Trong sản xuất chất bán dẫn, lớp phủ quang học, vật liệu năng lượng mới và các lĩnh vực công nghiệp chính xác khác, việc kiểm soát chính xác độ dày màng trực tiếp xác định hiệu suất sản phẩm.Công ty TNHH Dịch vụ Kỹ thuật Dụng cụ Đại Mỹ (Thượng Hải) dựa trên hơn hai mươi năm tích lũy công nghệ, xây dựng hệ thống đo độ dày màng mỏng bao gồm ba con đường kỹ thuật chính là tiếp xúc cơ học, giao thoa quang học và phản xạ quang phổ, cung cấp cho ngành công nghiệp các giải pháp toàn cảnh từ nghiên cứu và phát triển trong phòng thí nghiệm đến đo lường dây chuyền sản xuất.

　　1. Đo lường tiếp xúc cơ học: "cảm nhận xúc giác" về độ chính xác ở cấp độ nano

Đối với các cảnh như mạ kim loại, lớp phủ cứng, Đại Mỹ áp dụng máy dò bậc thang có độ chính xác cao. Thành phần cốt lõi của nó là đầu dò kim cương, ghi lại sự dao động ở mức micron của đầu dò trên bề mặt lớp màng thông qua cảm biến dịch chuyển dọc. Ví dụ, trong phép đo mạ vàng của khung dẫn bán dẫn, thiết bị với tốc độ quét 0,1mm/s, khoảng thời gian lấy mẫu 0,1μm, phối hợp với điều khiển lực tiếp xúc 0,1-10mN, có thể nắm bắt chính xác sự thay đổi bậc thang trong độ dày 50nm-10μm. Công nghệ này loại bỏ lỗi mài mòn đầu dò bằng hiệu chuẩn đa điểm, đạt được độ chính xác lặp lại ± 0,05 μm trong thử nghiệm mạ đầu nối điện tử ô tô.

　　2. Đo giao thoa quang học: "cuộc cách mạng trong suốt" trong giải mã sóng ánh sáng

Đối với các tầng màng trong suốt như kính quang học, kính lọc, v. v., Đại Mỹ triển khai tuyến đường kỹ thuật song song giữa máy giao thoa màu trắng và máy thiên vị elip. Giao thoa kế ánh sáng trắng sử dụng nguồn sáng dải rộng 200-1000nm để tính toán độ dày màng bằng cách phân tích các mẫu giao thoa ánh sáng phản xạ. Trong sản xuất ống kính điện thoại di động AR tráng, thiết bị được quét ở góc tới 75 °, kết hợp với mô hình Cauchy phù hợp, phép đo ma trận 5 × 5 điểm có thể được thực hiện trong 3 giây với giá trị CV đồng nhất ≤ 1,5%. Máy thiên vị Elliptical thông qua phân tích pha quang phân cực p/s, thu được chính xác chỉ số khúc xạ và độ dày của siêu phim 1-500nm, thực hiện kiểm soát mức ± 0,1nm trong việc chuẩn bị lớp phát sáng OLED.

　　3. Đo lường phản xạ quang phổ: "chìa khóa quang phổ" xuyên qua độ mờ đục

Đối với các vật liệu mờ như wafer silicon bán dẫn, keo quang dày, Daimei giới thiệu dòng máy phản xạ quang phổ FilmetricsF3-sX. Thiết bị sử dụng ánh sáng hồng ngoại gần 980-1550nm, phá vỡ cấu trúc bên trong của keo quang SU-8 dày 3mm bằng cách đo điều chế pha của phổ phản xạ. Trong phát hiện độ dày wafer 8 inch, điểm có đường kính 10μm có thể xuyên qua lớp màng không trong suốt, kết hợp với mô hình Tauc-Lorentz để hoàn thành bản đồ phân phối độ dày đầy đủ trong 0,5 giây với độ lệch lặp lại<0,3μm. Hệ thống chẩn đoán nhúng của nó cũng có thể theo dõi ứng suất màng trong thời gian thực, cung cấp hỗ trợ dữ liệu cho quá trình tối ưu hóa.

Từ "nhận thức xúc giác" của đầu dò tiếp xúc đến "phân tích xuyên thấu" của phản xạ quang phổ, thiết bị Daimei phá vỡ ranh giới đo bằng ma trận đa công nghệ. Thiết bị của nó không chỉ thông qua chứng nhận ISO17025, tích hợp sâu hơn vào vòng khép kín sản xuất hàng loạt của chất bán dẫn, quang điện, năng lượng mới và các ngành công nghiệp khác, sử dụng "ngôn ngữ độ dày" chính xác để viết một chương mới trong sản xuất chính xác của Trung Quốc.