Đơn vị này là viện nghiên cứu trực thuộc Học viện Khoa học Trung Quốc, là cơ quan nghiên cứu và phát triển quan trọng trong lĩnh vực khoa học và công nghệ vi điện tử và mạch tích hợp của Trung Quốc. Hướng ứng dụng chính là nghiên cứu liên quan đến các thiết bị bán dẫn hợp chất và mạch điện.

Sản phẩm PLSINTECCông ty sản xuấtUltraShapeTMHệ thống phát hiện và phân loại kích thước hình dạng wafer là hệ thống phát hiện có thể đạt được công suất cao nhất trong ngành. Phát hiện kích thước hình dạng tinh thể có ý nghĩa quan trọng trong quá trình chế tạo.

Trong thiết kế bán dẫn, sản xuất, đóng gói tất cả các liên kết phải được lặp đi lặp lại nhiều lần thử nghiệm, thử nghiệm, để đảm bảo rằng quá trình phù hợp với các chỉ số đặt trước, để ngăn chặn sự xuất hiện của sai lệch và khiếm khuyết của wafer không đạt tiêu chuẩn vào quy trình công nghệ tiếp theo. Từ việc xác minh thiết kế đến toàn bộ quá trình sản xuất chất bán dẫn, thiết bị phát hiện có một vị trí quan trọng không thể thay thế.

UltraShapeTMHệ thống phát hiện và phân loại hình dạng wafer sử dụng cảm biến đối chiếu đầu dò kép đồng tiêu cự phổ tốc độ cao chính xác cao để đạt được phép đo không tiếp xúc của wafer; Kết hợp với mô - đun vận động có độ chính xác cao và tay máy móc hình tinh thể, đối với hình dạng hình tinh thể đo lường chính xác đạt mức độ hạ micron. Hệ thống này phù hợp với wafer của nhiều vật liệu, bao gồm silicon, silicon carbide, sapphire, thủy tinh, gallium arsenide, gallium nitride, v.v. Kích thước và cấu trúc đo lường có thể đạt được bao gồmTTV、cung、warp、Độ dày、TIR、Sag、LTV（Bản đồ đầy đủkiểm tra) và như vậy.