I. Chuẩn bị trước khi hoạt động

Tiền xử lý mẫu: đảm bảo mẫu khô, không có chất dễ bay hơi (tránh ô nhiễm ống kính), mẫu dẫn điện có thể được sử dụng trực tiếp, mẫu không dẫn điện cần phun vàng/phun carbon xử lý (ngăn ngừa tích lũy điện tích); Kích thước mẫu cần phù hợp với bàn mẫu để tránh vượt quá phạm vi chịu tải.

Kiểm tra dụng cụ: Quan sátKính hiển vi điện tử quét trườngCho dù nguồn điện, hệ thống chân không là bình thường, không có mẫu dư hoặc tạp chất trong ống kính, mức chất lỏng của hệ thống làm mát (chẳng hạn như nitơ lỏng) đáp ứng yêu cầu.

Thông số kỹ thuật an toàn: đeo găng tay bảo vệ (để tránh các mẫu/dụng cụ bị ô nhiễm dấu vân tay), nghiêm cấm mở súng điện tử khi chân không không đạt tiêu chuẩn, tránh xa cổng quan sát ống kính (để tránh bức xạ).

II. Các bước hoạt động cốt lõi

1. Tải mẫu

Mở cửa phòng mẫu, cố định mẫu đã xử lý trước trên bàn mẫu (đảm bảo lắp đặt chắc chắn và tránh di chuyển);

Đóng cửa phòng mẫu, khởi động hệ thống chân không và chờ cho đến khi độ chân không đạt yêu cầu của thiết bị (thường hiển thị "chân không sẵn sàng" chỉ báo sáng).

2. Khởi động súng điện tử với cài đặt tham số

Sau khi chân không đạt tiêu chuẩn, bật súng điện tử, chọn điện áp tăng tốc (theo loại mẫu điều chỉnh, nói chung 1-30kV, mẫu dẫn điện có thể có điện áp cao, mẫu không dẫn điện với điện áp thấp);

Thiết lập dòng điện phát ra (tuân theo phạm vi khuyến nghị của thiết bị và tránh làm hỏng mẫu hoặc thiết bị quá mức).

3. Quan sát và định vị mẫu

Điều chỉnh trục XYZ của bàn mẫu, tìm khu vực mục tiêu bằng kính hiển vi quang học hoặc hình ảnh điện tử cấp thấp;

Chuyển sang độ phóng đại thích hợp (điều chỉnh từng bước từ thấp đến cao, thấp để định vị và cao để quan sát chi tiết).

4. Điều chỉnh và thu thập hình ảnh

Điều chỉnh độ sáng, độ tương phản, làm cho hình ảnh rõ ràng (tránh quá sáng hoặc quá tối);

Chọn độ phân giải hình ảnh (điều chỉnh theo nhu cầu, độ phân giải cao phù hợp để phân tích chi tiết, độ phân giải thấp phù hợp để xem trước nhanh);

Nhấn nút "Thu thập" để lưu hình ảnh (định dạng JPG, TIFF, v.v. có thể được chọn).

5. Quy trình tắt máy

Tắt súng điện tử trước, giảm điện áp tăng tốc xuống 0;

Chờ cho đến khi hệ thống chân không được giải tỏa (không thể buộc mở cửa), lấy mẫu sau khi giải tỏa hoàn tất;

Tắt nguồn thiết bị, hệ thống làm mát, dọn dẹp bàn mẫu và khu vực hoạt động.

III. Lưu ý chính

Khi chân không không đạt tiêu chuẩn, nghiêm cấm mở súng điện tử hoặc mở cửa phòng mẫu, nếu không sẽ làm hỏng ống kính và súng điện tử;

Mẫu phải khô, không ăn mòn, tránh ô nhiễm hệ thống chân không hoặc bên trong ống kính;

Khi điều chỉnh độ phóng đại và bàn mẫu, hành động phải chậm, phòng ngừa mẫu va chạm với ống kính;

NếuKính hiển vi điện tử quét trườngXuất hiện hình ảnh mờ, phóng điện và các bất thường khác, ngay lập tức tắt súng điện tử, liên hệ với nhân viên kỹ thuật để kiểm tra, không thể tự tháo rời dụng cụ.