Dưới đây là hướng dẫn bảo dưỡng chuyên nghiệp cho các hệ thống được sử dụng bởi AFM LaManchester, bao gồm bảo trì thành phần cốt lõi, kiểm soát môi trường và các biện pháp bảo vệ ổn định lâu dài:

I. Bảo trì tinh tế các thành phần cốt lõi

Chăm sóc máy quét

Bảo vệ chống rung: Do độ phân giải ổ đĩa hướng XY lên tới 0,01 nm và hướng Z lên tới 0,003 nm, cần phải trang bị bàn giảm xóc hoạt động để cách ly rung tần số thấp.

Bảo dưỡng gốm Piezo: bật nguồn mỗi tháng một lần khi sử dụng lâu dài để ngăn chặn sự thụ động của vật liệu Piezo; Tránh các cú sốc lực vượt quá phạm vi.

Quản lý hệ thống quang học

Làm sạch đường dẫn laser: mỗi quý lau kính quang phổ, gương bằng tăm bông không bụi nhúng ethanol có độ tinh khiết cao, loại bỏ biến dạng điểm do bụi gây ra.

Giám sát tình trạng vật kính: Nếu hình ảnh bị mờ cục bộ, hãy kiểm tra bề mặt ống kính để xem hơi ngưng tụ hoặc chất gây ô nhiễm có bám vào hay không.

II. Xây dựng hệ thống kiểm soát môi trường

Nhiệt độ và độ ẩm Điều chỉnh vòng kín

Biến động nhiệt độ trong phòng thí nghiệm phải được kiểm soát trong vòng ± 0,5 ℃, đề nghị cấu hình hệ thống điều hòa không khí đơn vị nén kép. Độ ẩm tương đối được duy trì ở 45%~60% RH, quá cao dễ gây ra sự kết tủa của đầu quét.

Tăng cường che chắn điện từ

Cấu trúc lồng Faraday hai lớp được nối đất để ngăn chặn nhiễu RF bên ngoài. Cáp nguồn được trang bị bộ lọc LC loại π để giảm nguy cơ khớp nối tiếng ồn.

Kiểm soát phân cấp độ sạch

Thiết lập phòng giảm xóc và duy trì độ sạch hàng vạn, nhân viên điều khiển mặc quần áo chống tĩnh điện và găng tay. ≥0,5μm nồng độ hạt lơ lửng trong hộp được phát hiện hàng tuần bằng cách sử dụng bộ đếm hạt.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Thông số kỹ thuật trình tự khởi động

Thực hiện theo thứ tự "Nguồn điện ổn định → Bộ điều khiển → Máy chủ máy tính" để khởi động, thời gian khởi động không ít hơn 30 phút để làm cho sự trôi dạt nhiệt ổn định.

Đầu dò Quản lý vòng đời đầy đủ

Chọn đầu dò tiêu chuẩn phù hợp với bán kính cong của đầu kim theo nhu cầu thí nghiệm; Thực hiện quy trình hiệu chuẩn tần số cộng hưởng sau khi lắp đặt kim mới; Thân kim thải được gửi vào các thùng chứa tái chế đặc biệt để tránh ô nhiễm chéo.

Thông qua việc thực hiện các chiến lược bảo trì hệ thống nêu trên, có thể nâng cao đáng kể độ tin cậy vận hành và tính lặp lại thu thập dữ liệu của hệ thống AFM-La Manchester. Chúng tôi khuyên bạn nên thiết lập một hệ thống nhật ký thiết bị hoàn chỉnh, liên tục theo dõi xu hướng thay đổi của các chỉ số hiệu suất khác nhau và đạt được các mục tiêu bảo trì phòng ngừa.