Bộ lọc âm- Một loại linh kiện màng nhiều tầng "Để ánh sáng đỏ đi, để ánh sáng xanh lưu lại" - - nhìn như chỉ là mảnh thủy tinh dày mấy micron, lại quyết định chất lượng hình ảnh của rada laser, kính nội soi y tế, ánh đèn sân khấu. Tỷ lệ thành phẩm của nó tăng từ 70% lên 95%, mấu chốt không phải là máy mạ đắt tiền hơn, mà là kiểm soát quy trình "tính toán từng lớp sai số trước". Tiếp theo sẽ nói về bốn điều luật sắt đằng sau tỷ lệ thành phẩm cao.Một, nền tảng "sạch sẽ" không đạt tiêu chuẩn, phía sau toàn phí công.
Kính B270 sau khi mở được RCA-1 làm sạch trong 15 phút (NH ₄ OH: H ₂ O ₂: H ₂ O ₂ O=1: 1: 5, 75 ℃), giảm dư lượng hữu cơ xuống<0,3 nm; sau đó bắn phá plasma trong 10 phút, bề mặt có thể nâng lên 72 mN · m⁻, làm cho độ bám dính của lớp Ta₂ O ₅ đầu tiên từ 2,5 N đề cập đến 5,8 N, sau đó nướng 200 ℃ cũng không có da Không.
Hai, ion "ổn định" quan trọng hơn "tốc độ cao".
Máy sơn sử dụng nguồn ion tần số vô tuyến 6 cm, vòng kín PID điều khiển chip tinh thể 2 inch, áp suất dao động tốc độ lắng đọng đến ± 0,2%. Lấy tấm cắt giao thoa 532 nm làm ví dụ, 21 lớp màng, tổng độ dày 3,8 µm, chỉ cần tốc độ trôi 1%, bước sóng trung tâm sẽ dịch chuyển 2 nm, tốc độ truyền ngay lập tức giảm 10%. Tốc độ ổn định, các cú đánh ở bước sóng thu nhỏ từ ± 3 nm xuống ± 1 nm và tỷ lệ vượt qua tăng 15% trong một lần.
3. Giám sát giá trị thời gian thực.
Trong quá trình lắng đọng được hỗ trợ bởi chùm ion (IAD), máy quang phổ cấp chip thu thập cực trị truyền cứ sau 0,5 giây, chỉ số khúc xạ thực tế của lớp hiện tại n ± 0,001 trong thuật toán 1 giây và điều chỉnh ngược công suất súng điện tử. Tầng 7 phát hiện n thấp hơn 0,8%, hệ thống ngay lập tức bổ sung độ dày Ta₂O₅ 1,2 nm, kéo bước sóng trở lại giá trị thiết kế. So với "mạ xong rồi đo lại" truyền thống, tỷ lệ làm lại từ 8% giảm xuống dưới 1%.
Bốn, căng thẳng cân bằng "bánh sandwich" cấu trúc chống nứt
Các tấm laser công suất cao yêu cầu ngưỡng thiệt hại là 60 J · cm⁻² và ứng suất màng phải gần bằng không. Các kỹ sư thay thế Ta₂O₅ (+180 MPa) với SiO₂ (–120 MPa) theo tỷ lệ độ dày 2: 3 và thêm lớp đệm ứng suất thấp MgF₂ ở lớp ngoài cùng 20 nm, tổng thể ứng suất giảm từ+350 MPa xuống+30 MPa, 24 h sốc nhiệt và lạnh (-40 ℃ ↔ 85 ℃) sau khi không bị nứt, tỷ lệ vượt qua thử nghiệm môi trường từ 85% đề cập đến 98%.
Do đó, tỷ lệ thành phẩm cao không phải là "mạ nhanh", mà là "tính toán chính xác và kiểm soát ổn định", loại bỏ mọi lỗi nanomet trước khi ánh sáng đi vào kính.