Trong các kịch bản sản xuất có độ chính xác cao như gia công wafer bán dẫn, phát hiện nhịp đập trục chính của máy công cụ chính xác và giám sát biến dạng của các thành phần hàng không vũ trụ, độ chính xác của phép đo dịch chuyển trực tiếp xác định tỷ lệ tốt của sản phẩm và sự ổn định của thiết bị.Microsense là một thương hiệu cảm biến dịch chuyển điện dung, thông qua hai tuyến công nghệ thăm dò thụ động và chủ động, xây dựng một hệ thống đo lường toàn cảnh từ kích thước nano đến milimet, từ vị trí tĩnh đến theo dõi động, trở thành "tiêu chuẩn tàng hình" trong lĩnh vực sản xuất chính xác.

　　I. Đầu dò thụ động: "nền tảng" của ổn định tuyến tính

Đầu dò thụ động được đại diện bởi các dòng 48XX, 88XX và Mini, sử dụng nguyên tắc cảm ứng điện dung không tiếp xúc để đạt được đột phá kép về băng thông đo lường và độ ổn định bằng cách tối ưu hóa cấu trúc đầu dò và thiết kế vòng che chắn. Lợi thế cốt lõi của nó là:

　　1. Lỗi tuyến tính cực thấp:Thông qua vật liệu đầu dò Invar và quy trình hiệu chuẩn đặc biệt, độ tuyến tính được kiểm soát trong 0,025% phạm vi đầy đủ, loại bỏ lỗi định kỳ và hiện tượng trễ.

　　2. Khả năng đáp ứng tần số rộng:Hỗ trợ lựa chọn băng thông 1kHz đến 20kHz, đáp ứng nhu cầu năng động của các tình huống như phản hồi vị trí servo, servo công cụ nhanh (FTS), v.v.

　　3. Tăng cường khả năng thích ứng môi trường:Vỏ đầu dò gốm được thiết kế với lớp bảo vệ IP67, có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ từ -20 ℃ đến 85 ℃ và môi trường ẩm 95%, đạt được 72 giờ hoạt động ổn định liên tục trong giám sát biến dạng nhiệt của động cơ ô tô.

　　B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2)

Đối với các vấn đề đo lường của mục tiêu quay hoặc dao động tốc độ cao, mạch điều khiển tích hợp đầu dò chủ động 58XX, 68XX và thuật toán bù thông minh, phá vỡ rào cản độ phân giải nano:

　　1. Độ phân giải Subnano:Đầu dò loại 6810 ở băng thông 100kHz, có thể đạt được độ phân giải dịch chuyển 0,1nm, đặc biệt để phát hiện NRRO (không thể lặp lại) của động cơ trục chính đĩa cứng, trục chính mang không khí.

　　2. Thiết kế chống nhiễu thông minh:Thông qua vòng che chắn động và thuật toán lọc thích ứng, ức chế hiệu quả ảnh hưởng của nhiễu điện từ và độ nhám bề mặt mục tiêu. Trong phát hiện bề mặt wafer bán dẫn, độ chính xác lặp lại 0,05nm có thể được duy trì ngay cả khi đối mặt với những thay đổi kết cấu ở cấp độ nano.

　　3. Khả năng mở rộng mô-đun:Hỗ trợ cấu hình linh hoạt kênh đơn đến nhiều kênh (giá đỡ thẻ châu Âu 3U), dữ liệu dịch chuyển ba trục X/Y/Z có thể được thu thập đồng bộ.

　　B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3)

Giá trị kỹ thuật của đầu dò Microsense không chỉ được phản ánh trong một đột phá tham số duy nhất, mà còn trong sự kết hợp sâu sắc của nó với mạch đo và thuật toán phần mềm. Ví dụ, "công nghệ hiệu chuẩn động" của nó có thể bù thời gian thực cho sự trôi dạt nhiệt độ và rung động cơ học, cho phép cảm biến duy trì sự ổn định lâu dài trong điều kiện làm việc phức tạp; Giao diện API mở hỗ trợ kết nối liền mạch với các nền tảng như LabVIEW và MATLAB, đẩy nhanh quá trình chuyển đổi kết quả nghiên cứu khoa học sang ứng dụng công nghiệp.

Từ sản xuất chất bán dẫn cỡ nano đến phát hiện thành phần hàng không vũ trụ cỡ milimet, đầu dò cảm biến dịch chuyển điện dung Microsense được điều khiển bằng động cơ kép "ổn định thụ động+chính xác chủ động", xác định lại ranh giới của phép đo chính xác. Với sự bùng nổ nhu cầu sản xuất thông minh về độ chính xác dưới micron, hệ thống công nghệ này sẽ tiếp tục cho phép thay thế nội địa hóa các thiết bị cao cấp, trở thành sự hỗ trợ quan trọng cho Trung Quốc từ "cường quốc sản xuất" sang "cường quốc sản xuất thông minh".