ThetaMetrisis FR-Scanner là một công cụ đo lường máy tính để bàn nhỏ gọn, hoàn toàn tự động lập bản đồ độ dày của lớp phủ, cơ sở cho wafer, mặt nạ và các vật liệu khác.

FR-Scanner có thể đo nhanh và chính xác các đặc tính của màng, chẳng hạn như độ dày, hệ số khúc xạ, tính đồng nhất, màu sắc, v.v., hút chân không có thể được áp dụng cho bất kỳ mẫu có đường kính hoặc hình dạng khác.