 1 vòng/phút;

3. Kẹp gắn tấm cơ sở với keo nhỏ giọt: đặt miếng cơ sở sau khi xử lý trước ở trung tâm của chuck, bắt đầu chức năng hấp phụ chân không, sử dụng súng pipet để nhỏ giọt keo định lượng ở vị trí trung tâm của tấm cơ sở;

4. Thực hiện quy trình cân bằng keo: gọi tốc độ quay định sẵn - quy trình thời gian, bắt đầu quy trình cân bằng keo, trong quá trình quan sát xem khoang có rò rỉ keo hay không;

5. Sau khi xử lý: sau khi kết thúc chương trình, đóng hút chân không hấp thụ, sử dụng nhíp để loại bỏ các mảnh cơ sở, kịp thời làm sạch chuck và chất lỏng keo còn sót lại của khoang.

(2) Các yếu tố bảo trì hàng ngày

1. Làm sạch định kỳ: sau mỗi lần sử dụng, lau mâm cặp và tường bên trong khoang bằng vải không bụi, tháo mâm cặp hàng tuần để làm sạch sâu, ngăn ngừa sự chữa lành của chất lỏng keo dư ảnh hưởng đến các hoạt động tiếp theo;

2. Bảo trì thành phần: Kiểm tra độ kín của hệ thống hút chân không hàng tháng, thay thế kịp thời vòng đệm lão hóa; Thường xuyên bôi trơn vòng bi động cơ quay để kéo dài tuổi thọ của thiết bị;

3. Hiệu chuẩn thông số: Sử dụng đồng hồ đo tốc độ chuyên nghiệp để hiệu chỉnh các thông số tốc độ quay mỗi quý để đảm bảo sự ổn định của quy trình. Dữ liệu hiệu chuẩn cần được ghi lại để lưu trữ.

IV. Mở rộng ứng dụng của máy cân bằng keo trong lĩnh vực sản xuất chính xác

Ngoài quá trình in thạch bản wafer bán dẫn, máy cân bằng keo cũng được sử dụng rộng rãi trong chuẩn bị phim quang học, chẳng hạn như phủ lớp phủ chống phản xạ trên tấm nền thủy tinh; Trong sản xuất thiết bị MEMS, lớp phủ hy sinh và lớp chức năng; Trong lĩnh vực điện tử linh hoạt, lớp phủ dẫn điện được phủ cho chất nền linh hoạt, với độ chính xác cao và lợi thế phủ nhất quán cao, nó trở thành thiết bị quan trọng trong lĩnh vực sản xuất chính xác.