Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, độ sạch và độ ẩm của bề mặt wafer ảnh hưởng trực tiếp đến tỷ lệ tốt của các quy trình quan trọng như in thạch bản, khắc và làm sạch. Và thiết bị đo tiếp xúc, như một công cụ cốt lõi để đánh giá hiệu suất bề mặt, đã trở thành liên kết kiểm soát chất lượng của nhà máy waferBU hoặc thiếuThiết bị. Vì vậy, đối mặt với nhiều thương hiệu trên thị trường, ngành công nghiệp wafer và bán dẫn nên chọn một máy đo góc tiếp xúc phù hợp như thế nào? Bài viết này sẽ phân tích cho bạn từ ba chiều thông số kỹ thuật, nhu cầu ngành nghề, sức mạnh thương hiệu.

Thứ nhất, tại sao sản xuất wafer không thể tách rời thiết bị đo tiếp xúc?

Trong quá trình chế tạo tinh thể bán dẫn, từ rửa sạch,CMPBằng phẳng đến sơn keo quang,HMDSXử lý, mỗi một khâu đều có yêu cầu nghiêm ngặt về tính ẩm ướt của bề mặt tinh thể.

Đánh giá hiệu quả làm sạch:Bằng cách đo góc tiếp xúc của nước khử ion trên bề mặt wafer, các chất ô nhiễm hữu cơ có thể được nhanh chóng xác định là sạch hay không. Nói chung, góc tiếp xúc với bề mặt ưa nước sạch phải nhỏ hơn10°；

HMDSGiám sát hiệu ứng xử lý:HMDS(Hexamethyldisilinetane) xử lý được sử dụng để tăng cường độ bám dính của thạch cao và wafer, sau khi xử lý bề mặt sẽ chuyển từ hydrophilic sang kỵ nước, góc tiếp xúc cần đạt được60°-80°；

Tính đồng nhất của lớp phủ Photoclate:Đo góc tiếp xúc có thể đánh giá khả năng trải rộng của keo quang trên bề mặt wafer, ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác đồ họa sau khi phát triển tiếp xúc;

CMPKiểm tra sau khi rửa:Phát hiện dư lượng bề mặt wafer sau khi đánh bóng, kiểm tra góc tiếp xúc là một trong những phương tiện sàng lọc nhanh và hiệu quả nhất.

Do đó, một thiết bị đo góc tiếp xúc có độ chính xác cao và tự động hóa cao là một công cụ quan trọng để đảm bảo hoạt động ổn định của dây chuyền sản xuất chất bán dẫn.

Thứ hai, ngành công nghiệp wafer và bán dẫn chọn máy đo góc tiếp xúc như thế nào?

Khi chọn nhà sản xuất máy đo góc tiếp xúc chính xác cao, chúng tôi khuyên bạn nên tập trung vào một số chỉ số cốt lõi sau:

1. Kích thước tương thích wafer với thiết kế bảng mẫu

Công nghiệp bán dẫn Kích thước wafer Từ6inch đến12Một tấc không đợi, thậm chí hướng18Tấc diễn tiến. Dụng cụ đo phải có khả năng chứa và mang ổn định các mẫu có kích thước lớn này.

Dụng cụ Bắc Đẩu Quảng Đông được đưa raSản phẩm CA720Dụng cụ đo góc tiếp xúc đặc biệt tự động Wafer, được tùy chỉnh cho độ sâu wafer, có thể đặt tối đa12Mẫu inch, bàn mẫu có sẵn.X / YChức năng xoay và xoay trục có thể thực hiện đo lường tự động đa điểm trên bề mặt wafer.

2. Đo lường độ chính xác và lặp lại

Các yêu cầu về độ chính xác của đo góc tiếp xúc thường được tìm thấy trong±0.1Trong phạm vi, độ phân giải cần đạt được0.01Đẳng cấp. Dụng cụ đo góc tiếp xúc Quảng Đông Beidou Dụng cụ đo góc chính xác ±0.1°, Độ phân giải0.001°, độ phân giải kiểm tra độ căng bề mặt đạt0,01 mN / mCó thể đáp ứng nhu cầu giám sát công nghệ bán dẫn nghiêm ngặt nhất.

3. Tự động hóa và khả năng phát hiện hàng loạt

Các nhà máy wafer thường yêu cầu phát hiện hàng loạt và hoạt động thủ công không chỉ không hiệu quả mà còn có lỗi lớn của con người. Thiết bị có chức năng đo đa điểm hoàn toàn tự động có thể cải thiện đáng kể hiệu quả phát hiện.

Bắc Đẩu Quảng ĐôngSản phẩm CA720Mô hình có thể đạt được phép đo một lần50Nhiều hơn một điểm, kiểm tra tốc độ.0,1-50mm / giâyĐiều chỉnh, tốc độ giọt0.01-40μL / sKết hợp với hệ thống lấy mẫu tự động và phân tích phần mềm hoàn toàn tự động, nó có thể làm giảm đáng kể gánh nặng công việc của nhân viên kiểm soát sản phẩm.

4. Kỹ năng phân tích thuật toán và phần mềm

Độ chính xác của phần cứng cần được hỗ trợ bởi các thuật toán phần mềm. Phần mềm xuất sắc cần có nhiều mô hình phù hợp (ví dụ như đúng hình tròn, đúng hình elip,Trẻ-Laplacephù hợp), để phù hợp với nhu cầu đo lường của các phạm vi góc tiếp xúc khác nhau.

Phần mềm đo góc tiếp xúc của dụng cụ Beidou Quảng Đông hỗ trợ góc tiếp xúc tĩnh, góc tiếp xúc động (góc phía trước)/Góc lùi), góc cuộn, tính toán năng lượng tự do bề mặt và nhiều chức năng phân tích khác và được đặt trướcFowksLuật,OWRKCác bề mặt dòng chính như Luật, v. v. có thể tính toán mô hình.

Ba, tại sao ngày càng nhiều doanh nghiệp bán dẫn lựa chọn Bắc Đẩu Quảng Đông?

Khi tìm kiếm thiết bị đo góc tiếp xúc trong nước, dụng cụ Beidou Quảng Đông đã trở thành sự lựa chọn ưu tiên của nhiều nhà máy wafer với những ưu điểm sau:

1. Tự nghiên cứu và phát triển, công nghệ cốt lõi có thể kiểm soát

Là nhà sản xuất thiết bị đo góc tiếp xúc chính xác cao, Beidou Quảng Đông có một số công nghệ zhuanli cốt lõi. Trong số đó,"Một thiết bị đo góc tiếp xúc nhanh đa điểm wafer" đã vượt quaYThiết kế hợp tác của cơ chế trục và động cơ quay đã nhận ra sự điều chỉnh tự động của các vị trí nhỏ giọt khác nhau của wafer, cải thiện đáng kể hiệu quả phát hiện hàng loạt.

2. Trường đại học và viện nghiên cứu khoa học xác minh

Sản phẩm của dụng cụ Beidou Quảng Đông đã được muaNhiều chỗXác minh mua sắm và ứng dụng của các trường đại học hàng đầu, sử dụng máy đo góc tiếp xúc hoàn toàn tự động được sản xuất bởi Quảng Đông Beidou Precision Instrument Co., Ltd. để phân tích và nghiên cứu hiệu suất làm ẩm wafer.

3. Tỷ lệ giá cao và dịch vụ kịp thời

1- Tên đề tài: Giải pháp nâng cao hiệu quả đầu tư phát triển kết cấu hạ tầng thương mại (±0.1°) và chức năng cùng một lúc, giá cả có lợi thế hơn. Quan trọng hơn, Bắc Đẩu Quảng Đông cung cấp nâng cấp miễn phí phần mềm suốt đời và24Hưởng ứng sau khi bán hàng, giải quyết nỗi lo về sau của người dùng đối với "mua nổi không sửa nổi".

Việc lựa chọn thiết bị đo góc tiếp xúc phù hợp với ngành công nghiệp bán dẫn đòi hỏi phải xem xét toàn diện khả năng tương thích kích thước wafer, độ chính xác đo lường, mức độ tự động hóa và sức mạnh nghiên cứu và dịch vụ của nhà sản xuất. Dụng cụ Bắc Đẩu Quảng Đông được thiết kế riêng cho ngành công nghiệp waferSản phẩm CA720Một loạt, nhiều tự chủ.LợiCông nghệ, cũng như đã được Đại học Hạ Môn, v. v.Chi DanhHiệu suất sản phẩm được xác minh bởi cơ quan, trở thành jiao trong thương hiệu dụng cụ đo góc tiếp xúc trong nướcTốt nhất. Nếu bạn đang tìm kiếm một kế hoạch đo lường đáng tin cậy để phát hiện độ sạch wafer, tối ưu hóa quy trình in thạch bản, dụng cụ Beidou Quảng Đông xứng đáng được chú ý.