Chức năng đo lường ba chiều và phân tích độ nhám của kính hiển vi kỹ thuật số là một bước đột phá công nghệ quan trọng trong lĩnh vực phát hiện chính xác hiện đại, cốt lõi của nó là thông qua sự kết hợp giữa hình ảnh quang học và thuật toán thông minh để đạt được lượng chính xác của hình dạng bề mặt vi mô.
Chức năng đo lường ba chiều dựa vào hệ thống quang học thay đổi liên tục và thuật toán tổng hợp chiều sâu, thông qua việc thu thập và hợp nhất tự động hình ảnh mặt phẳng đa tiêu cự, tạo ra mô hình ba chiều sâu toàn cảnh. Ví dụ, kính hiển vi kỹ thuật số Hikvision Hyperfield Deep 3D có thể đạt được độ phóng đại kỹ thuật số từ 30X đến 2200X, hoàn thành các phép đo chiều cao, khối lượng, đường viền và các phép đo kích thước lập thể khác ở độ phân giải 0,5 micron. Mô-đun đo lường 3D của nó hỗ trợ chiết xuất các thông số như chênh lệch chiều cao giữa các điểm, khối lượng nâng/lõm, khoảng cách đường viền hồ sơ và thậm chí có thể tự động xác định các đặc điểm hình học của các hình dạng phức tạp bằng thuật toán khối lượng và diện tích bề mặt. Trong lĩnh vực năng lượng mới, công nghệ này có thể đo chính xác độ xốp vi mô của các điện cực pin; Trong ngành công nghiệp bán dẫn, hình dạng ba chiều của cấu trúc vi mô bề mặt wafer có thể được cấu trúc lại để cung cấp hỗ trợ dữ liệu cho phân tích lỗi quá trình.
Chức năng phân tích độ nhám định lượng những thăng trầm vi mô của bề mặt thông qua công nghệ xử lý hình ảnh. Kính hiển vi kỹ thuật số có thể xuất ra các thông số tiêu chuẩn ISO như Ra (độ nhám trung bình số học), Rz (chênh lệch chiều cao tối đa), một số mô hình như kính hiển vi đồng tập trung ánh sáng trắng SuperViewWT3000, tăng độ nhám RMS lên mức 0,005nm. Phạm vi đo của nó bao gồm các bề mặt siêu mịn ở cấp độ nano (chẳng hạn như mạ chip) đến các cấu trúc thô ở cấp độ milimet (chẳng hạn như các bộ phận gia công kim loại) và có thể đo các tính năng sắc nét với độ nghiêng gần 90 ° thông qua chế độ đồng tập trung. Trong ngành công nghiệp ô tô, công nghệ này phát hiện kết cấu ma sát trên bề mặt của má phanh; Trong lĩnh vực y sinh học, có thể phân tích tính ưa nước bề mặt của môi trường nuôi cấy tế bào.
Từ nguyên tắc kỹ thuật, đo lường ba chiều dựa vào khuếch đại quang học và tổng hợp chiều sâu, trong khi phân tích độ nhám cần kết hợp độ dốc màu xám của hình ảnh và trích xuất các tính năng hình học. Cùng nhau, cả hai đã xây dựng một hệ thống phát hiện toàn diện từ hình dạng vĩ mô đến kết cấu vi mô, cung cấp các giải pháp không thể thay thế cho sản xuất chính xác, nghiên cứu và phát triển vật liệu và kiểm soát chất lượng.