Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, nghiên cứu và phát triển màng quang học và phát hiện lớp phủ chính xác, đo chính xác độ dày màng và các thông số quang học là liên kết quan trọng để đảm bảo chất lượng và hiệu suất sản phẩm.Các thiết bị đo độ dày màng Thetametrisis (như dòng FR-Scanner) đã trở thành thiết bị tiêu chuẩn trong lĩnh vực này nhờ thiết kế mô-đun quang học tích hợp cao - mô-đun quang học của nó không chỉ chứa tất cả các thành phần quang học cốt lõi, mà còn đạt được một bước đột phá toàn diện về độ chính xác, ổn định và khả năng mở rộng chức năng thông qua sự phối hợp chính xác.

　　I. Thành phần cốt lõi của mô-đun quang học: Tích hợp các thành phần quang học liên kết đầy đủ

Mô-đun quang học của máy đo độ dày màng Thetametrisis là một "trung tâm quang học" tích hợp cao, tích hợp các thành phần quan trọng như quang phổ kế, nguồn sáng composite (tuổi thọ lên đến 10.000 giờ) và đầu dò phản xạ chính xác cao. Trong đó, máy quang phổ chịu trách nhiệm phân hủy ánh sáng phản xạ theo bước sóng và phân tích chính xác các đặc điểm phổ; Nguồn sáng composite cung cấp ánh sáng tới ổn định và bao phủ dải phổ rộng 370-1020nm, đảm bảo nhu cầu đo đa băng tần từ UV đến gần IR; Đầu dò phản xạ có độ chính xác cao nắm bắt chính xác tín hiệu ánh sáng phản xạ lại bề mặt mẫu, kích thước điểm của nó (chẳng hạn như tiêu chuẩn 350 μm, một số mô-đun có thể được thu nhỏ xuống<100 μm) có thể được điều chỉnh linh hoạt theo đặc tính mẫu. Các thành phần này được cố định với cơ học thông qua thiết kế đường dẫn quang chính xác, tránh lỗi đo do dịch chuyển hoặc rung của các thành phần quang học tách rời truyền thống, đặt nền tảng cho việc thu thập dữ liệu lặp lại cao.

　　B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

1. Độ chính xác và độ lặp lại của phép đo: tích hợp mô-đun quang học làm giảm tổn thất năng lượng và nhiễu tín hiệu trong truyền dẫn quang học. Ví dụ, tuổi thọ dài (10.000 giờ) của nguồn sáng hợp chất với đầu ra ổn định, kết hợp với độ phân giải cao của máy quang phổ, làm cho lỗi thu thập dữ liệu phản xạ cực kỳ nhỏ - vật liệu cho thấy, dữ liệu độ dày của 625 điểm đo của wafer 8 inch có thể được hoàn thành trong vòng 60 giây, và độ chính xác độ dày lên tới 1nm, ổn định 0,05nm, chỉ số khúc xạ đo độ dày tối thiểu chỉ cần 100nm.

2. Phân tích đồng bộ hóa đa thông số: Các mô-đun không chỉ hỗ trợ đo độ dày, mà còn đồng bộ hóa các hằng số quang học như chỉ số khúc xạ (n và k), màu sắc của màng và phản hồi tính đồng nhất của màng trong thời gian thực thông qua chức năng đo động, cung cấp hỗ trợ dữ liệu đa chiều cho nghiên cứu và phát triển vật liệu.

3. Mở rộng chức năng và khả năng tương thích: Thiết kế tích hợp dự trữ giao diện linh hoạt, có thể phù hợp với hơn 600 thông số vật liệu được lưu trữ trước, hỗ trợ phân tích ngoại tuyến và cập nhật phần mềm miễn phí, và cũng có thể mở rộng đến các phép đo mẫu đặc biệt hoặc wafer cực lớn thông qua các nền tảng tùy chỉnh như bảng mẫu kích thước lớn 450mm hoặc mô-đun quét X-Y.

　　III. Phạm vi phủ sóng rộng của cảnh ứng dụng

Từ quang khắc bán dẫn, màng nano có cấu trúc nhiều lớp điện môi, lớp phủ micron cho tấm silicon quang điện, bảng hiển thị tinh thể lỏng, đến kiểm tra chất lượng công nghiệp cho màng quang học, lớp phủ polymer, thiết kế tích hợp của mô-đun quang học Thetametrisis cho phép nó thích ứng với nhu cầu đo lường của vật liệu trong suốt, bán trong suốt và một phần mờ đục. Cho dù đó là nghiên cứu và phát triển chính xác trong phòng thí nghiệm hay kiểm tra chất lượng nhanh trên dây chuyền sản xuất, thiết bị này có thể cung cấp sự đảm bảo đáng tin cậy cho việc kiểm soát chất lượng phim bằng cách đo quang học "một cửa".

Mô-đun quang học của thiết bị đo độ dày màng Thetametrisis, với thiết kế tích hợp và chính xác cao, đã xác định lại các tiêu chuẩn kỹ thuật của đo màng và trở thành công cụ cốt lõi thúc đẩy sự tiến bộ trong lĩnh vực vật liệu nano và sản xuất chính xác.