Máy đo chân không là thiết bị cốt lõi để đo áp suất (độ chân không) trong hệ thống chân không. Việc sửa chữa nó cần kết hợp với nguyên tắc làm việc của các loại máy đo chân không (ví dụ: máy đo chân không cặp nhiệt, máy đo chân không ion hóa, máy đo màng điện dung, v.v.), tuân theo quy trình "chẩn đoán sự cố → chuẩn bị an toàn → sửa chữa mục tiêu → xác minh hiệu chuẩn", đảm bảo độ chính xác và an toàn đạt tiêu chuẩn sau khi sửa chữa.
Sửa chữa máy đo chân không là dịch vụ xử lý sự cố, sửa chữa và bảo trì thiết bị đo chân không, chủ yếu liên quan đến các nội dung cốt lõi sau:
Nội dung sửa chữa
Phát hiện lỗi: Phát hiện đầy đủ máy đo chân không bằng thiết bị chuyên nghiệp để xác định nguyên nhân cụ thể như lỗi cảm biến, vấn đề mạch hoặc tổn thương cơ học.
Thay thế linh kiện: Thay thế các bộ phận quan trọng như cảm biến bị hỏng, vòng đệm, dây nhiệt và các bộ phận khác để khôi phục độ chính xác đo lường.
Hiệu chuẩn hệ thống: Sử dụng máy đo chân không tiêu chuẩn để hiệu chuẩn thiết bị sau khi sửa chữa, đảm bảo độ chính xác của dữ liệu đo.
Sửa chữa thường xuyên: Xử lý các vấn đề như tiếp xúc kém, lão hóa đường dây trong sử dụng hàng ngày.
Sửa chữa sâu: Sửa chữa tháo dỡ được thực hiện cho các sự cố phức tạp như lỗi cảm biến, biến dạng cơ học.
Các bước hiệu chuẩn:
Kết nối máy đo chân không sửa chữa với hệ thống hiệu chuẩn đồng thời với máy đo chân không tiêu chuẩn;
Từ chân không thấp đến chân không cao (bao gồm phạm vi đo của máy đo chân không), dần dần ổn định áp suất, ghi lại cả hai bài đọc;
Nếu lỗi vượt quá phạm vi cho phép (chẳng hạn như lỗi cho phép ± 15% của máy đo chân không cặp nhiệt), điều chỉnh bằng "nút hiệu chuẩn" hoặc bằng phần mềm của máy đo chân không (một số mô hình hỗ trợ hiệu chuẩn máy tính).
Điểm sửa chữa:
Kiểm tra xem các thông số hiệu chuẩn có trôi hay không và hiệu chuẩn lại nếu cần thiết.
Kiểm tra xem cảm biến có bị hư hỏng hay không, chẳng hạn như dây sưởi bị hỏng hoặc bị ô nhiễm.
Kiểm tra xem đường dây điện có được kết nối bình thường không và mạch bên trong có bị hỏng không.