Mới đây, dự án "Công nghệ và dụng cụ đo giao thoa laser có độ phân giải cao đa trục tốc độ cao" do Đại học Thanh Hoa hoàn thành đã giành được giải nhất về tiến bộ khoa học và công nghệ của Hiệp hội Kiểm tra Đo lường Trung Quốc năm 2018.
Đo lường là cơ sở của khoa học kỹ thuật, là công cụ nhận thức của nhân loại về thế giới, ba cuộc cách mạng kỹ thuật trong lịch nhân loại đều gắn liền với sự đột phá của công nghệ đo lường, thành quả khoa học kỹ thuật đo lường có tác dụng thúc đẩy và phát triển quan trọng đối với sự tiến bộ và phát triển của các khoa học kỹ thuật khác. Giao thoa đo laser là một phương tiện hiệu quả để thực hiện đo lường và kiểm soát siêu chính xác và đo lường quy mô vi nạp. Nó là một cách quan trọng để đảm bảo đo lường nano có thể truy xuất nguồn gốc. Nó cũng là một công nghệ kiểm tra đo lường quan trọng hướng tới cường quốc đo lường và cường quốc sản xuất *.
Nhóm dự án nhắm mục tiêu vào máy in thạch bản phôi bảng siêu chính xác vị trí, đo lường cơ bản và ứng dụng dụng cụ cho laserGiao thoa kếĐộng lực cao, độ phân giải cao, quy mô chéo và truy xuất nguồn và các yêu cầu đo lường khác, đi sâu nghiên cứu các vấn đề khoa học và công nghệ chung trong nguyên tắc đo lường, phương pháp và dụng cụ hóa hệ thống đo lường, đột phá các công nghệ quan trọng như giao thoa đa trục tích hợp, giải điều chế tín hiệu và bù chỉ số khúc xạ để hình thành một bộ đầy đủ các hệ thống giao thoa laser hiệu suất cao tự trị; Đề xuất một loạt các phương pháp giao thoa đo bằng laser có thể truy nguyên đến cơ sở chiều dài hoặc tần số để đạt được phép đo chính xác cao ở mức độ không chắc chắn là da và nano; Một loạt các kết quả sản phẩm tri thức đã được hình thành, kết quả nghiên cứu đã hỗ trợ định vị chính xác cao của máy in thạch bản nghiên cứu độc lập của Trung Quốc, laserMáy đo độ rungCác ứng dụng như giải điều tín hiệu, v. v. và được đưa vào Triển lãm thành tựu sáng tạo khoa học - kỹ thuật "5 năm lần thứ 12" quốc gia.
Dự án đã đạt được tốc độ đo cao, phạm vi lớn đa trục và hệ thống đo giao thoa laser phân giải cao được tự nghiên cứu và phát triển trong toàn bộ chuỗi từ cụm giao thoa kế, giải điều chế phát hiện tín hiệu đến thiết kế chương trình phát hiện đa độ tự do, đề xuất phương pháp đo chiều dài chính xác hàng loạt giao thoa laser có thể theo dõi tần số quang học. Đến nay, dự án đã được cấp phép phát minh hơn 20 dự án và SCI đã xuất bản hơn 30 bài báo.
Ngoài ra, nhóm dự án nghiên cứu phát triển máy in thạch bản dùng tần số kép.Giao thoa kế laserHệ thống, được áp dụng thành công vào quá trình nghiên cứu và phát triển mẫu bàn phôi của máy in thạch bản tự nghiên cứu ở Trung Quốc, hơn 50 bộ đã được ứng dụng tích lũy, đáp ứng tốt nhu cầu đo lường chính xác của máy in thạch bản đôi. Hỗ trợ sự hình thành của khả năng giao thoa kế laser tần số kép của máy in thạch bản, giảm sự phụ thuộc vào máy can thiệp nước ngoài, cung cấp hiệu suất tuyệt vời và khả năng theo dõi nguồn và đo lường không bị kiểm soát bởi con người cho nghiên cứu và phát triển thiết bị và dụng cụ của Trung Quốc.
"Giải thưởng Tiến bộ Khoa học và Công nghệ của Hiệp hội Kiểm tra Đo lường Trung Quốc" là giải thưởng Tiến bộ Khoa học và Công nghệ cấp tỉnh được đăng ký và lập hồ sơ tại Văn phòng Giải thưởng Khoa học và Công nghệ Quốc gia. Trong đó dự án khai báo giải nhất yêu cầu công nghệ tổng thể đã được chính thức áp dụng trên ba năm và đạt được hiệu quả kinh tế hoặc xã hội lớn. Hiện tại, các sản phẩm đã được áp dụng thành công trong nhiều lĩnh vực như hàng không vũ trụ, sản xuất ô tô và thử nghiệm máy công cụ, trở thành công cụ hỗ trợ mạnh mẽ để nâng cao chất lượng sản phẩm do Trung Quốc sản xuất.