I. Nhu cầu cốt lõi của van chân không trong ngành công nghiệp bán dẫn

Quá trình sản xuất chất bán dẫn cần超高真空（UHV), Độ sạch cao, không ô nhiễm hạtmôi trường vô cơ", [13; 14]. “Công tắc&Điều chỉnh”Cần đáp ứng ba yêu cầu cốt lõi:①Hiệu suất niêm phong tốt (tỷ lệ rò rỉ)≤10⁻ ² Pa・m³ / giây), để tránh không khí, hơi nước và các tạp chất khác xâm nhập;②Vật liệu tương thích (không có ô nhiễm kim loại, tỷ lệ xả khí thấp), phù hợp với các vật liệu nhạy cảm như silica chip, photoxelate;③Tốc độ đáp ứng nhanh (chuyển đổi cấp mili giây), tuổi thọ dài (hơn một triệu chu kỳ), phù hợp với nhu cầu năng lực sản xuất cao của dây chuyền sản xuất chất bán dẫn.

Thứ hai, kịch bản ứng dụng chính và loại van

1. Liên kết công nghệ cốt lõi sản xuất wafer

⑴Quy trình in thạch bản: Buồng chân không của máy in thạch bản cần được duy trì10⁻⁶~10⁻⁹ PaChân không siêu cao, áp dụngSolenoid Drive Van góchoặcVan cổng kín chất lỏng từ, để đạt được sự cô lập chân không của buồng với nguồn sáng in thạch bản, bảng mặt nạ, đồng thời đảm bảo không có hạt rơi ra khi van được mở (sạch sẽ)Lớp 1cấp). Ngoài ra, van cần có chức năng điều chỉnh lưu lượng chính xác, phối hợp với hệ thống hút chân không để ổn định áp suất buồng, tránh biến dạng mô hình in thạch bản.

⑵Quá trình khắc (khắc khô): Buồng khắc plasma cần điều khiển khí phản ứng bằng van chân không (chẳng hạn nhưCF₄、O₂Nhập và xuất, thườngVan màng khí nénhoặcVan bi điện. Loại van này cần chống ăn mòn plasma (sử dụng bề mặt niêm phong gốm hoặc hastelloy), và chuyển đổi không gây ô nhiễm dầu, ngăn chặn phản ứng của khí phản ứng và dầu bẩn để tạo ra tạp chất, ảnh hưởng đến độ chính xác khắc.

⑶mạc đường ruột muqueuses digestives (PVD và CVD）Nguyên văn: Não tử khuyết căn cân (PVD), tọa độ&phương trình (CVDPhòng phản ứng, cầnVan chân không CartridgehoặcVan bướmThực hiện việc cách ly phòng và chuyển đổi chân không. Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (≥1000 L / giâyCác vật liệu đồng thời cần phải có độ phóng khí thấpSố 316LXử lý đánh bóng bằng thép không gỉ), tránh khí tự giải phóng ảnh hưởng đến độ tinh khiết của bộ phim.

2. Hệ Trung cấp (VTS）

Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (Khóa tải(Thực hiện, van chân không chịu trách nhiệm ở đây)“Cô lập khí quyển và chân không”Tác dụng then chốt:①Áp dụngVan chân không Baffle nhanhThực hiện.Khóa tảihút chân không nhanh của buồng (giảm từ áp suất khí quyển xuống10⁻³ PaChỉ cần30 giây);②giữa khoang truyền tải và khoang quá trìnhVan cách ly chân khôngCần có thiết kế tách hạt 0, tránh ô nhiễm bề mặt tinh thể;③Một số dây chuyền sản xuất được áp dụngVan niêm phong Maglev,Giảm mài mòn thông qua niêm phong không tiếp xúc và kéo dài tuổi thọ 200 Trên vạn lần.

3. Xử lý khí thải và hệ thống phụ trợ

Khí thải độc hại và có hại từ quá trình bán dẫn (chẳng hạn nhưCl₂、HF) Cần phải được dẫn vào thiết bị xử lý khí thải bằng van chân không, loại van này cần cóCấu trúc con dấu chống ăn mòn(chẳng hạn như con dấu Viton, cơ thể Monel) để ngăn chặn rò rỉ khí thải;

giữa hệ thống hút chân không (bơm phân tử, bơm khuếch tán) và khoang quá trìnhVan trướcCần có chức năng bảo vệ áp lực, tránh sự đột biến áp lực phòng làm hư hỏng cơ thể bơm.

III. Xu hướng công nghệ của van chân không trong ngành công nghiệp bán dẫn

1.Độ sạch cao và độ hạt thấp: Áp dụng thân van hàn bằng laser, công nghệ niêm phong không bôi trơn để kiểm soát lượng hạt bên trong van trong≤1Hạt/立方米（粒径≥ 0,1 μm）；

2.Thông minh và điều khiển từ xa: Tích hợp cảm biến áp suất, cảm biến vị trí, nhận ra tình trạng van theo dõi thời gian thực, cảnh báo lỗi, phù hợp với nhu cầu kiểm soát tự động của dây chuyền sản xuất chất bán dẫn;

3.Thu nhỏ và tích hợp: Đóng gói tiên tiến,Đèn LED MicroCác lĩnh vực chi tiết như phát triển van chân không nhỏ gọn, giảm không gian chiếm dụng của thiết bị;

4.Phù hợp với môi trường khắc nghiệt: Hướng tới3nm+Lĩnh vực thức ăn chăn nuôi: Nguyên liệu bổ sung thực phẩm vi chất trong chăn nuôi (≥400℃), tỷ lệ rò rỉ thấp hơn.≤10⁻¹⁵ Pa・m³ / giây), tọa độ&phương trình (ALD) Các công nghệ chính xác.

Hàng Châu Domjing Công nghệ Công ty TNHHTập trung vào việc cung cấp các dịch vụ và giải pháp kỹ thuật liên quan đến lưu lượng, áp suất, phát hiện chân không và kiểm soát cho khách hàng công nghiệp và nghiên cứu khoa học, công ty đại lý phân phối tại Hoa KỳALICAT、 Thụy Sĩ Vogtlin, Mỹ MKS, Nhật Bản EBARA và các thương hiệu khác, kết hợp với các sản phẩm của đại lý để cung cấp cho khách hàng các giải pháp giám sát lưu lượng và áp suất chất lượng cao, nhằm nâng cao hiệu quả nghiên cứu và sản xuất của khách hàng, cải thiện quy trình sản xuất của khách hàng, thúc đẩy tiến độ nghiên cứu và đổi mới của khách hàng.