Lớp phủ chân không (bao gồmPVDVật lý khí trầm tích,CVDKhí hóa học lắng đọng,ALDNguyên tử lớp lắng đọng, vv) là lĩnh vực kết hợp cốt lõi của công nghệ chân không và khoa học vật liệu,Van chân không như hệ thống chân không “Lõi điều khiển lưu lượng và cách ly”, ảnh hưởng trực tiếp đến sự ổn định chân không của quá trình mạ, độ tinh khiết của lớp màng, hiệu quả sản xuất và tuổi thọ thiết bị. Sau đây bắt đầu từ toàn bộ quá trình của quá trình mạ, giải nén chi tiết các kịch bản ứng dụng van chân không, yêu cầu lựa chọn và cấu hình điển hình, phù hợp chính xác với nhu cầu thực tế của ngành:

I. Yêu cầu kỹ thuật cốt lõi của ngành công nghiệp sơn chân không cho van chân không

Lớp phủ chân không cần phải được 高真空（10⁻³~10⁻⁵ Pa）/超高真空（10⁻⁶~10⁻⁹ Pa） Tiến hành trong môi trường, và các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết của khí, ô nhiễm hạt, khả năng tương thích nhiệt độ, vì vậy van cần đáp ứng:

1.Hiệu suất niêm phong tuyệt vời: Tỷ lệ rò rỉ≤10⁻ ² Pa・m³ / giây(Khung cảnh siêu cao cần≤10⁻¹⁵ Pa・m³ / giây), để tránh sự xâm nhập của không khí, hơi nước dẫn đến oxy hóa lớp màng, xen kẽ;

2.Giảm khí thấp và độ sạch cao: Vật liệu thân van cần áp suất hơi thấp (ví dụ:Số 316LThiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (Viton), Cao su toàn phần.Kalrez) Hoặc niêm phong kim loại, giảm lượng khí thải của chính nó.H₂O、CO₂c) Khối lượng sản xuất hạt≤1Hạt/ m³(Kích thước hạt≥ 0,1 μm）；

3.Độ chính xác điều chỉnh dòng chảy1- Tên đề tài: Giải pháp nâng cao hiệu quả đầu tư phát triển kết cấu hạ tầng thương mại (CHệ thống bơm khí (thườngC = 100 ~ 1000 L / s）；

4.Nhiệt độ và khả năng chống ăn mònThiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (≤400℃PhầnALDCông nghệ đạt800℃), và có thể chịu được các ion phún xạ, khí phản ứng (nhưCF₄、O₂、NH₃) ăn mòn;

5.Độ tin cậy cao và tuổi thọ dài: Đáp ứng nhu cầu hoạt động liên tục của dây chuyền sản xuất, chuyển đổi cuộc sống≥10⁶Thứ cấp (van cách ly chân không), điều chỉnh tuổi thọ≥10⁴Thứ hai (van điều khiển lưu lượng).

Thứ hai, sơn chân không tất cả các dòng chảy của van ứng dụng kịch bản và lựa chọn loại

1. Hệ thống hút chân không liên kết với buồng cách ly

⑴Vai trò cốt lõi: Thực hiện chuyển đổi bơm của buồng tráng từ áp suất khí quyển đến chân không mục tiêu và bảo vệ cách ly buồng khỏi hệ thống bơm.

⑵Loại van điển hình:

LVan chân không (van cổng): Đối với buồng tráng và bơm phân tử/Kích hoạt bàn phím ảo (C ≥ 500 L / giây), niêm phong đáng tin cậy, mô hình đề nghị:Pfeiffer DUO 65 M(Loại chân không siêu cao, niêm phong kim loại, tỷ lệ rò rỉ≤10⁻ ³ Pa・m³ / giây）、CKD KVloạt (ổ đĩa khí nén, thích hợp cho cách ly nhanh);

LVan bướm: Thích hợp với bơm thô/Liên kết Pre-Draw (giảm từ áp suất khí quyển xuống)10⁻³ Pa() Kết cấu chặt chẽ, tốc độ công tắc nhanh.≤1B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)DVM của Buschloạt), để tránh ô nhiễm dầu ô nhiễm buồng;

LVan chân không siêu cao: Đối vớiALD, Độ chính xác caoPVDCác kịch bản chân không siêu cao, sử dụng niêm phong chất lỏng từ tính hoặc niêm phong ống lượn sóng kim loại, đảm bảo không rò rỉ, ứng dụng điển hình: đường ống kết nối giữa buồng và bơm ion.

2. Liên kết kiểm soát khí quá trình

⑴Vai trò cốt lõimạc đường ruột muqueuses digestives (CVD() Khí bắn tung tóe.PVD), lượng khí nạp vào và tỷ lệ, ảnh hưởng trực tiếp đến thành phần lớp màng, tính đồng nhất độ dày.

⑵Loại van điển hình:

LHệ Trung cấp (MFC) Van phù hợp：MFCVan kim hoặc van bi tích hợp, cần có khả năng điều chỉnh lưu lượng chính xác cao (độ lặp lại)≤ ± 0,5% FS), Khả năng chống ăn mòn mạnh, phù hợp với khí:Ar、N₂、O₂、CF₄、SiH4Đợi đã, giới thiệu thương hiệu:MKS 1179ABộ sưu tập,Thiết bị Horiba STEC SEC-Z500Bộ sưu tập;

LVan màng khí nén: Đối với công tắc đường chính khí phản ứng, sử dụng con dấu chống ăn mòn (chẳng hạn như ghế Hastelloy), tránh thất bại niêm phong do ăn mòn khí, phù hợpCVDmạch khí ăn mòn của quá trình;

LVan góc ngồi: Chuyển đổi nhanh chóng phù hợp với khí phún xạ, thời gian đáp ứng≤50ms, để đảm bảo áp suất khí ổn định trong quá trình mạ.

3. Liên kết kết nối buồng mạ và hệ thống truyền tải

⑴Vai trò cốt lõi: Thực hiện wafer/mạc đường ruột muqueuses digestives (Khóa tải) Sự cô lập và chuyển đổi kênh truyền tải giữa khoang mạ và cần không có ô nhiễm hạt.

⑵Loại van điển hình:

LVan cách ly chân không (ống chỉ): Thông qua cấu trúc niêm phong loại pan, không có hạt ma sát được tạo ra, mô hình khuyến nghị:Sản phẩm SMC XLGPhòng sạch (Clean room)Lớp 1Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (Nor-Cal AVSeries (con dấu kim loại, tương thích chân không siêu cao);

LVan chân không Baffle nhanh: Đối vớiKhóa tảiKhí quyển của buồng/Chuyển đổi chân không, thời gian bơm≤30Giây (từ áp suất khí quyển đến10⁻³ Pa), với cảm biến áp suất để đạt được điều khiển tự động, nâng cao hiệu quả sản xuất.

4. Liên kết xử lý khí thải và hệ thống phụ trợ

⑴Vai trò cốt lõi: khí thải độc hại và có hại được tạo ra trong quá trình phủ (nhưCl₂、HF, hơi kim loại) An toàn dẫn đến thiết bị xử lý, tránh ô nhiễm rò rỉ.

⑵Loại van điển hình:

LVan chân không chống ăn mòn: Thân van được làm bằng Hastelloy, Monel, cao su perfluorous được chọn cho con dấu, mô hình khuyến nghị:Sản phẩm Swagelok SS-6P4loạt (van kim, phù hợp với khí ăn mòn),CV của CeleritySeries (van bi, chịu nhiệt độ≤200℃）；

LVan an toàn/Van giảm áp: Để bảo vệ quá tải áp suất buồng, đặt độ chính xác áp suất ±5%Để tránh hư hỏng buồng do đột biến áp suất, nên chọn cấu trúc lò xo (chẳng hạn nhưPfeiffer PR 400）。

III. Sự khác biệt trong cấu hình van của quá trình mạ khác nhau

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

1.Xu hướng cavitation trung thực cực cao: VớiALD, Độ chính xác caoPVDThiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (≤10⁻¹⁵ Pa・m³ / giây) tỷ lệ ứng dụng nâng, ưu tiên con dấu kim loại (chẳng hạn như miếng đồng, miếng niken) để thay thế con dấu cao su;

2.Tích hợp thông minh: Van cần tích hợp cảm biến vị trí, mô-đun phản hồi áp suất, hỗ trợHệ thống PLCKiểm soát liên kết để đạt được độ chân không-lưu lượng-Điều chỉnh vòng kín của trạng thái van, phù hợp với dây chuyền sản xuất tự động;

3.Yêu cầu tùy chỉnh: Đối với lớp phủ nhiệt độ cao (ví dụ:)400℃), cần chọn van chịu nhiệt độ cao (nhưInconelThân van, niêm phong ống thổi kim loại), tránh lão hóa niêm phong;

4.Kiểm soát chi phí: Thiết bị phủ dân dụng có thể lựa chọn van niêm phong cao su với tỷ lệ giá cao hơn (ví dụ: cao su flo), thiết bị phủ lớp bán dẫn cần ưu tiên đảm bảo độ sạch và khả năng chống ăn mòn, chọn con dấu kim loại hoặc van niêm phong cao su flo.

Nếu cần thiết cho quá trình sơn cụ thể (chẳng hạn như một mô hình)PVDThiết bị,ALDBuồng) hoặc phương tiện truyền thông (chẳng hạn như khí ăn mòn cụ thể) đề nghị mô hình van và cấu hình thương hiệu, có thể bổ sung các yêu cầu, sẽ cung cấp các giải pháp kỹ thuật chính xác hơn!

Hàng Châu Domjing Công nghệ Công ty TNHHTập trung vào việc cung cấp các dịch vụ và giải pháp kỹ thuật liên quan đến lưu lượng, áp suất, phát hiện chân không và kiểm soát cho khách hàng công nghiệp và nghiên cứu khoa học, công ty đại lý phân phối tại Hoa KỳALICAT、 Thụy Sĩ Vogtlin, Mỹ MKS, Nhật Bản EBARA và các thương hiệu khác, kết hợp với các sản phẩm của đại lý để cung cấp cho khách hàng các giải pháp giám sát lưu lượng và áp suất chất lượng cao, nhằm nâng cao hiệu quả nghiên cứu và sản xuất của khách hàng, cải thiện quy trình sản xuất của khách hàng, thúc đẩy tiến độ nghiên cứu và đổi mới của khách hàng.