Máy kiểm tra điện trở khối lượng là công cụ cốt lõi trong lĩnh vực đo lường sức đề kháng cao. Nguyên tắc làm việc và cấu trúc hệ thống của nó lấy độ chính xác cao và khả năng chống nhiễu làm cốt lõi. Nó cung cấp cơ sở đáng tin cậy để đánh giá hiệu suất điện của vật liệu cách nhiệt, linh kiện điện tử và các vật thể có điện trở cao khác.
Nguyên tắc làm việc: Đo dòng điện áp đồng bộ và ứng dụng chính xác Định luật Ohm
Máy đo điện trở thể tích dựa trên nguyên tắc mở rộng định luật Ohm và tính toán trực tiếp giá trị điện trở (Rx=V/I) bằng cách đo đồng bộ điện áp (V) áp dụng cho cả hai đầu của mẫu và dòng điện yếu (I) chảy qua mẫu. Không giống như chế độ "quy mô phi tuyến tính" của điện áp cố định và chỉ đo dòng điện bằng máy đo điện trở cao truyền thống, các thiết bị hiện đại sử dụng công nghệ đo đồng bộ, ngay cả khi điện áp hoặc dòng điện dao động, vẫn có thể hoàn thành các hoạt động chia trong thời gian thực thông qua mạch tích hợp nội bộ, đảm bảo độ chính xác tuyến tính của giá trị điện trở được hiển thị. Giới hạn thấp hơn của phát hiện hiện tại của nó có thể đạt đến mức bay an toàn (10 ⁻185⁵ A), phối hợp với nguồn điện áp cao (có thể điều chỉnh 10V-10kV), có thể bao gồm phạm vi đo rộng từ 10 ⁶Ωđến 10 ⁸Ω, lỗi lý thuyết gần bằng không, lỗi thực tế được kiểm soát từ vài phần nghìn đến vài phần vạn.
Thành phần hệ thống: Ba mô-đun phối hợp để thực hiện đo lường chính xác cao
Mô-đun đo lõi: tích hợp nguồn điện áp cao, bộ khuếch đại vi hiện tại (độ phân giải lên đến 10 ⁻185⁵ A) và bộ xử lý kỹ thuật số. Nguồn điện áp cao cung cấp điện áp thử nghiệm ổn định, bộ khuếch đại dòng điện vi mô chuyển đổi dòng điện cấp NAAN thành tín hiệu điện áp có thể đo được, bộ xử lý kỹ thuật số thực hiện tính toán và hiển thị thời gian thực các giá trị điện trở thông qua chuyển đổi A/D.
Hệ thống điện cực: Sử dụng hệ thống ba điện cực (điện cực chính, điện cực bảo vệ, điện cực cặp) hoặc hệ thống hai điện cực. Hệ thống ba điện cực loại bỏ nhiễu dòng rò rỉ cạnh bằng điện cực bảo vệ, đảm bảo dòng điện chỉ chảy qua bên trong mẫu, phù hợp để kiểm tra điện trở thể tích; Hệ thống hai điện cực được sử dụng để đo điện trở bề mặt, tách bề mặt và đường dẫn điện thể tích bằng điện cực hình vòng kép.
Bộ phận bảo vệ: Bao gồm hộp che chắn điện từ hai lớp, thiết bị nối đất độc lập và mô-đun giám sát độ ẩm, có thể giảm nhiễu môi trường xuống dưới 0.1pA. Đồng thời, thiết bị hỗ trợ điều khiển nhiệt độ không đổi (chẳng hạn như 23 ± 2 ℃), tránh ảnh hưởng của biến động nhiệt độ và độ ẩm đối với kết quả đo.