Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, hệ thống chân không là quá trình cốt lõi như khắc wafer, lắng đọng màng, tiêm ion, v.v. “Nền tảng”——Sự ổn định áp suất của nó ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác chiều rộng dòng, tính đồng nhất của lớp màng và tỷ lệ tốt của chip. Máy đo chân không như một hệ thống chân không“Cảm nhận áp lực Core”Sai lệch lựa chọn có thể dẫn đến mất kiểm soát công nghệ, hỏng sản phẩm, thậm chí hư hỏng thiết bị.

Môi trường chân không của ngành công nghiệp bán dẫn có “Khoảng áp suất rộng, yêu cầu làm sạch cao, độ phức tạp của môi trường”Ba đặc điểm lớn, máy đo chân không loại thông dụng truyền thống thường khó thích hợp. Bài viết tập trungPhạm vi áp suất, độ chính xác, khả năng chống ô nhiễm Ba chỉ tiêu cốt lo@@ ̃i lớn, kết hợp với cảnh công nghệ bán dẫn để gỡ bỏ lô - gic chọn hình, giúp kỹ sư tránh được lỗi chọn hình, thực hiện kết hợp chính xác.

I. Phạm vi áp suất: phù hợp với quy trình đầy đủ, từ chối “Che phủ không đủ”hoặc“Dư thừa quá mức”

Nhu cầu chân không của quá trình bán dẫn là rất lớn, được xử lý từ wafer “Chân không thô”（10⁵~10² Pa) Đến công nghệ khắc“高真空”（10⁻¹~10⁻⁵ Pavà sau đó là màng mỏng.“超高真空”（10⁻⁶~10⁻¹⁰ Pa) Yêu cầu của các công đoạn khác nhau đối với các khu vực áp suất là hoàn toàn khác nhau. Cốt lõi của sự lựa chọn là“Phạm vi cần thiết cho quá trình bao phủ chính xác”Thay vì mù quáng theo đuổi.“Phạm vi đầy đủ”。

1. Phù hợp với khoảng áp suất theo kịch bản quá trình

2. Chọn loại tránh hố: tránh“Phạm vi sai lệch”

Hiểu lầm 1: Dùng “Máy đo chân không rộng”Bao gồm toàn bộ quá trình——Ví dụ, theo dõi khoảng chân không thô bằng máy đo chân không siêu cao, không chỉ giảm đáng kể độ chính xác của phép đo (lỗi có thể vượt quá)±50%() Còn có thể do lượng dư thừa dẫn đến tốc độ phản ứng chậm lại, không thể kịp thời nắm bắt được dao động áp suất.

Hiểu lầm 2: Máy đo chân không đơn bao gồm phần đa quá trình ——Dây chuyền sản xuất chất bán dẫn thường cần chuyển đổi các quy trình khác nhau, đề nghị áp dụng“Máy đo chân không composite”(Ví dụ: Capacitive+Kết hợp ion hóa), hoặc cấu hình máy đo chân không phù hợp với phạm vi riêng lẻ trong các phần quy trình khác nhau, đảm bảo giám sát áp suất dòng chảy chính xác.

Độ chính xác: Không chỉ xem “Giá trị tham số”Càng phải thích hợp với độ khoan dung sai số của công nghệ.

Quá trình bán dẫn đòi hỏi độ chính xác áp suất “Hà Nội”: Ví dụ3nmQuá trình khắc của quá trình sản xuất, biến động áp suất vượt quá± 0,1 PaĐiều này có thể dẫn đến độ sai lệch về chiều rộng đường, ảnh hưởng trực tiếp đến tính năng của chip. Nhưng máy đo chân không.“Độ chính xác”Không phải càng cao càng tốt, quan trọng là......“Phù hợp với quy trình lỗi khoan dung”Đồng thời chiếu cố“Độ lặp lại”và“Ổn định lâu dài”。

1. Kích thước đánh giá cốt lõi của độ chính xác

⑴Độ chính xác Absolute: đề cập đến độ lệch của giá trị đo so với áp suất thực (ví dụ: ± 0,5% FS(Áp dụng cho áp lựcGiá trị tuyệt đối Các quy trình đòi hỏi cao (chẳng hạn như hiệu chuẩn áp suất cho lắng đọng màng)。

⑵Độ chính xác tương đối: đề cập đến độ lệch đo khi áp suất thay đổi (ví dụ: ±0.1%đọc), thích hợp cho các quá trình đòi hỏi phải theo dõi biến động áp suất (chẳng hạn như kiểm soát áp suất động để khắc plasma).

⑶Ổn định lâu dài: Các thiết bị bán dẫn thường được yêu cầu7×24Hoạt động liên tục hàng giờ, độ trôi 0 của máy đo chân không cần được kiểm soát trong phạm vi cho phép của quá trình (khuyến nghị trôi hàng tháng không vượt quá)± 0,05% FS), nếu không sẽ dẫn đến sự trôi dạt của các thông số quy trình, làm tăng tần số hiệu chuẩn và chi phí ngừng hoạt động.

2. Chọn theo yêu cầu độ chính xác quá trình

⑴Yêu cầu độ chính xác cao (ví dụ:ALDHạt chia organic (: ChọnHoàn toànĐộ chính xác≤ ± 0,2% FSTrôi dạt lâu dài≤ ± 0,03% FSMáy đo chân không, ưu tiên mô hình với chức năng hiệu chuẩn tự động, giảm chi phí bảo trì nhân tạo.

⑵Yêu cầu độ chính xác thông thường (ví dụ: xử lý wafer, làm sạch): ChọnHoàn toànĐộ chính xác≤ ± 1% FSChân không kế là được, trọng điểm chú ý tỷ lệ tính giá và tốc độ hưởng ứng.

3. Dễ bị bỏ qua“Yếu tố ảnh hưởng chính xác”

⑴Rối loạn môi trườngThiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (Mạng EMCSản phẩm được chứng nhận (nếu phù hợp)Tiêu chuẩn IEC 61326tiêu chuẩn).

⑵Cách cài đặt: Vị trí lắp đặt máy đo chân không, chiều dài đường ống có thể dẫn đến tổn thất áp suất, khi chọn loại cần xác nhận xem sản phẩm có được hỗ trợ hay không “Đo từ xa”hoặc“Hiệu chuẩn đa điểm”Để chống lại độ chính xác do cài đặt mang lại.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3) “Đường sống”Tránh.“Một khi ô nhiễm là hỏng.”

Trong quá trình bán dẫn, dư lượng photoxelate, hơi kim loại, khí ăn mòn có thể tồn tại trong hệ thống chân không (ví dụ:Cl₂、F₂) Các chất gây ô nhiễm khác, có thể bám vào bề mặt cảm biến của máy đo chân không, gây ra sự trôi dạt đọc, phản ứng chậm và thậm chí làm hỏng cảm biến——Mà hệ thống chân không của thiết bị bán dẫn một khi ô nhiễm, chi phí làm sạch rất cao, còn có thể dẫn đến toàn bộ lô tinh thể hỏng. Do đó, khả năng chống ô nhiễm được lựa chọn bởi máy đo chân không bán dẫn“Các chỉ số ẩn chính”。

1. Tiêu chuẩn đánh giá cốt lõi về khả năng chống ô nhiễm

⑴Vật liệu cảm biến: Ưu tiên lựa chọn vật liệu cảm biến chống ăn mòn, chịu nhiệt độ cao như gốm sứ, sapphire, tránh sử dụng cảm biến kim loại (dễ bị ăn mòn bởi khí ăn mòn).

⑵Thiết kế kết cấu: Chọn “Cảm biến kín hoàn toàn”“Đầu dò loại có thể tháo rời”Máy hút chân không, tiện cho việc vệ sinh định kỳ; Tránh chọn thiết kế mở nơi cảm biến tiếp xúc với môi trường chân không.

⑶Khả năng chống ngưng tụ: Một số quy trình sẽ tạo ra hơi nước (chẳng hạn như làm khô wafer sau khi làm sạch), máy đo chân không cần phải có chức năng chống ngưng tụ để ngăn chặn sự kết tủa của cảm biến dẫn đến ngắn mạch hoặc biến dạng đọc.

2. Chọn theo loại chất gây ô nhiễm

3. Giá trị gia tăng của khả năng chống ô nhiễm: Giảm chi phí bảo trì

Chi phí ngừng hoạt động của thiết bị cho dây chuyền sản xuất chất bán dẫn rất cao (một số nhà máy wafer mất nhiều hơn mỗi giờ ngừng hoạt động) 10 B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)——Máy hút bụi thông thường có thể3 Mỗi tháng cần làm sạch một lần, trong khi các mô hình chống ô nhiễm có thể được kéo dài đến12 Tháng, gián tiếp nâng cao hiệu suất sản xuất.

Tổng kết chọn hình:3 Bước thực hiện khớp chính xác

1.Xác định ranh giới quy trình: Sắp xếp công đoạn mục tiêu trước “Phạm vi áp suất, yêu cầu độ chính xác, loại chất gây ô nhiễm”Tạo danh sách các yêu cầu lựa chọn (ví dụ: quá trình khắc plasma, phạm vi áp suất)10⁻ ² ~ 10 PaĐộ chính xác±0.1%Đọc, cần khángCl₂ăn mòn).

2.Kết hợp các chỉ số cốt lõi: Nhấn “Phạm vi áp suất bao gồm phạm vi quá trình→Độ chính xác phù hợp Lỗi khoan dung→Chống ô nhiễm đối phó với các chất ô nhiễm”Lọc theo thứ tự, ưu tiên chọn loại chuyên dụng của ngành bán dẫn (nếu phù hợp)Sản phẩm SEMI F40/F47sản phẩm tiêu chuẩn).

3.Xác minh các yêu cầu bổ sung: Xác nhận khả năng tương thích giao diện của máy đo chân không (chẳng hạn nhưCFPháp,KFmặt bích), phương pháp đầu ra tín hiệu (như4-20mA、Sản phẩm RS485(Có ủng hộ hay không)Hệ thống PLCKiểm soát liên kết để tránh khó cài đặt do giao diện không phù hợp.

Kết luận

Lựa chọn máy đo chân không bán dẫn, bản chất là “Sự phù hợp chính xác giữa yêu cầu quy trình và hiệu suất sản phẩm”——Phạm vi áp suất quyết định“Dùng được không?”Độ chính xác quyết định“Sử dụng chính xác”Chống ô nhiễm quyết định“Dùng lâu”Trong3nmVà các quy trình tuyệt vời sau đây trở thành chủ đạo ngày nay, độ lệch lựa chọn của máy đo chân không có thể được khuếch đại bởi quá trình, ảnh hưởng trực tiếp đến tỷ lệ chip tốt.

Đề nghị các kỹ sư trước khi lựa chọn loại, kết hợp các thông số cụ thể của quá trình riêng của họ (chẳng hạn như khoảng áp suất, thành phần chất gây ô nhiễm, yêu cầu độ chính xác) để giao tiếp với nhà cung cấp, nếu cần thiết, tiến hành kiểm tra mẫu nhỏ để đảm bảo rằng máy đo chân không không chỉ “Tuân thủ các thông số”Có thể hơn.“Phù hợp với cảnh”. Chỉ bằng cách chọn cặp máy đo chân không, bạn có thể xây dựng một nhà tù cho hoạt động ổn định của hệ thống chân không bán dẫn“Cảm nhận phòng tuyến”。

Hàng Châu Domjing Công nghệ Công ty TNHHTập trung vào việc cung cấp các dịch vụ và giải pháp kỹ thuật liên quan đến lưu lượng, áp suất, phát hiện chân không và kiểm soát cho khách hàng công nghiệp và nghiên cứu khoa học, công ty đại lý phân phối tại Hoa KỳALICAT、 Thụy Sĩ Vogtlin, Mỹ MKS, Nhật Bản EBARA và các thương hiệu khác, kết hợp với các sản phẩm của đại lý để cung cấp cho khách hàng các giải pháp giám sát lưu lượng và áp suất chất lượng cao, nhằm nâng cao hiệu quả nghiên cứu và sản xuất của khách hàng, cải thiện quy trình sản xuất của khách hàng, thúc đẩy tiến độ nghiên cứu và đổi mới của khách hàng.