Công nghệ AnricĐược thành lập vào năm 2014 bởi các chuyên gia nổi tiếng về quy trình ALD của Đại học HarvardGiáo sư Roy GordonCác nhà nghiên cứu được thành lập để lấp đầy thị trườngLớp trầm tích nguyên tử để bàn nhỏKhoảng trống (thiết bị ALD) là công cụ thiết kế và tối ưu hóa cho các trường đại học, công ty khởi nghiệp, các công ty khám phá công nghệ lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), khởi động dây chuyền sản xuất thí điểm và các nhà sản xuất chuyên nghiệp.

Công ty tập trung vào nghiên cứu quy trình và thiết bị ALD, và các thành viên kỹ thuật cốt lõi của nó, tất cả đều đến từ Harvard, đã tích lũy được nhiều kinh nghiệm trong quy trình ALD, có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp tùy chỉnh quy trình phức tạp, làMẫu nhỏ và người dùng ngân sách thấptùy chọn。

Lớp nguyên tử lắng đọng là một kỹ thuật lắng đọng hơi hóa học đặc biệt, là một phương pháp tạo thành một màng mỏng bằng cách luân phiên thông qua các tiền chất pha khí vào buồng phản ứng và tạo ra phản ứng hóa học rắn-rắn trên bề mặt của ma trận lắng đọng. ALD thường là thành phần chuỗi bán phản ứng của A và B, có đặc điểm tự giới hạn bề mặt, có tính đồng nhất ba chiều tuyệt vời, tính đồng nhất của khu vực rộng lớn, kiểm soát độ dày màng của lớp phụ đơn và nhiệt độ tăng trưởng thấp, v.v.

Nguyên tắc tăng trưởng ALD là sự lắng đọng của các bộ phim từng lớp trên bề mặt của chất nền bằng cách luân phiên lắng đọng tiền thân phản ứng.

Một chu kỳ lắng đọng lớp nguyên tử có thể được chia thành bốn bước:

1. Đi qua tiền chất đầu tiên: xung tiền chất đầu tiên được đưa vào buồng phản ứng để nó xảy ra phản ứng hấp phụ hóa học với bề mặt ma trận;

2. Làm sạch khí trơ: Buồng phản ứng được làm sạch bằng khí trơ như nitơ hoặc khí, loại bỏ tiền chất đầu tiên không phản ứng và các sản phẩm phụ từ phản ứng;

3. Đi qua tiền chất thứ hai: xung tiền chất thứ hai được đưa vào buồng phản ứng để tạo ra một bộ phim phản ứng hóa học với tiền chất đầu tiên được hấp thụ trên bề mặt ma trận;

4. Làm sạch khí trơ một lần nữa: loại bỏ tiền chất thứ hai và các sản phẩm phụ không phản ứng với khí trơ một lần nữa.

Loại ALD nhỏ nhất trên thị trường

Đủ nhỏ để đặt trong hộp đựng găng tay

Có thể làm bột ALD